SuperQ Thin Film

Pour l'analyse XRF des couches minces

La plate-forme logicielle SuperQ pour couches minces est utilisée dans toute la gamme des systèmes de métrologie basés sur la spectrométrie de fluorescence X de PANalytical. La plateforme logicielle SuperQ Thin Film permet un contrôle précis des procédés et une analyse des wafers plus facile que jamais. En apportant une vérification rapide et automatique des informations de couche et de pile sur l'ensemble du wafer, le logiciel calcule l'épaisseur, la composition, la stœchiométrie, les niveaux de dopant et l'uniformité pour une large gamme de types de couches et de piles.
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Fonctionnalités

Amélioration de la facilité d'utilisation

L'analyse XRF quotidienne est une tâche de routine qui peut être facilement réalisée par du personnel inexpérimenté après un minimum d'instructions.


Affichez facilement les résultats

Les résultats peuvent être affichés en ligne au fur et à mesure de la prise de mesures, dans divers formats et grâce à un code couleur distinctif, ce qui permet de prendre des décisions en un clin d'œil. En outre, les résultats peuvent être automatiquement transmis aux lecteurs réseau ou aux imprimantes pour générer des rapports, des publications ou des présentations.


Présent pour améliorer la facilité d'utilisation

SuperQ Thin-Film est basé sur SuperQ de Malvern Panalytical, la plateforme logicielle d'analyse XRF utilisée avec les spectromètres à dispersion de longueur d'onde XRF de Malvern Panalytical, offrant toutes les fonctions nécessaires à la configuration et au fonctionnement de votre spectromètre. L'assemblage du programme analytique est facilité par l'intelligence intégrée au logiciel, basée sur le demi-siècle d'expertise de Malvern Panalytical en analyse XRF. L'analyse XRF quotidienne est une tâche de routine qui peut être facilement réalisée par un personnel inexpérimenté après un minimum d'instructions. De nombreuses fonctionnalités sont présentes pour améliorer l'ergonomie du logiciel.

Spécifications

Les résultats peuvent être affichés en ligne au fur et à mesure de la prise de mesures, dans divers formats et grâce à un code couleur distinctif, ce qui permet de prendre des décisions en un clin d'œil. En outre, les résultats peuvent être automatiquement transmis aux lecteurs réseau ou aux imprimantes pour générer des rapports, des publications ou des présentations.