Was ist Röntgenfluoreszenz?

Die Röntgenfluoreszenzanalyse (RFA) ist ein Analyseverfahren, das zur Bestimmung der chemischen Zusammensetzung unterschiedlichster Probentypen eingesetzt werden kann. Hierzu gehören Feststoffe, Flüssigkeiten, Suspensionen und lose Pulver. Die Röntgenfluoreszenzanalyse wird auch zur Bestimmung der Dicke und Zusammensetzung von Schichten und Beschichtungen eingesetzt. Es können Elemente von Beryllium (Be) bis Uran (U) in Konzentrationsbereichen von 100 Gew.-% bis hin zur Sub-ppm-Ebene analysiert werden.

Welche Vorteile bietet die RFA-Analyse?

Die RFA-Analyse ist ein robustes Verfahren, das hohe Präzision und Genauigkeit mit einfacher, schneller Probenvorbereitung vereint. Sie kann für den Einsatz in Hochdurchsatz-Umgebungen leicht automatisiert werden. Darüber hinaus liefert die RFA sowohl qualitative als auch quantitative Informationen zu einer Probe. Eine einfache Kombination aus den Informationen „was?‟ und „wie viel?‟ ermöglicht auch eine schnelle Screeninganalyse (semiquantitativ).

Prinzipien der RFA

Die RFA ist eine Atom-Emissionsmethode, die in dieser Hinsicht der optischen Emissionsspektroskopie (OES), der Massenspektrometrie mit induktiv gekoppeltem Plasma (ICP) und der Neutronenaktivierungsanalyse (Gamma-Spektroskopie) ähnelt. Bei solchen Methoden werden die Wellenlänge und die Intensität von „Licht“ (in diesem Fall Röntgenstrahlen) gemessen, das von energetisierten Atomen in der Probe emittiert wird. Bei der RFA verursacht die Strahlung durch einen primären Röntgenstrahl aus einer Röntgenröhre die Emission von fluoreszierenden Röntgenstrahlen mit diskreten Energiemerkmalen der in der Probe vorhandenen Elemente. 

Bestimmung der Elementarzusammensetzung

Das für die Trennung (Dispersion), Bestimmung und Intensitätsmessung eines Röntgenfluoreszenzspektrums eingesetzte Verfahren führt zu zwei Haupttypen von Spektrometern: wellenlängendispersive (WDRFA) und energiedispersive (EDRFA) Systeme.

RFA-Analysatoren

Wir bieten eine breite Palette an Röntgenfluoreszenzlösungen zur Analyse der Elementarzusammensetzung einer Vielzahl von Materialien und Anwendungen, die sowohl wellenlängendispersive als auch energiedispersive Lösungen umfassen. Entdecken Sie unser Lösungsportfolio in der folgenden Tabelle:

Zetium

Zetium

Elementare Leistung

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Messung Dünnschicht-Messtechnik, Elementaranalyse, Detektion und Analyse von Kontaminationen, Quantifizierung von Elementkonzentrationen
Elementbereich Be-U
Auflösung (Mg-Ka) 35eV
LLD 0.1 ppm - 100%
Probendurchsatz 160per 8h day - 240per 8h day
Technologie Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF), Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)

Epsilon-Serie

Epsilon-Serie

Schnelle und genaue Elementaranalyse – vor Ort und online

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Messung Dünnschicht-Messtechnik, Elementaranalyse, Detektion und Analyse von Kontaminationen, Quantifizierung von Elementkonzentrationen
Elementbereich Na-Am
Auflösung (Mg-Ka) 145eV
LLD 1 ppm - 100%
Probendurchsatz Up to - 160per 8h day
Technologie X-ray Fluorescence (XRF), Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)

Axios FAST

Axios FAST

Hoher Probendurchsatz

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Messung Dünnschicht-Messtechnik, Elementaranalyse, Quantifizierung von Elementkonzentrationen
Elementbereich Be-U
Auflösung (Mg-Ka) 35eV
LLD 0.1 ppm - 100%
Probendurchsatz 240per 8h day - 480per 8h day
Technologie Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)

2830 ZT

2830 ZT

Fortgeschrittene Lösung für die Halbleiter-Dünnschicht-Messtechnik

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Messung Chemische Identifikation, Dünnschicht-Messtechnik, Elementaranalyse, Detektion und Analyse von Kontaminationen, Quantifizierung von Elementkonzentrationen
Elementbereich Be-U
Auflösung (Mg-Ka) 35eV
Probendurchsatz up to 25 wafers per hour
LLD 0.1 ppm - 100%
Technologie Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)

Zetium

Zetium

Elementare Leistung

Epsilon-Serie

Epsilon-Serie

Schnelle und genaue Elementaranalyse – vor Ort und online

Axios FAST

Axios FAST

Hoher Probendurchsatz

2830 ZT

2830 ZT

Fortgeschrittene Lösung für die Halbleiter-Dünnschicht-Messtechnik

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Messung Dünnschicht-Messtechnik, Elementaranalyse, Detektion und Analyse von Kontaminationen, Quantifizierung von Elementkonzentrationen Dünnschicht-Messtechnik, Elementaranalyse, Detektion und Analyse von Kontaminationen, Quantifizierung von Elementkonzentrationen Dünnschicht-Messtechnik, Elementaranalyse, Quantifizierung von Elementkonzentrationen Chemische Identifikation, Dünnschicht-Messtechnik, Elementaranalyse, Detektion und Analyse von Kontaminationen, Quantifizierung von Elementkonzentrationen
Elementbereich Be-U Na-Am Be-U Be-U
Auflösung (Mg-Ka) 35eV 145eV 35eV 35eV
LLD 0.1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100%
Probendurchsatz 160per 8h day - 240per 8h day Up to - 160per 8h day 240per 8h day - 480per 8h day up to 25 wafers per hour
Technologie Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF), Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF) X-ray Fluorescence (XRF), Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF) Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF) Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)

Zetium

Epsilon-Serie

Axios FAST

2830 ZT

Zetium Epsilon-Serie Axios FAST 2830 ZT

Elementare Leistung

Schnelle und genaue Elementaranalyse – vor Ort und online

Hoher Probendurchsatz

Fortgeschrittene Lösung für die Halbleiter-Dünnschicht-Messtechnik

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Typ der Messung
Dünnschicht-Messtechnik
Elementaranalyse
Detektion und Analyse von Kontaminationen
Quantifizierung von Elementkonzentrationen
Chemische Identifikation
Technologie
Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)
Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)
Elementbereich Be-U Na-Am Be-U Be-U
LLD 0.1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100%
Auflösung (Mg-Ka) 35eV 145eV 35eV 35eV
Probendurchsatz 160per 8h day - 240per 8h day Up to - 160per 8h day 240per 8h day - 480per 8h day up to 25 wafers per hour