L'Omega/Theta XRD offre le nec plus ultra en termes de précision et de vitesse combinées pour déterminer le réseau cristallin. Avec des résultats renvoyés en seulement dix secondes, l'Omega/Theta XRD est doté de nombreux accessoires de processus allant des lecteurs de codes-barres aux cadres empilables de cristal et peut accueillir divers échantillons jusqu'à 30 kg et 450 mm de longueur. C'est un partenaire fiable pour le transfert de l'orientation mesurée à votre outil de traitement.
Télécharger la brochureL'Omega/Theta XRD est votre partenaire fiable et évolutif de détermination de l'orientation des cristaux dans le paysage en constante évolution des semi-conducteurs. La précision de pointe, la vitesse de mesure fulgurante et la qualité de fabrication haut de gamme sont associées à la puissance de l'automatisation, garantissant ainsi que vos processus sont prêts à tout. Offrant une efficacité et une précision inégalées pour l'orientation et l'alignement des cristaux, l'Omega/Theta XRD est idéal pour les applications de production et de recherche.
Notre méthode ne nécessite qu'un seul cercle de mesure pour recueillir toutes les données nécessaires à la détermination complète de l'orientation, ce qui offre une grande précision pour un temps de mesure très faible, de l'ordre de quelques secondes.
Toutes les mesures effectuées sur l'Omega/Theta XRD sont automatisées et gérées à partir du logiciel XRD convivial. L'instrument peut être facilement intégré dans des processus existants dans des environnements de production à l'aide de ses différentes interfaces MES, SECS/GEM et similaires.
L'Omega/Theta XRD peut être utilisé pour caractériser tous les matériaux monocristallins. Les matériaux couramment utilisés sont :
Nos nombreux accessoires améliorent la productivité de l'Omega/Theta XRD dans une large gamme d'applications, du forage de semences au broyage, en passant par le tranchage et le contrôle de la géométrie des wafers, pour une flexibilité optimale même si ces besoins évoluent. Les modules complémentaires incluent :
| Spécification technique | |
|---|---|
| Source de rayons X | Tube à rayons X standard, anode en Cu |
| Détecteur | Compteur à scintillation (simple ou double) |
| Porte-échantillon | Plateau tournant précis, plaque de montage et outils pour le réglage des échantillons |
| Collimateur à cristaux | Disponible |
| Cartographie | Platine de cartographie extra-robuste disponible |
| Logiciels | XRDStudio |
| Refroidissement par eau | Débit – 4 L/min, pression max 8 bar, T ≤ 30 °C |
| Station de travail PC | Windows 7 ou version ultérieure, mise à jour de .NET Framework |
| Dimensions | 1 950 mm × 820 mm × 1 200 mm (H × P × l) |
| Poids | 650 kg environ |
| Alimentation nécessaire | 208-240 V, 16 A monophasé, 50-60 Hz |
| Certification | Fabriqué conformément aux directives ISO 9001, conformité CE |
Mesurez une plus large gamme de formats d'échantillons dans différentes étapes de processus avec des supports d'échantillons supplémentaires conçus pour accueillir des cristaux plus petits ou plus grands que la moyenne.
Manipulez facilement vos différents types d'échantillons grâce à des outils d'ajustement des échantillons dédiés.
Cartographiez facilement l'orientation des cristaux ou les distorsions de surface sur une grille définie par l'utilisateur à l'aide d'une platine de positionnement X-Y supplémentaire au-dessus du plateau tournant. La platine de cartographie permet une exploration complète de la surface entière de l'échantillon via une acquisition de surface personnalisable.
Alignez précisément les lingots avant de scier et améliorez l'utilisation de l'outil. La platine d'empilage efficace aligne les lingots pendant l'acquisition azimutale, avant de transférer la pile complète à la scie à fil. Ce procédé de sciage parallèle est très efficace.
Mesures de contrôle qualité rapides et précises pour les processus de production. Le rocking curve, indicateur de la qualité du réseau, peut être évalué rapidement de façon ponctuelle ou conjointement à un outil de cartographie pour une carte qualité. L'optique est automatisée pour faciliter l'activation/désactivation.
La détection de méplats et d'encoches est facilitée grâce à un appareil photographique de haute qualité et à des capacités de traitement d'image supplémentaires.
Un scanner laser en option permet de mesurer avec précision la forme des échantillons, ce qui vous permet de mieux comprendre vos matériaux.
Dans une industrie en pleine mutation, vous devez tirer profit des processus intelligents et efficaces – et ils commencent avec l'Omega/Theta XRD. Orientation et alignement des cristaux entièrement automatisés à la vitesse la plus élevée.
