SDCOM

Orientation ultra-rapide et flexible du cristal dans un boîtier compact

Capable de mesurer des cristaux dès 1 mm de taille, le SDCOM utilise la méthode d'acquisition azimutale pour déterminer avec précision l'orientation complète du réseau des cristaux uniques en une seule rotation de mesure et en seulement quelques secondes. Adapté à la fois au contrôle qualité de la recherche et de la production, le SDCOM polyvalent et accessible s'intègre facilement à une large gamme d'étapes de processus de wafers et lingots et ne nécessite pas de refroidissement par eau.

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Présentation

La mesure rapide et précise de l'orientation du cristal n'a jamais été aussi accessible : découvrez le SDCOM, votre système XRD compact et convivial. La méthode d'acquisition azimutale permet des mesures ultra-rapides, avec un retour des résultats en moins de cinq secondes. 

Le SDCOM offre le plus haut niveau de précision, jusqu'à 0,01o, et avec une grande variété de porte-échantillons et de dispositifs de transfert, y compris une option de marquage pour la direction latérale du cristal. Ce système compact facile à utiliser est la solution idéale pour de nombreuses applications dans le traitement des wafers et la recherche. 

Fonctionnalités et avantages

Ultra-rapide et précis : méthode d'acquisition azimutale

La méthode d'acquisition azimutale ne nécessite qu'un seul cercle de mesure pour recueillir toutes les données nécessaires à la détermination complète de l'orientation, ce qui offre une grande précision pour un temps de mesure très faible, de l'ordre de quelques secondes.

L'échantillon est tourné à 360°, la source de rayons X et le détecteur étant positionnés de manière à obtenir un certain nombre de réflexions par tour. Ces réflexions permettent de mesurer l'orientation du réseau cristallin par rapport à l'axe de rotation avec une grande précision en un court laps de temps.

Ultra-rapide et précis : méthode d'acquisition azimutale

Compact et polyvalent

Le système SDCOM est léger et compact, ce qui le rend facilement déplaçable et capable de s'intégrer facilement dans votre processus, que ce soit dans la recherche ou l'industrie. Le logiciel XRD Suite est à la fois puissant et intuitif, ce qui le rend pratique et facile à utiliser pour un large éventail d'utilisateurs.

La flexibilité est la clé du SDCOM. Il est particulièrement précis dans la gamme de matériaux qu'il peut mesurer. Le SDCOM peut mesurer des cristaux dès 1 mm de taille. Les matériaux mesurables comprennent :

  • Cubique, orientation inconnue arbitraire : Si, Ge, GaAs, GaP, InP
  • Cubique, orientation spéciale : Ag, Au, Ni, Pt, GaSb, InAs, InSb, AlSb, ZnTe, CdTe, SiC3C, PbS, PbTe, SnTe, MgO, LiF, MgAl2O4, SrTiO3, LaTiO3
  • Tétragonal : MgF2, TiO2, SrLaAlO4
  • Hexagonal et trigonal : SiC 2H, 4H, 6H, 15R, GaN, ZnO, LiNbO3, SiO2 (quartz), Al2O3 (saphir), GaPO4, La3Ga5SiO14
  • Orthorhombique : Mg2SiO4, NdGaO

Il existe également une variété de porte-échantillons et de dispositifs de transfert qui peuvent élargir les possibilités des applications de votre SDCOM, assurant la compatibilité avec votre flux de travail. Des platines manuelles et motorisées de cartographie des wafers sont également disponibles.

Compact et polyvalent

Précision conviviale

Le SDCOM offre une excellente précision jusqu'à 0,01o en fonction de l'échantillon et est capable de mesurer des cristaux dès 1 mm de taille. Cette précision est maintenue aux vitesses les plus élevées grâce à la méthode d'acquisition azimutale, qui fournit une caractérisation complète de l'orientation des cristaux en une seule rotation de mesure. Il est également possible d'inclure une fonction de marquage latéral de la direction des cristaux.

Grâce au traitement manuel et à sa conception logicielle intuitive, le SDCOM est facile à utiliser et accessible à un large éventail de types d'utilisateurs. Il est pratique à la fois dans la recherche et dans l'industrie, où le niveau d'expérience des utilisateurs peut varier.

Précision conviviale

Économique

Le tube à rayons X du SDCOM est refroidi par air, éliminant ainsi le besoin d'un système de refroidissement de l'eau. L'efficacité et le faible encombrement du SDCOM en font un système dont la consommation d'énergie est réduite au minimum, tout comme vos coûts d'exploitation. 

Économique

Applications clés

Marquage et mesure des directions in-plane
Le SDCOM fournit des mesures ultra-rapides et très précises de l'orientation du cristal, idéales pour une large gamme d'applications dans la production et le traitement de wafers, y compris le marquage et la mesure des directions in-plane. Léger et mobile, il peut être déployé partout où vous en avez besoin dans votre processus. 
Capable de mesurer de petits cristaux jusqu'à 1 mm avec une grande précision et pour une large gamme de matériaux, le SDCOM est bien placé pour répondre aux besoins complexes et changeants de l'industrie des semi-conducteurs.
Contrôle de la qualité de la production
Le contrôle des procédés de routine exige vitesse, précision et répétabilité, et le SDCOM tient ses promesses. Sa vitesse de mesure ultra-rapide donnera un coup de pouce à votre productivité sans avoir un impact important sur vos coûts d'exploitation, grâce à son format de paillasse et son tube à rayons X refroidi par air.
Étude de matériaux
Capable de mesurer une gamme polyvalente de types de cristaux dans un faible encombrement de laboratoire, le SDCOM est idéal pour les flux de travail de recherche standard. Les coûts de fonctionnement sont réduits grâce à une consommation d'énergie minimisée et à un tube à rayons X refroidi par air ne nécessitant pas de refroidissement par eau. 
Le SDCOM est également accessible et facile à manipuler manuellement, ce qui en fait une solution pratique pour les laboratoires de recherche dotés de nombreux utilisateurs différents.

Caractéristiques

Source de rayons X Tube à rayons X refroidi par air 30 W, anode en Cu
Détecteurs Technologie de compteur à scintillation
Porte-échantillon Plateau tournant précis, précision de réglage de 0,01°, porte-échantillons personnalisés et dispositifs de transfert
Diamètre d'échantillon 2 mm ø minimum, 200 mm maximum
Température ambiante ≤ 30 °C
Configuration PC requise Windows 10 ou version ultérieure. Mise à jour NET Framework, 2 ports Ethernet
Alimentation électrique nécessaire 100 à 230 V, monophasé, 500 W
Dimensions 600 mm x 600 mm x 840 mm (L x l x H)
Poids 100 kg environ
Certification Fabriqué conformément aux directives ISO 9001, conformité CE
Tous les paramètres techniques sont sujets à des modifications basées sur la R&D

Accessoires

Porte-échantillons

Une variété de porte-échantillons sont disponibles pour le système SDCOM, vous permettant de traiter facilement des échantillons plus petits, plus grands ou irréguliers. 

Porte-échantillons

Dispositifs de transfert

Intégrez entièrement votre système SDCOM à votre processus en ajoutant des dispositifs de transfert dédiés, notamment des options pour la scie à fil, le broyage, etc.

Dispositifs de transfert

Assistance

Services d'assistance 

  • Assistance téléphonique et à distance
  • Maintenance préventive et contrôles
  • Contrats de service client flexibles
  • Certificat de performances
  • Mises à niveau matérielles et logicielles
  • Assistance locale et mondiale

Expertise

  • Solutions clés en main pour la métrologie élémentaire et structurelle des semi-conducteurs
  • Automatisation et conseil
  • Formation et éducation
Mesures ultra-rapides de l'orientation du cristal simplifiées

Mesures ultra-rapides de l'orientation du cristal simplifiées

Diffraction des rayons X polyvalente, précise et rapide dans un format compact pratique. Économique sans compromis.

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