반도체 품질을 높이는 단결정 배향 측정 솔루션 – 최신 웨비나 소개

단결정 배향 측정이란?

단결정 배향 측정(Crystal Orientation Analysis)은 반도체 제조 공정에서 웨이퍼 품질, 수율, 정렬 정확도에 결정적인 역할을 합니다. 특히 차세대 고집적 반도체 및 전력 반도체 분야에서 그 중요성이 더욱 커지고 있습니다.

최근 Malvern Panalytical은 반도체 업계를 위한 고정밀·고속 단결정 배향 분석 솔루션을 소개하는 웨비나를 개최하였습니다. 이 글에서는 해당 웨비나에서 소개된 핵심 내용을 정리해 드립니다.

반도체 품질 혁신을 위한 최신 XRD 장비 3종

1️⃣ SDCOM – 소형 탁상형 XRD 결정 배향 측정기

• 최소 2×2mm 시료도 고정밀 측정 가능
• 최대 4×4cm 영역까지 매핑 지원
• 실험실 및 샘플 테스트용으로 최적화

2️⃣ Omega/Theta – 웨이퍼 전용 고정밀 XRD 시스템

• 최대 300mm 웨이퍼 비접촉식 자동 측정
• 공정 간섭을 줄이는 넓은 장비 구조
• 대량 생산 라인의 품질 관리에 이상적

3️⃣ DDCOM – 다목적 데스크탑형 XRD 솔루션

• 복잡한 결정 구조도 정밀하게 분석
• 연구소 및 파일럿 공정용으로 추천
• 높은 유연성과 자동화 기능 제공

🎯 왜 단결정 배향 측정이 중요한가?

• 반도체의 전기적 특성, 열전도, 기계적 안정성은 결정 방향에 따라 달라집니다.
• 웨이퍼의 불균일한 배향은 결함 증가 및 수율 저하로 이어질 수 있습니다.
• 따라서 고정밀 결정 방향 측정 장비는 공정 안정성 확보와 비용 절감에 필수입니다.

🎓 웨비나 주요 내용 정리

✅ 장비별 측정 원리 및 성능 비교
✅ 실제 웨이퍼 및 결정 시료 측정 사례
✅ 실험실 및 생산 환경에서의 응용 전략

👨‍🔬 이런 분께 추천드립니다

• 반도체 R&D 연구원
• 웨이퍼 가공 및 품질 검사 담당자
• 단결정 성장 및 공정 엔지니어
• 다목적 분석 장비를 찾는 실험실 운영자

🎥 웨비나 다시보기

이번 웨비나는 누구나 무료로 시청하실 수 있습니다.
단결정 배향 측정 솔루션에 대한 최신 정보를 영상으로 확인해보세요.

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반도체 산업을 위한 핵심 분석 기술

Crystal Orientation XRD 장비는 반도체 웨이퍼 품질 향상을 위한 핵심 분석 기술입니다.
높은 정밀도와 자동화를 바탕으로 R&D부터 양산까지 폭넓게 활용되고 있습니다.

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