X'Pert³

La plataforma X'Pert mejorada

La gama de sistemas de difracción de rayos X X'Pert³ de Malvern Panalytical continúa el éxito de la plataforma X'Pert. Con sus nuevos sistemas electrónicos de control incorporados, su cumplimiento de las normas de seguridad más recientes y más estrictas de rayos X y de movimiento, sus avances en características ecológicas y su confiabilidad, la plataforma X'Pert³ está lista para el futuro.

• Componentes de haz incidente (CRISP) de más larga duración
• Máximo tiempo de actividad con obturadores neumáticos y atenuadores de haz
• Fácil extensión a nuevas aplicaciones gracias a la tecnología PreFIX de 2.ª generación
• Intercambio de la posición de los tubos rápido, confiable y sin necesidad de herramientas
• Nuevos sistemas electrónicos de control incorporados con conexión directa a Internet
• Cumplimiento de los reglamentos de seguridad más estrictos

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Productos que tienen soporte

Medición: Epitaxy analysis
Interface roughness
Phase identification
Phase quantification
Reciprocal space analysis
Residual stress
Texture analysis
Thin film metrology

Wafer mapping: 100 mm

C-to-C wafer loader: No

Goniometer configuration: Horizontal goniometer, Θ-2Θ

Minimum step size: 0.0001º

Tecnología: X-ray Diffraction (XRD)

X'Pert³ MRD

Medición: Epitaxy analysis
Phase identification
Phase quantification
Thin film metrology
Residual stress
Texture analysis
Reciprocal space analysis
Interface roughness

Wafer mapping: 200 mm

C-to-C wafer loader: Yes

Goniometer configuration: Horizontal goniometer, Θ-2Θ

Minimum step size: 0.0001º

Detector: PIXcel1D, PIXcel3D, Proportional counter, Scintilation detector

X-ray tube anode material: Cu, Co,Cr, Mn, Fe, Mo

Tecnología: X-ray Diffraction (XRD)

X'Pert³ MRD XL

Medición: 3D structure / imaging
Contaminant detection and analysis
Crystal structure determination
Interface roughness
Phase identification
Phase quantification
Pore size distribution
Residual stress
Surface area
Thin film metrology

Wafer mapping: No

C-to-C wafer loader: No

Goniometer configuration: Vertical goniometer, Θ-Θ

Minimum step size: 0.001º

Detector: PIXcel3D, Proportional counter, Scintilation detector

X-ray tube anode material: Cu, Co,Cr, Mn, Fe, Mo, Ag

Tecnología: X-ray Diffraction (XRD)

X'Pert³ Powder