SDCOM

컴팩트한 패키지가 선사하는 초고속의 유연한 결정 방향

1mm의 크기부터 결정을 측정할 수 있는 SDCOM은 방위각 스캔 방법을 사용하여, 단 한 번의 측정 회전으로 단일 결정의 완전한 격자 방향을 단 몇 초 만에 정밀하게 측정합니다. 연구 및 생산 품질 관리에 적합하고 용도가 다양하며 사용하기 쉬운 SDCOM은 광범위한 웨이퍼 및 잉곳 공정 단계에 쉽게 적용할 수 있으며, 수랭식 냉각이 필요하지 않습니다.

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개요

그 어느 때보다 쉽게 결정 방향을 빠르고 정밀하게 측정할 수 있습니다. 사용자 친화적인 소형 XRD인 SDCOM을 소개합니다. 방위각 스캔 방법으로 초고속 측정이 가능하여 5초 이내에 결과를 얻을 수 있습니다. 

최대 0.01o에 달하는 최고 수준의 정밀도를 제공하고, 측면 결정 방향 표시 옵션을 포함하여 다양한 샘플 홀더 및 이송 설비를 갖추고 소형으로 사용이 간편한 SDCOM은 다양한 웨이퍼 공정 및 연구 응용 분야에 이상적인 솔루션입니다. 

특징 및 장점

초고속 정밀도를 구현하는 방위각 스캔 방법

방위각 스캔 방법은 단 하나의 측정 원으로 결정 방향을 결정하는 데 필요한 모든 데이터를 수집하고, 단 몇 초의 매우 짧은 측정 시간 안에 높은 정밀도를 제공합니다.

샘플은 360o 로 회전하며 X선 소스와 검출기가 회전당 특정한 반사 횟수를 얻을 수 있도록 배치됩니다. 이러한 반사를 통해 결정 격자의 방향이 회전축에 대해 짧은 시간 내에 높은 정밀도로 측정될 수 있습니다.

초고속 정밀도를 구현하는 방위각 스캔 방법

작은 사이즈 및 다양한 기능

SDCOM은 가볍고 크기가 작아서 쉽게 이동할 수 있으며, 연구나 산업 분야와 관계없이 공정에 쉽게 적용할 수 있습니다. XRD Suite 소프트웨어는 강력하면서도 직관적이어서 다양한 사용자가 편리하고 쉽게 조작할 수 있습니다.

유연성은 SDCOM의 주요 특징이며, 특히 측정 가능한 물질의 범위에서 이러한 특징이 잘 나타납니다. SDCOM은 크기가 1mm 이상인 결정을 측정할 수 있으며, 측정 가능한 물질의 예는 다음과 같습니다.

  • 입방체(Cubic), 임의의 알 수 없는 방향: Si, Ge, GaAs, GaP, InP
  • 입방체(Cubic), 특수 방향: Ag, Au, Ni, Pt, GaSb, InAs, InSb, AlSb, ZnTe, CdTe, SiC3C, PbS, PbTe, SnTe, MgO, LiF, MgAl2O4, SrTiO3, LaTiO3
  • 정방정계(Tetragonal): MgF2, TiO2, SrLaAlO4
  • 육각형(Hexagonal) 및 삼각형(Trigonal): SiC 2H, 4H, 6H, 15R, GaN, ZnO, LiNbO3, SiO2(석영), Al2O3(사파이어), GaPO4, La3Ga5SiO14
  • 사방정계(Orthorhombic): Mg2SiO4, NdGaO

또한 워크플로와의 호환성을 보장하는 다양한 샘플 홀더 및 이송 설비가 있으므로 SDCOM 응용 분야의 가능성을 더욱 확장할 수 있습니다. 수동 및 전동식 웨이퍼 매핑 스테이지도 사용할 수 있습니다.

작은 사이즈 및 다양한 기능

사용자 친화적인 정밀도

SDCOM은 샘플에 따라 최대 0.01 o의 뛰어난 정밀도를 제공하며, 1mm 이상의 결정 크기를 측정할 수 있습니다. 한 번의 측정 회전에서 결정 방향을 완벽하게 분석하는 방위각 스캔 방법 덕분에 최고 속도에서도 정밀도를 유지할 수 있습니다. 측면 결정 방향 표시 기능을 포함하는 옵션도 있습니다.

수동 조작과 직관적인 소프트웨어 설계 덕분에 SDCOM은 다양한 유형의 사용자가 간편하게 사용할 수 있으므로 사용자 경험 수준이 다양한 연구 및 산업 분야 모두에서 실용적입니다.

사용자 친화적인 정밀도

비용 효율성

SDCOM의 X선관은 공냉식 냉각을 이용하므로 수냉식 냉각이 필요하지 않습니다. SDCOM의 효율성과 적은 설치 면적 덕분에 에너지 소비와 운영 비용을 최소화할 수 있습니다. 

비용 효율성

주요 응용 분야

평면 방향 표시 및 측정
SDCOM은 평면 방향 표시 및 측정을 포함하여 웨이퍼 생산 및 공정의 다양한 응용 분야에 이상적인 초고속 고정밀 결정 방향 측정을 제공합니다. 가볍고 휴대성이 뛰어나 공정에서 필요한 곳이면 어디든지 투입할 수 있습니다. 
높은 정밀도로 다양한 물질의 1mm까지 작은 결정을 측정할 수 있는 SDCOM은 반도체 산업의 복잡하고 변화하는 요구에 부합하는 성능을 제공할 수 있습니다.
생산 품질 관리
SDCOM은 일상적인 프로세스 제어에서 요구되는 속도, 정밀도, 반복성을 제공합니다. 데스크톱 형식과 공랭식 X선관 덕분에 매우 빠른 속도로 측정할 수 있어서 운영 비용에 큰 영향을 미치지 않고도 생산성을 높일 수 있습니다.
재료 연구
실험실 내 설치 면적이 작지만 다양한 범위의 결정 유형을 측정할 수 있는 SDCOM은 표준 연구 워크플로에 적합합니다. 에너지 소비를 최소화하고, 수랭식 냉각이 필요 없는 공랭식 X선관을 사용하므로 운영 비용을 낮출 수 있습니다. 
또한 SDCOM은 수동으로 쉽게 조장할 수 있으므로 다양한 사용자가 있는 연구 실험실에 실용적인 솔루션입니다.

사양

X선 소스 30W 공랭식 X선관, Cu 양극
검출기 섬광 계수기 기술
샘플 홀더 정확한 턴테이블, 설정 정확도 0.01°, 맞춤형 샘플 홀더 및 이송 설비
샘플 직경 최소 2mm ø, 최대 200mm
주변 온도 ≤ 30°C
PC 요구 사항 Windows 10 또는 최신 버전, NET Framework 업데이트, 이더넷 포트 2개
전력 요건 100~230V, 단상, 500W
크기 600mm(L) x 600mm(B) x 840mm(H)
무게 ca, 100kg
인증 ISO 9001 지침의 CE 준수에 따라 제작되었습니다.
모든 기술 매개 변수는 R&D에 따라 변경될 수 있습니다.

액세서리

샘플 홀더

SDCOM에서는 다양한 샘플 홀더를 사용할 수 있으므로 샘플의 크기에 상관없이 불규칙한 샘플을 쉽게 처리할 수 있습니다. 

샘플 홀더

이송 설비(Transfer fixtures)

와이어 톱, 그라인딩 등의 옵션을 포함한 전용 이송 설비를 추가하면 SDCOM을 공정에 완벽하게 통합할 수 있습니다.

이송 설비(Transfer fixtures)

지원팀

지원 서비스 

  • 전화 및 원격 지원
  • 예방적 유지보수 및 점검
  • 유연한 고객 관리 계약
  • 성능 인증서
  • 하드웨어 및 소프트웨어 업그레이드
  • 지역 및 글로벌 지원

전문 기술

  • 원소 및 구조 반도체 계측을 위한 턴키 솔루션
  • 자동화 및 컨설팅
  • 훈련 및 교육
초고속 결정 방향 측정이 간편해졌습니다.

초고속 결정 방향 측정이 간편해졌습니다.

편리하고 컴팩트한 포맷으로 다양하고 정밀하며 빠른 X선 회절 비용 절감에 효율적입니다.

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