현재 고분해능 X선 회절은 에피택셜층, 헤테로 구조 및 초격자 시스템의 구조를 비파괴 방식으로 분석하는 강력한 도구입니다. 산업 생산뿐만 아니라 에피택셜 성장 구조의 개발 단계에서도 표준 도구로 사용됩니다.

에피택셜층의 합금 조성 및 균일성, 두께, 변형 및 변형 이완, 전위 밀도 관련 결정질 완성 등 중요한 많은 정보를 회절 패턴에서 얻을 수 있습니다. 특정 상황에서는 상호확산 형성 및 계면 혼합도 조사할 수 있습니다.

빠른 검사를 위해 기질과 층의 피크 위치를 분석에 사용할 수 있습니다. 그러나 관련 매개변수의 정량법에는 일반적으로 동적 산란 이론에 기초한 전체 패턴 시뮬레이션이 적용됩니다.