미세 X선 회절

매우 작은 크기의 경우

미세 회절 분석(다른 이름: X선 미세회절, 미세 X선 회절 또는 µXRD)에서는 매우 좁은 빔을 사용하여 매우 작은 영역의 아주 국소적인 XRD 측정을 수행합니다. 이는 방출된 X선을 줄이는 전용 입사 빔 콜리메이터를 사용하여 달성할 수 있습니다. 단일 모세관을 사용하면 직경이 약 50µm인 입사 X선 빔을 생성할 수 있습니다. 미세 회절 기법은 일반적으로 결정질의 조성, 격자 변형 또는 우선 방위가 변화하는 소형 또는 비균등 샘플에서 사용합니다.

미세구조 검사를 통한 통찰력 있는 특성 분석

미세 회절은 조성에 강한 구배가 있는 샘플(예: 오염 물질, 함유물, 광물학 샘플, 법의학 샘플, 고대 회화의 작은 단면, 고고학 샘플, 야금 관계자의 가공품, 공구 삽입물, 패턴이 있는 웨이퍼)의 작은 점의 특성 분석을 포함한 많은 회절 조사에 적용할 수 있습니다.

Malvern Panalytical의 미세 회절 솔루션

입사 빔 경로에 펜슬 빔(예: 단일 모세관 또는 이중 교차 슬릿)을 생성할 수 있는 PreFIX 모듈과 샘플을 시각화하고 X선 빔에 배치하는 고배율 비디오카메라가 장착된 Empyrean 플랫폼으로 미세 회절 적용 측정을 수행할 수 있습니다. 
하이브리드 픽셀 검출기를 사용하여 비균등 샘플의 상 구성을 직접 통찰할 수 있는 2D 회절 패턴을 수집할 수 있습니다.