Omega/Theta Pre-installation Manual (English)
Numéro de version: 1
Aperçu
L'Omega/Theta offre le nec plus ultra en termes de précision et de vitesse combinées pour déterminer l'orientation du réseau cristallin. Il est doté de nombreux accessoires de processus, des lecteurs de codes-barres aux tableaux de cartographie, et d'un cadre empilable de cristal. L'Omega/Theta est votre partenaire fiable pour déterminer l'orientation des cristaux et les transférer à l'étape de traitement suivante.
L'Omega/Theta est votre partenaire fiable et évolutif de détermination de l'orientation des cristaux dans le paysage en évolution rapide des semi-conducteurs. La précision de pointe, la vitesse de mesure ultra-rapide et la qualité de fabrication haut de gamme sont associées à la puissance de l'automatisation, offrant une efficacité et une précision inégalées pour l'orientation et l'alignement des cristaux dans les applications industrielles et de recherche.
Ultra-rapide et précise : méthode d'acquisition azimutale
La méthode d'acquisition azimutale ne nécessite qu'une seule rotation de mesure afin de recueillir toutes les données nécessaires à la détermination complète de l'orientation, ce qui permet d'obtenir les résultats en moins de 10 secondes sans compromettre la précision.
L'échantillon est tourné à 360°, la source de rayons X et le détecteur étant positionnés de manière à obtenir un certain nombre de réflexions par tour.
Ces réflexions permettent de mesurer l'orientation du réseau cristallin par rapport à l'axe de rotation avec une grande précision allant jusqu'à 0,003°.
Convivial
Toutes les mesures effectuées sur l'Omega/Theta sont automatisées et gérées à partir du logiciel XRD convivial, qui offre des mesures simples et prêtes à l'emploi basées sur des formules pour le flux de travail de routine.
L'instrument peut être facilement intégré dans des processus existants dans des environnements de production à l'aide de ses différentes interfaces MES, SECS/GEM et similaires.
Caractériser une gamme de matériaux
L'Omega/Theta peut être utilisé pour caractériser n'importe quel matériau monocristallin. Les matériaux couramment utilisés incluent :
- Cubique, orientation inconnue arbitraire : Si, Ge, GaAs, GaP, InP
- Cubique, orientation spéciale : Ag, Au, Ni, Pt, GaSb, InAs, InSb, AlSb, ZnTe, CdTe, SiC3C, PbS, PbTe, SnTe, MgO, LiF, MgAl2O4, SrTiO3, LaTiO3
- Tétragonal : MgF2, TiO2, SrLaAlO4
- Hexagonal et trigonal : SiC 2H, 4H, 6H, 15R, GaN, ZnO, LiNbO3, SiO2 (quartz), Al2O3 (saphir), GaPO4, La3Ga5SiO14
- Orthorhombique : Mg2SiO4, NdGaO3
- Tout autre matériau monocristallin
Manipulation pratique et flexible des échantillons
Nos nombreux accessoires améliorent la productivité de l'Omega/Theta dans une large gamme d'applications, du forage de semences au broyage de boules, en passant par le tranchage et le contrôle final des wafers, pour une flexibilité optimale même si ces besoins évoluent.
Avec des porte-échantillons spécialisés permettant de répondre à tous les besoins, des grands lingots aux petites plaques, l'Omega/Theta peut accueillir une large gamme de formats d'échantillons, constituant ainsi une valeur ajoutée pour la production et la recherche.
- Platine de cartographique X-Y automatique pour cartographier l'orientation des cristaux ou les distorsions de surface sur une grille définie par l'utilisateur
- Platine d'empilage pour l'alignement des lingots avant le sciage
- Axe de rotation de l'échantillon supplémentaire
- Matériel d'ajustement des échantillons
- Il existe de nombreuses autres solutions d'ingénierie personnalisées !
Avec des porte-échantillons personnalisés permettant de répondre à tous les besoins, des grands lingots aux petits cylindres, l'Omega/Theta peut accueillir une large gamme de formats d'échantillons, garantissant qu'il s'adapte parfaitement aussi bien dans un flux de production que dans la recherche.
Applications clés
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- Production
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L'Omega/Theta a été conçu pour les fabricants. Il est idéal pour l'orientation et l'alignement ultra-rapides de différents types de cristaux dans la production, pour le marquage de directions in-plane, ou le contrôle de l'orientation des méplats ou des encoches. Il est également idéal pour le contrôle qualité de la production, grâce à ses vitesses de production élevées et ses capacités d'automatisation.
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LDes accessoires optionnels, tels qu'une platine d'empilage pour l'alignement des lingots avant le sciage et un rocking curve pour les mesures de qualité, font de l'Omega/Theta un partenaire polyvalent pour les applications de production.
- Étude de matériaux
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LLa haute précision et la flexibilité de l'Omega/Theta le rendent idéal pour la recherche sur les matériaux, car il peut accueillir divers échantillons jusqu'à 30 kg et 450 mm de longueur, avec des platines supplémentaires disponibles pour les échantillons plus grands ou plus complexes.
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LIl est capable de caractériser une large gamme de matériaux, ce qui le rend très précieux pour vos processus de R&D ; le Theta Scan flexible ouvre un monde de possibilités de mesure.
