SDCOM Pre-installation Manual
Numéro de version: 1
Aperçu
La mesure rapide et précise de l'orientation du cristal n'a jamais été aussi accessible : découvrez le SDCOM, votre système XRD compact et convivial. La méthode d'acquisition azimutale permet des mesures ultra-rapides, avec un retour des résultats en moins de dix secondes.
Offrant le plus haut niveau de précision (jusqu'à 0,01°) et prenant en charge une grande variété d'accessoires, le SDCOM est la solution idéale pour de nombreuses applications dans le traitement des wafers et la recherche.
Capable de mesurer n'importe quel cristal d'un diamètre compris entre 2 mm et 300 mm, le SDCOM utilise la méthode d'acquisition azimutale pour déterminer avec précision l'orientation complète du réseau des cristaux uniques en une seule rotation de mesure et en seulement quelques secondes.
Adapté à la fois à la recherche, à la production et au contrôle qualité, le SDCOM polyvalent et accessible s'intègre facilement à une large gamme d'étapes de processus de wafers et lingots, tout en ayant des coûts d'exploitation minimes, car il ne nécessite pas de refroidissement par eau.
Rapide et précise : méthode d'acquisition azimutale
La méthode d'acquisition azimutale ne nécessite qu'une seule rotation de mesure afin de recueillir toutes les données nécessaires à la détermination complète de l'orientation, ce qui permet d'obtenir des résultats en moins de 10 secondes sans compromettre la précision.
L'échantillon est tourné à 360°, la source de rayons X et le détecteur étant positionnés de manière à obtenir un certain nombre de réflexions par tour. Ces réflexions permettent de mesurer l'orientation du réseau cristallin par rapport à l'axe de rotation avec une grande précision allant jusqu'à 0,01°.
Compact et polyvalent
Grâce à sa forme légère et compacte, le SDCOM est facilement intégrable dans les processus de recherche ou d'industrie. Le logiciel XRD Suite est à la fois puissant et intuitif, ce qui le rend pratique et facile à utiliser pour un large éventail d'utilisateurs.
La flexibilité est la clé du SDCOM. Il est particulièrement précis dans la gamme de matériaux qu'il peut mesurer. Le SDCOM peut mesurer des cristaux de 2 mm à 300 mm de diamètre.
Pour plus de flexibilité, le SDCOM prend également en charge la méthode Theta-Scan. Vous pouvez ainsi couvrir une gamme encore plus large de matériaux et de chutes.
Il existe également une variété de porte-échantillons et de dispositifs de transfert qui peuvent élargir les possibilités des applications de votre SDCOM, assurant la compatibilité avec votre flux de travail. Des platines manuelles et motorisées de cartographie des wafers sont également disponibles.
Matériaux mesurables
Exemples de matériaux mesurables (méthode d'acquisition azimutale) :
- Cubique, orientation inconnue arbitraire : Si, Ge, GaAs, GaP, InP
- Cubique, orientation spéciale : Ag, Au, Ni, Pt, GaSb, InAs, InSb, AlSb, ZnTe, CdTe, SiC3C, PbS, PbTe, SnTe, MgO, LiF, MgAl2O4, SrTiO3, LaTiO3
- Tétragonal : MgF2, TiO2, SrLaAlO4
- Hexagonal et trigonal : SiC 2H, 4H, 6H, 15R, GaN, ZnO, LiNbO3, SiO2 (quartz), Al2O3 (saphir), GaPO4, La3Ga5SiO14
- Orthorhombique : Mg2SiO4, NdGaO3
- Tout autre matériau monocristallin
Économique
Le tube à rayons X du SDCOM est refroidi par air, éliminant ainsi le besoin d'un refroidisseur ou d'un circuit d'eau de refroidissement.
L'efficacité et le faible encombrement du SDCOM en font un système dont la consommation d'énergie est réduite au minimum, tout comme vos coûts d'exploitation.
Applications clés
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- Marquage et mesure des directions in-plane
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Le SDCOM fournit des mesures ultra-rapides et très précises de l'orientation du cristal, idéales pour une large gamme d'applications dans la production et le traitement de wafers, y compris le marquage et la mesure des directions in-plane. Léger et mobile, il peut être déployé partout où vous en avez besoin dans votre processus.
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Capable de mesurer de petits cristaux jusqu'à 1 mm avec une grande précision et pour une large gamme de matériaux, le SDCOM est bien placé pour répondre aux besoins complexes et changeants de l'industrie des semi-conducteurs.
- Contrôle de la qualité de la production
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Le contrôle des procédés de routine exige vitesse, précision et répétabilité, et le SDCOM tient ses promesses. Sa vitesse de mesure ultra-rapide donnera un coup de pouce à votre productivité sans avoir un impact important sur vos coûts d'exploitation, grâce à son format de paillasse et son tube à rayons X refroidi par air.
- Étude de matériaux
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Capable de mesurer une gamme polyvalente de types de cristaux dans un faible encombrement de laboratoire, le SDCOM est idéal pour les flux de travail de recherche standard. Les coûts de fonctionnement sont réduits grâce à une consommation d'énergie minimisée et à un tube à rayons X refroidi par air ne nécessitant pas de refroidissement par eau.
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Le SDCOM est également accessible et facile à manipuler manuellement, ce qui en fait une solution pratique pour les laboratoires de recherche dotés de nombreux utilisateurs différents.
