2830 ZT

Fortgeschrittene Lösung für die Halbleiter-Dünnschicht-Messtechnik

Der wellenlängendispersive Wafer-Analyzer (WDRFA) 2830 ZT bietet die ultimativen Möglichkeiten zur Messung der Dicke und Zusammensetzung von Schichten. Speziell für die Halbleiter- und Datenspeicherindustrie entwickelt, ermöglicht der Wafer-Analyzer 2830 ZT die Bestimmung der Zusammensetzung, der Dicke, des Dotierungsgrads und der Oberflächenbeschaffenheit von Schichten bei Wafern von bis zu 300 mm.

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Leistungsmerkmale

Schneller kontinuierlicher Betrieb

Die 4-kW-SST-mAX-Röntgenröhre verfügt über die bahnbrechende ZETA-Technologie, durch die Röhrenalterungseffekte eliminiert werden. Die Leistung der Röhre bleibt während ihrer gesamten Lebensdauer wie im Neuzustand erhalten. Somit sind hohe Empfindlichkeit, schnelle Analysen und kurze Messzeiten dauerhaft gewährleistet. Die ZETA-Technologie reduziert zuverlässig die Notwendigkeit von Driftkorrekturen und Rekalibrierungen und erhöht somit die Produktivität und Betriebszeit des Geräts.

Maximierte Betriebsverfügbarkeit

Bei konventionellen Röntgenröhren verdampft Wolfram, wodurch sich auf der Innenseite des Berylliumfensters der Röhre Ablagerungen bilden. Beim Einsatz solcher Röntgenröhren müssen an den Geräten turnusmäßig Driftkorrekturen durchgeführt werden, um die abnehmende Intensität, insbesondere bei leichten Elementen, zu kompensieren. 

Beim 2830 ZT wird dieses Driftproblem durch Verwendung der SST-mAX-Röhre reduziert, wodurch die Betriebszeit des Geräts maximiert und seine Genauigkeit langfristig erhalten bleibt.

Einfache Bedienung

Zum Lieferumfang des 2830 ZT gehört die hoch entwickelte Software SuperQ. Diese verfügt über FP Multi, ein Software-Paket, das speziell für die Analyse von Multi-Layern konzipiert ist. Die Benutzeroberfläche der Software sorgt dafür, dass selbst unerfahrene Bediener die vollständige automatische Parameteranalyse von Multi-Layern durchführen können.
Die SuperQ-Software des Geräts verfügt über eine Vielzahl von benutzerfreundlichen Modulen, die für eine flexible Bedienung durch Forscher und Ingenieure konzipiert sind. Der Wechsel zwischen Rezepten ist einfach, ebenso die Anpassung der Geräteparameter an die Anwenderpräferenzen.

FALMO-2G

Der FALMO-2G kann in Laboren und Halbleiterwerken problemlos integriert werden, da er ein einfaches manuelles Laden aus der Kassette ebenso unterstützt wie die vollständige Automatisierung. Dank des hochflexiblen Konzepts stehen FOUP, SMIF und offene Kassetten-Ladeöffnungen zur Auswahl, als Einfach- oder Zweifachausführung. Die verschiedenen Konfigurationen des FALMO-2G werden alle von der GEM300-konformen Software unterstützt. Die Stellfläche des FALMO-2G wurde minimiert, ohne Flexibilität und Funktionalität zu beeinträchtigen. 

Flexibler Betrieb

Die SuperQ-Software des Geräts verfügt über eine Vielzahl anwenderfreundlicher Module, die für den flexiblen Einsatz in Forschung und Technik ausgelegt sind. Der Wechsel zwischen Rezepten ist einfach, ebenso die Anpassung der Geräteparameter an die Anwenderpräferenzen.

Spezifikation

Handhabung von Proben

Probengröße Wafer von 100–300 mm durch direktes Laden; kleinere Größen können dank spezieller Adapter gehandhabt werden
Proben-Typen Optionen für Laden mit FOUP, SMIF, offener Kassette und manuell
Durchsatz Durchsatz bis zu 25 Wafer pro Stunde

Röntgenröhre

System Kompatibilität
SST-mAX75, Endfensterröhre mit zugespitzter Form, SST-mAX50  als Option
Größenmessbereich Messfleckgröße 40 und 10 mm; andere Messfleckgrößen möglich
Technologie ZETA-Technologie

Kanäle

Kanäle Bis zu 24 Festkanäle
Max. 2 Goniometer
Ultra-Hochleistungskanäle aus Bor für höchste Empfindlichkeit und hohen Durchsatz
Besondere Hochleistungskanäle für hohe Empfindlichkeit und hohen Durchsatz erhältlich für B, C, N, O, F, Mg, Wsix, TiSix, CoSix
Nicht entflammbares Argon/Methan
Durchflusszähler
Gasbefüllter Zähler
Scanner 10° bis 100° 2θ
Szintillationsdetektor mit 300-µm-Be-Fenster

Montage

Vorgeschriebene Prüfungen
Entspricht SEMI S2/S8
Vollständige SECS/GEM-Konformität

Zubehör

Die mit dem 2830 ZT verfügbaren Zubehörteile sind unten aufgeführt.

Wir bieten auch eine Reihe von analytischen Dienstleistungen an, von elementarer, struktureller und morphologischer Analyse bis hin zu Validierungs- und Qualifikationsdienstleistungen. Erfahren Sie hier mehr über unsere XRF-Testservices.

Software

DifferAction

An automated solution for low-interference XRF analysis

DifferAction is an optional extension for our Wafer Analyzer 2830 ZT spectrometer platform with SuperQ software, which enables automatic wafer angle optimization for more accurate XRF analysis.

ToolMatch

Enabling consistent results across multiple instruments

As an additional package for our Wafer Analyzer 2830 ZT platform with SuperQ software, ToolMatch makes consistent results across your equipment simple.

By calculating the regression of systematic differences in semiconductor analysis, this software enables automatic results tuning, based on the ToolMatch correction between Wafer Analyzers. It is the ideal solution for ensuring consistent results both within and across sites.

Benutzerhandbücher

Software-Downloads

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Support

Renditeoptimierte Lösungen

Um den einwandfreien Zustand und die höchstmögliche Leistung Ihres Gerätes zu gewährleisten, bietet Malvern Panalytical eine große Bandbreite an Dienstleistungen an. Unser Know-how und unsere Support-Dienstleistungen gewährleisten einen optimalen Betrieb Ihres Geräts.

Support

Lebenslanger Kundendienst

  • Hilfe am Telefon und Fernwartung
  • Präventive Wartung und Checkups
  • Flexible Kundendienstverträge
  • Software- und Hardware-Upgrades
  • Lokaler und globaler Support

Know-how

Wertschöpfung für Ihre Prozesse 

  • Analytische Methoden 
  • Beratungsservices

Schulung und Weiterbildung

  • Schulung vor Ort oder in unseren Kompetenzzentren
  • Breites Angebot an Basis- und Aufbaukursen zu Produkten, Anwendungen und Software

Analyse-Dienstleistungen und Kalibriermaterialien

  • Expertenanalysedienstleistungen (RFA)
Ultimative Fähigkeit zur Film- und Waferanalyse.

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