Empyrean 범위
다목적 X선 회절계
기술 유형
- X-ray Diffraction (XRD)
측정 유형
- 에피택시 분석
- 상 식별
- 상 정량화
- 계면 거칠기
- 박막 계측학
- 잔류 응력
- 텍스처 분석
- 역격자 공간 분석
- 입자 형상
- 입자 크기
- 결정 구조 결정
- 오염물 검출 및 분석
- 3D 구조/영상 처리
에피택시 분석
에피택시층 구조 분석
에피택시층 구조 분석
고분해능 X선 회절 은 에피택시층, 헤테로 구조 및 초격자 시스템의 구조를 비파괴 방식으로 분석하는 강력한 도구입니다.
산업 생산뿐만 아니라 에피택시 성장 구조의 개발 단계에서도 표준 도구로 사용됩니다.
회절 패턴을 통해 다음과 같은 중요한 정보를 얻을 수 있습니다.
특정 조건에서는 상호확산 형성 및 계면 혼합도 조사할 수 있습니다.
빠른 검사를 위해 기질과 층의 피크 위치를 분석에 사용할 수 있습니다.
그러나 관련 매개변수의 정량법에는 일반적으로 동적 산란 이론에 기초한 전체 패턴 시뮬레이션이 적용됩니다.
다목적 X선 회절계
다목적 연구 및 개발 XRD 시스템
다목적 연구, 개발 및 품질 관리 XRD 시스템
