Die Röntgenfluoreszenzanalyse (RFA) ist ein zerstörungsfreies Analyseverfahren zur Datengewinnung elementarer Zusammensetzung verschiedener Materialien. Sie wird in vielen Branchen und Anwendungsbereichen eingesetzt: Zementproduktion, Glasherstellung, Bergbau, Mineralgewinnung, Eisen-, Stahl- und Nichteisenmetalle, Erdöl und Erdölchemikalien, Polymere und verwandte Produkte, Forensik, Pharmazeutika, Gesundheitsprodukte, Umwelt-, Lebensmittel- und Kosmetikprodukte. Spektrometersysteme sind in der Regel in zwei Hauptgruppen unterteilt: wellenlängendispersive Systeme (WDRFA) und energiedispersive Systeme (EDRFA). Der Unterschied zwischen diesen liegt im Detektionssystem.
Das Grundkonzept aller Spektrometer umfasst eine Strahlungsquelle, eine Probe und ein Detektionssystem. Bei EDRFA-Spektrometern bestrahlt eine Röntgenröhre (Strahlenquelle) direkt eine Probe und die Fluoreszenz aus der Probe wird mit einem energiedispersiven Detektor gemessen. Dieser Detektor misst die verschiedenen Energien der charakteristischen Strahlung der Probe. Darüber hinaus ist dieser in der Lage die Strahlung der Probe zu separieren, in die Strahlung der verschiedenen Elemente der Probe. Diese Separation nennt man Dispersion.
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