Röntgenfluoreszenzspektroskopie und RFA-Anwendungen
Die Röntgenfluoreszenzanalyse (RFA) ist ein Analyseverfahren, das zur Bestimmung der chemischen Zusammensetzung unterschiedlichster Probentypen eingesetzt werden kann. Hierzu gehören Feststoffe, Flüssigkeiten, Suspensionen und lose Pulver. Die Röntgenfluoreszenzanalyse wird auch zur Bestimmung der Dicke und Zusammensetzung von Schichten und Beschichtungen eingesetzt. Es können Elemente von Beryllium (Be) bis Uran (U) in Konzentrationsbereichen von 100 Gew.-% bis hin zur Sub-ppm-Ebene analysiert werden.
Die RFA-Analyse ist ein robustes Verfahren, das hohe Präzision und Genauigkeit mit einfacher, schneller Probenvorbereitung vereint. Sie kann für den Einsatz in Hochdurchsatz-Umgebungen leicht automatisiert werden. Darüber hinaus liefert die RFA sowohl qualitative als auch quantitative Informationen zu einer Probe. Eine einfache Kombination aus den Informationen „was?‟ und „wie viel?‟ ermöglicht auch eine schnelle Screeninganalyse (semiquantitativ).
Die RFA ist eine Atom-Emissionsmethode, die in dieser Hinsicht der optischen Emissionsspektroskopie (OES), der Massenspektrometrie mit induktiv gekoppeltem Plasma (ICP) und der Neutronenaktivierungsanalyse (Gamma-Spektroskopie) ähnelt. Bei solchen Methoden werden die Wellenlänge und die Intensität von „Licht“ (in diesem Fall Röntgenstrahlen) gemessen, das von energetisierten Atomen in der Probe emittiert wird. Bei der RFA verursacht die Strahlung durch einen primären Röntgenstrahl aus einer Röntgenröhre die Emission von fluoreszierenden Röntgenstrahlen mit diskreten Energiemerkmalen der in der Probe vorhandenen Elemente.
Das für die Trennung (Dispersion), Bestimmung und Intensitätsmessung eines Röntgenfluoreszenzspektrums eingesetzte Verfahren führt zu zwei Haupttypen von Spektrometern: wellenlängendispersive (WDRFA) und energiedispersive (EDRFA) Systeme.
Wir bieten eine breite Palette an Röntgenfluoreszenzlösungen zur Analyse der Elementarzusammensetzung einer Vielzahl von Materialien und Anwendungen, die sowohl wellenlängendispersive als auch energiedispersive Lösungen umfassen. Entdecken Sie unser Lösungsportfolio in der folgenden Tabelle:
![]() ZetiumElementare Leistung |
![]() Epsilon-SerieSchnelle und genaue Elementaranalyse – vor Ort und online |
![]() Axios FASTHoher Probendurchsatz |
![]() 2830 ZTFortgeschrittene Lösung für die Halbleiter-Dünnschicht-Messtechnik |
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Typ der Messung | ||||
Dünnschicht-Messtechnik | ||||
Elementaranalyse | ||||
Erkennung und Analyse von Verunreinigungen | ||||
Quantifizierung von Elementen | ||||
Chemische Identifikation | ||||
Technologie | ||||
Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF) | ||||
Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF) | ||||
Elementbereich | Be-Am | F-Am | B-Am | B-Am |
LLD | 0.1 ppm - 100% | 1 ppm - 100% | 0.1 ppm - 100% | 0.1 ppm - 100% |
Auflösung (Mg-Ka) | 35eV | 145eV | 35eV | 35eV |
Probendurchsatz | 160per 8h day - 240per 8h day | Up to - 160per 8h day | 240per 8h day - 480per 8h day | up to 25 wafers per hour |