Die Röntgenfluoreszenzanalyse (RFA) ist ein zerstörungsfreies Analyseverfahren zur Datengewinnung über die elementare Zusammensetzung verschiedener Materialien. Sie wird in vielen Branchen und Anwendungsbereichen eingesetzt: Zementproduktion, Glasherstellung, Bergbau, Mineralgewinnung, Eisen-, Stahl- und Nichteisenmetalle, Erdöl und Erdölchemikalien, Pharmazeutika, Gesundheits- und Umweltprodukte, Polymere u.ä. Spektrometersysteme sind in der Regel in zwei Hauptgruppen unterteilt: wellenlängendispersive Systeme (WDRFA) und energiedispersive Systeme (EDRFA). Der Unterschied zwischen diesen beiden liegt im Detektionssystem.
Das Grundkonzept aller Spektrometer umfasst eine Strahlungsquelle, eine Probe und ein Detektionssystem. Bei WDRFA-Spektrometern bestrahlt eine Röntgenröhre (Strahlungsquelle) direkt eine Probe und die Fluoreszenz aus der Probe wird mit einem wellenlängendispersiven Detektionssystem gemessen. Die charakteristische Strahlung eines jeden einzelnen Elements kann anhand von Analysekristallen bestimmt werden, welche die Röntgenstrahlen nach ihrer Wellenlänge trennen (oder aber nach ihren Energien (EDRFA)). Eine solche WDRFA kann entweder durch die Messung der Röntgenstrahlungsintensität nacheinander bei unterschiedlichen Wellenlängen (sequentiell) erfolgen, oder mit fixen Positionen, wobei Röntgenstrahlungsintensitäten gleichzeitig bei unterschiedlichen Wellenlängen (simultan) gemessen werden.
