Wie man reproduzierbare Ergebnisse über Werkzeuge hinweg erzielt, immer wieder

In der modernen Halbleiterproduktion, wo Präzision entscheidend ist, können Inkonsistenzen in der Messwiederholbarkeit die Prozesskontrolle, den Ertrag und die Leistung gefährden. Wellenlängendispersive Röntgenfluoreszenz (WD-XRF) ist eine wichtige Messtechnik, die strenge Kriterien erfüllt, wenn es um reproduzierbare Ergebnisse auf einem einzelnen Spektrometer geht. Aber Messwiederholbarkeit allein reicht oft nicht aus – oft müssen Ergebnisse über verschiedene Werkzeuge hinweg abgeglichen werden, um den Durchsatz zu maximieren.

Die ToolMatch-Software von Malvern Panalytical ermöglicht es, eng abgestimmte Ergebnisse von verschiedenen Werkzeugen zu erhalten, wodurch die Gesamtgenauigkeit Ihrer Ergebnisse für optimale Qualität und Konsistenz verbessert wird.

Wie funktioniert es?

ToolMatch-Software kann einfach mit Anwendungs-Import/Export-Software kombiniert werden, um identische Rezepte auf Spektrometern zu erstellen, die in Kombination mit Tool Matching-Korrekturen (TMC) nahezu ununterscheidbare Ergebnisse liefern. Im Vergleich zum manuellen Abgleichen, der zeitaufwendig sein kann und oft nur von Experten durchgeführt werden kann, kann dies nun von einem routinemäßigen Bediener aktiviert und abgeschlossen werden.

Da diese Messungen vom routinemäßigen Bediener aktiviert werden, wird der Bedarf an Expertenintervention erheblich reduziert. Dies vermeidet Redundanzen, verhindert Verzögerungen und steigert die Effizienz.

Ohne die Notwendigkeit einer manuellen Korrektur durch einen Bediener wird die Prozesseffizienz deutlich verbessert.

So verbessert ToolMatch in vier Schritten die Genauigkeit zwischen mehreren Spektrometern.

Schritt 1: Ein Rezept (oder „Anwendung“) wird in der analytischen Software SuperQ erstellt, mit Referenzmessungen inklusive Anwendung, Monitor, Kalibrierstandards, Kalibrierung, Kalibrierungsaktualisierung, Wafer-Mustern und TMC-Satz vom ursprünglichen („Mutter“) Werkzeug.

Schritt 2: Das vollständige Rezept wird über die Anwendungs-Export/Import-Funktionalität, die im ToolMatch-Softwarepaket enthalten ist, auf das sekundäre („Tochter“) Werkzeug übertragen.

Schritt 3: Auf dem Tochterwerkzeug werden alle Kalibrierungs-Wafer unter identischen Bedingungen wie auf dem Mutterwerkzeug gemessen, und die Kalibrierung wird auf Knopfdruck abgeschlossen. Dann wird die Messung der ToolMatch-Referenzwafer durchgeführt, einschließlich Kontrollen zur genauen Position der Wafer-Messung.

Schritt 4: Korrekturlinien werden basierend auf dem Rezept vom Mutterwerkzeug und den gemessenen Werten auf dem Tochterwerkzeug berechnet. Sie werden in einem TMC-Satz gespeichert, der zur Korrektur zukünftiger unbekannter Messungen verwendet wird, um gleiche Ergebnisse auf dem Tochterwerkzeug wie auf dem Mutterwerkzeug zu erzielen. Wenn trotz der Instrumentenmonitorkorrektur die Qualitätskontrollmessung fehlschlägt, bringen die ToolMatch-Messungen die Ergebnisse wieder in Einklang mit den erwarteten Ergebnissen.

Schritt 5: Führen Sie Ihre routinemäßigen Messungen aus. ToolMatch-Korrekturen werden automatisch angewendet.

Woher kommen Unterschiede zwischen Spektrometern?

Das heutige Produktionskontrollumfeld stellt strenge Prozessanforderungen, oft deutlich unter 1% oder sogar 0,1% relativ. Dadurch können wir Unterschiede zwischen Spektrometern feststellen, obwohl die Spektrometer innerhalb der Spezifikationen gehalten werden.

Zum Beispiel könnten bei Signalen, die von niedrigen zu sehr hohen Zählraten reichen, kleine Abweichungen in der Detektorlinearität (spezifiziert auf ±1% relativ) oder Kristalleigenschaften die Ursache sein. Mit ToolMatch können diese Unterschiede automatisch korrigiert werden.

Sehen Sie ToolMatch in Aktion

In dieser Application Note erfahren Sie, wie ToolMatch für eine Anwendung mit Al, Cu und Ti verwendet werden kann, die auf vier verschiedenen 2830 ZT Wafer-Analysatoren von Malvern Panalytical gemessen wurde.

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