Next-level-Fusion: Das brandneue FORJ. Find out more
Find out moreProfessionelle RFA-Spektrometer für die Analyse der Elementarzusammensetzung
Malvern Panalytical bietet ein vielseitiges Spektrum an Röntgenfluoreszenz (RFA)-Spektrometern und artverwandten Produkten für die Element- und Dünnschichtanalytik. Diese RFA-Analysatoren eignen sich für vielfältigste Analyse- bzw. Durchsatzanforderungen und Betriebsumgebungen. Die Spektrometer reichen von energiedispersiven RFA-Tischsystemen bis hin zu wellenlängendispersiven Hochleistungs-RFA-Systemen und Produkten für die Halbleitermesstechnik.
RFA-Spektrometer können mit dedizierten Softwareoptionen für spezifische Arten der Röntgenfluoreszenzanalyse konfiguriert werden. In Kombination mit Anwendungsmodulen (Anwendungskonfiguration, Kalibrierung und Standards) oder als Paket mit Probenvorbereitungsprodukten entstehen Analytik-Komplettlösungen. Alle Malvern Panalytical-Produkte werden von unserer Kundenbetreuung und dem Kundenservice unterstützt.
In unserem Knowledge-Center finden Sie weitere Informationen über die vielen interessanten RFA-Anwendungen, die mit unseren Spektrometern möglich werden.
ZetiumElementare Leistung |
Epsilon 1Kleiner, leistungsstarker und tragbarer RFA-Analysator |
Epsilon 4Schnelle und genaue Vor-Ort-Elementanalyse |
Epsilon XflowDirekter Einblick in Ihren Produktionsprozess |
2830 ZTFortgeschrittene Lösung für die Halbleiter-Dünnschicht-Messtechnik |
Axios FASTHoher Probendurchsatz |
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| Typ der Messung | ||||||
| Dünnschicht-Messtechnik | ||||||
| Elementaranalyse | ||||||
| Erkennung und Analyse von Verunreinigungen | ||||||
| Quantifizierung von Elementen | ||||||
| Chemische Identifikation | ||||||
| Technologie | ||||||
| Röntgenfluoreszenzanalyse (RFA) | ||||||
| Wellenlängendispersive Röntgenfluoreszenzanalyse (WDRFA) | ||||||
| Energiedispersive Röntgenfluoreszenzanalyse (EDRFA) | ||||||
| Elementbereich | Be-Am | Na-Am | F-Am | Na-Am | B-Am | B-Am |
| LLD | 0.1 ppm - 100% | 1 ppm - 100% | 1 ppm - 100% | 1 ppm - 100% | 0.1 ppm - 100% | 0.1 ppm - 100% |
| Auflösung (Mg-Ka) | 35eV | 135eV | 135eV | 135eV | 35eV | 35eV |
| Probendurchsatz | 160pro 8 Std. Tag - 240pro 8 Std. Tag | Up to - 80pro 8 Std. Tag | Up to - 160pro 8 Std. Tag | on-line | up to 25 wafers per hour | 240pro 8 Std. Tag - 480pro 8 Std. Tag |
