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SDCOM

컴팩트한 패키지가 선사하는 초고속 상단 표면 측정 결정 방향

  • 2mm에서 300mm까지의 결정 직경 분석
  • 몇 초 안에 분석을 위해 방위각 스캔 방법을 사용합니다.
  • 다양한 웨이퍼 및 잉곳 공정에 쉽게 적용 가능

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개요

그 어느 때보다 쉽게 결정 방향을 빠르고 정밀하게 측정할 수 있습니다. 사용자 친화적인 소형 XRD인 SDCOM을 소개합니다. 방위각 스캔 방법으로 초고속 측정이 가능하여 10초 이내에 결과를 얻을 수 있습니다. 

최대 0.01°의 최고 수준의 정밀도를 제공하는 동시에 다양한 액세서리를 지원하는 SDCOM은 웨이퍼 공정 및 연구 분야의 다양한 응용 분야에 이상적인 솔루션입니다.

직경 2mm에서 300mm 사이의 모든 단결정을 측정할 수 있는 SDCOM은 방위각 스캔 방법을 사용하여, 단 한 번의 측정 회전으로 단일 결정의 완전한 격자 방향을 단 몇 초 만에 정밀하게 측정합니다. 

연구, 생산 및 품질 관리 모두에 적합한 다용도 및 접근성이 뛰어난 SDCOM은 다양한 웨이퍼 및 잉곳 공정 단계에 쉽게 적용할 수 있으며, 수랭식 냉각이 필요하지 않아 운영 비용을 최소화합니다.

빠르게 정밀도를 구현하는 방위각 스캔 방법

방위각 스캔 방법에서는 방향을 완전히 결정하는 데 필요한 모든 데이터를 수집하기 위해 단 한 번의 측정 회전만 필요하며, 정확도는 손상하지 않으면서 10초 이내에 결과를 제공합니다.

샘플은 360° 로 회전하며 X선 소스와 검출기가 회전당 특정한 반사 횟수를 얻을 수 있도록 배치됩니다. 이러한 반사를 통해 결정 격자의 방향이 회전축에 대해 최대 0,01°의 높은 정밀도로 측정될 수 있습니다.

작은 사이즈 및 다양한 기능

가볍고 컴팩트한 디자인의 SDCOM은 연구 또는 산업 공정에서 쉽게 통합할 수 있습니다. XRD Suite 소프트웨어는 강력하면서도 직관적이어서 다양한 사용자가 편리하고 쉽게 조작할 수 있습니다.

유연성은 SDCOM의 주요 특징이며, 특히 측정 가능한 물질의 범위에서 이러한 특징이 잘 나타납니다. SDCOM은 직경 2mm부터 직경 300mm까지 결정을 측정할 수 있습니다.

유연성을 높이기 위해 SDCOM은 Theta 스캔도 지원합니다. 이를 통해 훨씬 더 넓은 범위의 물질과 오프 컷을 다룰 수 있습니다.

또한 워크플로와의 호환성을 보장하는 다양한 샘플 홀더 및 이송 설비가 있으므로 SDCOM 응용 분야의 가능성을 더욱 확장할 수 있습니다. 수동 및 전동식 웨이퍼 매핑 스테이지도 사용할 수 있습니다.

측정 가능한 재료

측정 가능한 물질의 예는 다음과 같습니다(방위각 스캔 방법).

  • 입방체, 임의의 알 수 없는 방향: Si, Ge, GaAs, GaP, InP
  • 입방체, 특수 방향: Ag, Au, Ni, Pt, GaSb, InAs, InSb, AlSb, ZnTe, CdTe, SiC3C, PbS, PbTe, SnTe, MgO, LiF, MgAl2O4, SrTiO3, LaTiO3
  • 정방정계: MgF2, TiO2, SrLaAlO4
  • 육각형 및 삼각형: SiC 2H, 4H, 6H, 15R, GaN, ZnO, LiNbO3, SiO2(석영), Al2O3(사파이어), GaPO4, La3Ga5SiO14
  • 사방정계: Mg2SiO4, NdGaO3 
  • 기타 모든 단결정 물질

비용 효율성

SDCOM의 X선관은 공랭식 냉각을 이용하므로 냉각기 또는 수랭식 회로가 필요하지 않습니다. 

SDCOM의 효율성과 적은 설치 면적 덕분에 에너지 소비와 운영 비용을 최소화할 수 있습니다. 

주요 응용 분야

평면 방향 표시 및 측정

SDCOM은 평면 방향 표시 및 측정을 포함하여 웨이퍼 생산 및 공정의 다양한 응용 분야에 이상적인 초고속 고정밀 결정 방향 측정을 제공합니다. 가볍고 휴대성이 뛰어나 공정에서 필요한 곳이면 어디든지 투입할 수 있습니다. 

높은 정밀도로 다양한 물질의 1mm까지 작은 결정을 측정할 수 있는 SDCOM은 반도체 산업의 복잡하고 변화하는 요구에 부합하는 성능을 제공할 수 있습니다.

생산 품질 관리

SDCOM은 일상적인 프로세스 제어에서 요구되는 속도, 정밀도, 반복성을 제공합니다. 데스크톱 형식과 공랭식 X선관 덕분에 매우 빠른 속도로 측정할 수 있어서 운영 비용에 큰 영향을 미치지 않고도 생산성을 높일 수 있습니다.

물질 연구

실험실 내 설치 면적이 작지만 다양한 범위의 결정 유형을 측정할 수 있는 SDCOM은 표준 연구 워크플로에 적합합니다. 에너지 소비를 최소화하고, 수랭식 냉각이 필요 없는 공랭식 X선관을 사용하므로 운영 비용을 낮출 수 있습니다. 

또한 SDCOM은 수동으로 쉽게 조장할 수 있으므로 다양한 사용자가 있는 연구 실험실에 실용적인 솔루션입니다.

사양

인위적인

X-ray generator
30W 공랭식 X선관, Cu 양극
검출기
섬광 계수기 기술
Sample holders
정확한 턴테이블, 설정 정확도 0.01°, 맞춤형 샘플 홀더 및 이송 설비
샘플 크기
최소 2mm ø, 최대 200mm
주변 온도 범위
≤ 30° C

일반적인

컴퓨터
Windows 10 또는 최신 버전, NET Framework 업데이트, 이더넷 포트 2개
전원
100~230V, 단상, 500W
크기
600 mm (L) x 600 mm (W) x 840 mm (H)
무게
ca, 100 kg
인증
ISO 9001 지침의 CE 준수에 따라 제작되었습니다.

악세서리

작업흐름을 향상시키세요

샘플 홀더

SDCOM에서는 다양한 샘플 홀더를 사용할 수 있으므로 샘플의 크기에 상관없이 불규칙한 샘플을 쉽게 처리할 수 있습니다. 

샘플 홀더

이송 설비(Transfer fixtures)

와이어 톱, 그라인딩 등의 옵션을 포함한 전용 이송 설비를 추가하면 SDCOM을 공정에 완벽하게 통합할 수 있습니다.

이송 설비(Transfer fixtures)

150-200mm 잉곳/보울용 정렬 패키지

노치와 플랫 스토퍼를 고정하여 정렬 실수 없이 샘플을 측정합니다.

150-200mm 잉곳/보울용 정렬 패키지

최대 300mm 웨이퍼/잉곳을 위한 샘플 스테이지

고성능, 고수율 반도체 제조의 업계 표준인 300mm 웨이퍼를 측정할 수 있습니다.

최대 300mm 웨이퍼/잉곳을 위한 샘플 스테이지

사용자 매뉴얼

소프트웨어 다운로드

최신 소프트웨어 버전에 대한 지원을 문의 하십시오

지원팀

지원 서비스 

  • 전화 및 원격 지원
  • 예방적 유지보수 및 점검
  • 유연한 고객 관리 계약
  • 성능 인증서
  • 하드웨어 및 소프트웨어 업그레이드
  • 지역 및 글로벌 지원

전문 기술

  • 원소 및 구조 반도체 계측을 위한 턴키 솔루션
  • 자동화 및 컨설팅
  • 훈련 및 교육
초고속 결정 방향 측정이 간편해졌습니다.

초고속 결정 방향 측정이 간편해졌습니다.

편리하고 컴팩트한 포맷으로 다양하고 정밀하며 빠른 X선 회절 비용 절감에 효율적입니다.

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