Schneller kontinuierlicher Betrieb

Die 4-kW-SST-mAX-Röntgenröhre verfügt über die bahnbrechende ZETA-Technologie, durch die Röhrenalterungseffekte eliminiert werden. Die Leistung der Röhre bleibt während ihrer gesamten Lebensdauer wie im Neuzustand erhalten. Somit sind hohe Empfindlichkeit, schnelle Analysen und kurze Messzeiten dauerhaft gewährleistet. Die ZETA-Technologie reduziert zuverlässig die Notwendigkeit von Driftkorrekturen und Rekalibrierungen und erhöht somit die Produktivität und Betriebszeit des Geräts.

Maximierte Betriebsverfügbarkeit

Bei konventionellen Röntgenröhren verdampft Wolfram, wodurch sich auf der Innenseite des Berylliumfensters der Röhre Ablagerungen bilden. Beim Einsatz solcher Röntgenröhren müssen an den Geräten turnusmäßig Driftkorrekturen durchgeführt werden, um die abnehmende Intensität, insbesondere bei leichten Elementen, zu kompensieren. 

Beim 2830 ZT wird dieses Driftproblem durch Verwendung der SST-mAX-Röhre reduziert, wodurch die Betriebszeit des Geräts maximiert und seine Genauigkeit langfristig erhalten bleibt.

Einfache Bedienung

Zum Lieferumfang des 2830 ZT gehört die hoch entwickelte Software SuperQ. Diese verfügt über FP Multi, ein Software-Paket, das speziell für die Analyse von Multi-Layern konzipiert ist. Die Benutzeroberfläche der Software sorgt dafür, dass selbst unerfahrene Bediener die vollständige automatische Parameteranalyse von Multi-Layern durchführen können.
Die SuperQ-Software des Geräts verfügt über eine Vielzahl von benutzerfreundlichen Modulen, die für eine flexible Bedienung durch Forscher und Ingenieure konzipiert sind. Der Wechsel zwischen Rezepten ist einfach, ebenso die Anpassung der Geräteparameter an die Anwenderpräferenzen.

FALMO-2G

Der FALMO-2G kann in Laboren und Halbleiterwerken problemlos integriert werden, da er ein einfaches manuelles Laden aus der Kassette ebenso unterstützt wie die vollständige Automatisierung. Dank des hochflexiblen Konzepts stehen FOUP, SMIF und offene Kassetten-Ladeöffnungen zur Auswahl, als Einfach- oder Zweifachausführung. Die verschiedenen Konfigurationen des FALMO-2G werden alle von der GEM300-konformen Software unterstützt. Die Stellfläche des FALMO-2G wurde minimiert, ohne Flexibilität und Funktionalität zu beeinträchtigen. 

Flexibler Betrieb

Die SuperQ-Software des Geräts verfügt über eine Vielzahl anwenderfreundlicher Module, die für den flexiblen Einsatz in Forschung und Technik ausgelegt sind. Der Wechsel zwischen Rezepten ist einfach, ebenso die Anpassung der Geräteparameter an die Anwenderpräferenzen.

Handhabung von ProbenRöntgenröhreKanäleMontage
Wafer von 100–300 mm durch direktes Laden; kleinere Größen können dank spezieller Adapter gehandhabt werdenSST-mAX75, Endfensterröhre mit zugespitzter Form, SST-mAX50  als OptionBis zu 24 FestkanäleEntspricht SEMI S2/S8
Optionen für Laden mit FOUP, SMIF, offener Kassette und manuellMessfleckgröße 40 und 10 mm; andere Messfleckgrößen möglichMax. 2 GoniometerVollständige SECS/GEM-Konformität
Durchsatz bis zu 25 Wafer pro StundeZETA-TechnologieUltra-Hochleistungskanäle aus Bor für höchste Empfindlichkeit und hohen Durchsatz
Besondere Hochleistungskanäle für hohe Empfindlichkeit und hohen Durchsatz erhältlich für B, C, N, O, F, Mg, Wsix, TiSix, CoSix
Nicht entflammbares Argon/Methan
Durchflusszähler


Gasbefüllter Zähler



Scanner 10° bis 100° 2θ



Szintillationsdetektor mit 300-µm-Be-Fenster

Service und Support

Renditeoptimierte Lösungen

Um den einwandfreien Zustand und die höchstmögliche Leistung Ihres Gerätes zu gewährleisten, bietet Malvern Panalytical eine große Bandbreite an Dienstleistungen an. Unser Know-how und unsere Support-Dienstleistungen gewährleisten einen optimalen Betrieb Ihres Geräts.

Support

Lebenslanger Kundendienst

  • Hilfe am Telefon und Fernwartung
  • Präventive Wartung und Checkups
  • Flexible Kundendienstverträge
  • Software- und Hardware-Upgrades
  • Lokaler und globaler Support

Know-how

Wertschöpfung für Ihre Prozesse 

  • Analytische Methoden 
  • Beratungsservices

Schulung und Weiterbildung

  • Schulung vor Ort oder in unseren Kompetenzzentren
  • Breites Angebot an Basis- und Aufbaukursen zu Produkten, Anwendungen und Software

Analyse-Dienstleistungen und Kalibriermaterialien

  • Expertenanalysedienstleistungen (RFA)