Omega/Theta Pre-installation Manual (English)
버전 번호: 1
개요
Omega/Theta는 결정 격자 방향 측정을 위한 최고의 정밀도와 빠른 측정 속도를 제공합니다. 바코드 판독기에서 매핑 테이블 및 결정 스태킹 프레임에 이르는 다양한 공정 액세서리를 갖추고 있습니다. Omega/Theta는 결정의 방향을 찾고 다음 처리 단계로 옮기는 데 있어 신뢰할 수 있는 파트너입니다.
Omega/Theta는 빠르게 진화하는 반도체 환경에서 결정 방향 파악에 있어 신뢰할 수 있는 미래 지향적 파트너입니다. 시장을 선도하는 정밀도, 초고속 측정 속도 및 고급 제작 품질이 자동화의 힘과 결합하여 업계 및 연구 응용 분야에서 결정 방향 및 정렬을 위한 탁월한 효율성과 정밀도를 제공합니다.
초고속 및 정밀도: 방위각 스캔 방법
방위각 스캔 방법에서는 방향을 완전히 결정하는 데 필요한 모든 데이터를 수집하기 위해 단 한 번의 측정 회전만 필요하며, 정확도는 손상하지 않으면서 10초 이내에 결과를 제공합니다.
샘플은 360° 로 회전하며 X선 소스와 검출기가 회전당 특정한 반사 횟수를 얻을 수 있도록 배치됩니다.
이러한 반사를 통해 결정 격자의 방향이 회전축에 대해 최대 0,003°의 높은 정밀도로 측정될 수 있습니다.
사용자 친화적
Omega/Theta 의 모든 측정은 자동화되어 있으며 사용자 친화적인 XRD 소프트웨어 내에서 관리됩니다. 이 소프트웨어는 일상적인 워크플로를 위해 즉시 사용 가능하고 손쉬운 레시피 기반 측정을 제공합니다.
이 기기는 다양한 MES, SECS/GEM 및 유사한 인터페이스를 사용하여 생산 환경의 기존 공정에 쉽게 통합할 수 있습니다.
다양한 물질의 특성 분석
Omega/Theta 는 모든 단일 결정 재료의 특성을 분석하는 데 사용할 수 있습니다. 일반적으로 사용되는 재료는 다음과 같습니다.
- 입방체, 임의의 알 수 없는 방향: Si, Ge, GaAs, GaP, InP
- 입방체, 특수 방향: Ag, Au, Ni, Pt, GaSb, InAs, InSb, AlSb, ZnTe, CdTe, SiC3C, PbS, PbTe, SnTe, MgO, LiF, MgAl2O4, SrTiO3, LaTiO3
- 정방정계: MgF2, TiO2, SrLaAlO4
- 육각형 및 삼각형: SiC 2H, 4H, 6H, 15R, GaN, ZnO, LiNbO3, SiO2(석영), Al2O3(사파이어), GaPO4, La3Ga5SiO14
- 사방정계: Mg2SiO4, NdGaO3
- 기타 모든 단결정 재료
편리하고 유연한 샘플 처리
당사의 다양한 액세서리는 시드 보링(Seed Boring)에서 보울 그라인딩(Grinding), 슬라이싱(Slicing) 및 웨이퍼의 최종 제어까지 다양한 응용 분야에서 Omega/Theta의 생산성을 향상하기 때문에, 시간이 지남에 따라 필요한 사항이 변경되더라도 유연하게 대처할 수 있습니다.
대형 잉곳에서부터 소형 플레이트에 이르기까지 모든 요구를 충족할 수 있는 특수 샘플 홀더를 갖춘 Omega/Theta는 다양한 샘플 크기를 수용할 수 있어 생산 및 연구 모두에 가치를 더합니다.
- 사용자가 정의한 그리드에 결정 방향 또는 표면 왜곡을 매핑하는 자동 X-Y 매핑 스테이지
- 절단 전에 잉곳(Ingot) 정렬을 위한 스태킹 단계
- 추가 샘플 회전축
- 시료 조정 장비
- 더 많은 맞춤형 엔지니어링 솔루션이 있습니다!
대형 잉곳에서부터 소형 실린더에 이르기까지 모든 요구를 충족하는 맞춤형 샘플 홀더를 갖춘 Omega/Theta 는 다양한 샘플 크기를 수용할 수 있으므로, 연구 작업과 마찬가지로 생산 워크플로에서도 동일한 수준의 샘플을 간편하게 사용할 수 있습니다.
주요 응용 분야
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- 생산
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Omega/Theta 는 제조업체용으로 설계되었습니다. 생산 시 다양한 결정 유형의 초고속 방향 측정 및 정렬, 평면 방향 표시 또는 플랫(Flat) 또는 노치(Notch)의 방향 확인에 적합합니다. 또한 높은 처리량과 자동화 기능 덕분에 생산 품질 관리에도 적합합니다.
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절단 전에 잉곳의 정렬을 위한 스태킹 단계 및 품질 측정을 위한 로킹 커브 도구와 같은 옵션이 추가로 제공되는 Omega/Theta 는 생산 응용 분야의 다목적 파트너입니다.
- 재료 연구
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Omega/Theta 의 높은 정밀도와 유연성은 최대 30kg 및 최대 450mm 길이의 다양한 샘플을 수용할 수 있으며, 크고 복잡한 샘플에 대해 추가 단계를 사용할 수 있기 때문에 재료 연구에 적합합니다.
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광범위한 물질을 분석할 수 있어 R&D 프로세스에 매우 유용하며, 유연한 Theta Scan은 측정 가능성의 새로운 세계를 열어줍니다.
