웨이퍼 매핑용 장치
결정 방향 또는 표면 왜곡을 탐색하고 매핑하기 위한 추가 기능(옵션)
개요
매우 빠르고 정밀(최대 (1/100)o)한 결정 방향을 간편하게 측정하십시오. DDCOM은 하향식 측정 형태 구조로 인해 시간을 추가로 절약하면서 기존 방법보다 100배 이상 빠르게 신뢰할 수 있는 결과를 얻습니다. 이 다기능성 장비는 공냉식 X선관과 휴대용 설계를 활용하여 낮은 운영 비용과 최대의 편의성을 보장하며 품질 관리, 마킹 및 연구 분야에 이상적입니다.
특징 및 장점
매우 빠른 정확도
당사의 독점적인 스캔 방법은 단 한 번의 스캔 회전만으로 결정 방향 파악에 필요한 모든 데이터를 수집하여 몇 초(단일 회전) 범위 내에서 정확한 결과를 제공합니다.
물질별 기기에 따른 기하학적 구조는 스캔 회전 횟수에 따라 정밀하게 증가하면서 회전 축에 대해 매우 빠르게 결정 격자의 방향을 측정할 수 있게 합니다.
작은 사이즈의 사용자 친화적인 형식
DDCOM만의 작은 사이즈의 설계로 어떤 설정에도 시스템을 맞출 수 있습니다. 이 소프트웨어는 강력하면서도 직관적이어서 다양한 사용자가 편리하고 쉽게 조작할 수 있습니다.
정밀하고 효율적인 제어
최대 1/100o의 높은 정밀도로 절단, 그라인딩, 래핑 공정을 제어할 수 있습니다. DDCOM은 단일 결정의 완전한 격자 방향을 제공하며 결정 방향의 방위각 설정 및 표시를 위해 설계되었습니다.
사전 프로그래밍된 결정 매개 변수를 통해 다양한 구조의 불확실한 임의의 방향을 파악할 수 있으며, 워크플로를 개선하여 효율성을 높일 수 있습니다. 다양한 스테이지의 액세서리는 여러 공정 단계에서 계측을 가능하게 합니다.
다목적이고 비용 효율적
DDCOM은 다양한 샘플 유형을 분석해야 하는 연구 및 생산 환경 모두에 적합합니다. DDCOM은 낮은 에너지 소비량과 공랭식 X선관 덕분에 수랭식 냉각이 필요 없어 운영 비용이 저렴합니다.
이 기기는 다양한 구조로 여러 물질을 측정할 수 있으므로 모든 실험실에서 다목적으로 활용할 수 있습니다. 측정 가능한 물질의 예는 다음과 같습니다.
- 입방체, 임의의 알 수 없는 방향: Si, Ge, GaAs, GaP, InP
- 입방체, 특수 방향: Ag, Au, Ni, Pt, GaSb, InAs, InSb, AlSb, ZnTe, CdTe, SiC3C, PbS, PbTe, SnTe, MgO, LiF, MgAl2O4, SrTiO3, LaTiO3
- 정방정계: MgF2, TiO2, SrLaAlO4
- 육각형 및 삼각형: SiC 2H, 4H, 6H, 15R, GaN, ZnO, LiNbO3, SiO2(석영), Al2O3(사파이어), GaPO4, La3Ga5SiO14
- 사방정계: Mg2SiO4, NdGaO3
주요 응용 분야
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- 절단, 그라인딩 및 래핑(lapping) 시 결정 방향 제어
- DDCOM XRD는 설치 면적이 작고 자동화 기능이 뛰어나며 측정 속도가 빠르기 때문에, 편리하고 사용자 친화적인 방법으로 결정 방향을 측정하여 절단, 그라인딩 및 래핑 공정을 정밀하고 효율적으로 제어할 수 있습니다.
- 결정 방향 설정 및 표시
- DDCOM은 방위각 설정 및 결정 방향 표시가 가능합니다. 웨이퍼 표시는 탁월한 정밀도와 신속한 모니터링에 크게 좌우되는데, DDCOM은 공정에 필요한 속도와 정밀도를 제공합니다. 가볍고 휴대성이 뛰어나 기존 설정에 쉽게 통합되거나 새로운 프로세스의 일부로 통합됩니다.
- 품질 관리
- 측정 속도와 처리량 시간은 생산 품질 관리에 매우 중요하지만, 일상적인 측정을 위해서는 운영 비용을 낮게 유지하는 것도 중요합니다. DDCOM은 하향식 측정 형태 구조로 인해 처리량과 생산성이 효율적일 뿐만 아니라, 에너지 사용량도 효율적이므로 품질 저하 없이 비용을 낮추고 공정을 최적으로 실행할 수 있습니다.
- 재료 연구
- 실험실 내 설치 면적이 작지만 다양한 범위의 결정 유형을 측정할 수 있는 DDCOM은 표준 연구 워크플로에 적합합니다. 에너지 소비를 최소화하고, 수랭식 냉각이 필요 없는 공랭식 X선관을 사용하므로 운영 비용을 낮출 수 있습니다. 또한 DDCOM은 다양한 경험 수준을 가진 사용자가 쉽게 접근하고 작동할 수 있어 연구 실험실에 실용적인 솔루션입니다.
사양
| 기술 사양 | |
|---|---|
| X선 소스 | 30W 공랭식 X선관, Cu 양극 |
| 검출기 | 섬광 계수기 2개 |
| 샘플 홀더 | 정확한 턴테이블, 정확도 0.01°로 세팅, 맞춤 제작된 샘플 홀더 및 이동 설비 |
| 물리적 사양 | |
| 크기 | 600mm ×600mm × 850mm |
| 무게 | 80kg |
| 전력 | 100~230V, 500W, 단상 |
| 실내 온도 | ≤ 30°C |
| 구성 옵션 | |
| 웨이퍼 매핑 장치(최대 직경 225mm) | |
| 카세트에서 자동 로딩하는 장치 | |
| 측정 가능한 물질의 예 | |
| 입방/임의의 알 수 없는 방향: Si, Ge, GaAs, GaP, AlAs, AlP, InP, NaCl, AgCl, CaF2 | |
| 입방/특수 방향: Ag, Au, Ni, Pt, GaSb, InAs, InSb, AlSb, ZnTe, CdTe, SiC 3C, PbS, PbTe, SnTe, MgO, LiF, MgAl2O4, SrTiO3, LaTiO3 | |
| 정방정계: MgF2, TiO2, SrLaAlO4 | |
| 육각형/삼각형: SiC 2H, 4H, 6H, 15R, GaN, ZnO, LiNbO3, SiO2(석영), Al2O3(사파이어), GaPO4, La3Ga5SiO14 | |
| 사방정계: Mg2SiO4, NdGaO3 | |
| 고객 요구에 따른 추가적인 재료 | |
액세서리
카세트에서 자동 로딩
카세트에서 샘플을 자동으로 로딩할 수 있는 추가 도구로 처리량 시간 및 워크플로로 효율성을 개선합니다.
지원팀
지원 서비스
- 전화 및 원격 지원
- 예방적 유지보수 및 점검
- 유연한 고객 관리 계약
- 성능 인증서
- 하드웨어 및 소프트웨어 업그레이드
- 지역 및 글로벌 지원
전문 기술
- 원소 및 구조 반도체 계측을 위한 턴키 솔루션
- 자동화 및 컨설팅
- 훈련 및 교육
