Metrologia de semicondutores

Como apresentado anteriormente, a Metrologia desempenha um papel vital na indústria dos semicondutores, fornecendo caracterização, medições e análises de materiais essenciais. 

À medida que esta indústria continua a evoluir, o fornecimento de propriedades estruturais e químicas torna-se cada vez mais crítico em várias áreas-chave:

• Otimização de processos
  As ferramentas de metrologia ajudam a aprimorar os processos de fabricação, como controle de processos, aprimoramento de produtividade e inovação e desenvolvimento, monitorando continuamente e fornecendo feedback rápido, garantindo assim taxas de rendimento mais elevadas e a expansão desta indústria para tamanhos de recursos cada vez menores 
  
  
• Garantia de controle de qualidade
  Os padrões de qualidade dos dispositivos semicondutores são rigorosos e essenciais, razão pela qual a metrologia garante a identificação precoce de falhas ou desvios das propriedades desejadas, permitindo a intervenção precoce nos processos e reduzindo a probabilidade de dispositivos defeituosos. A característica não destrutiva da metrologia de raios X permite a sua integração nos processos sem comprometer a integridade da amostra.

A inspeção de wafer refere-se ao processo pelo qual os wafers semicondutores são verificados estruturalmente e quimicamente quanto a defeitos, irregularidades e inomogeneidades. Desta forma, quaisquer problemas podem ser encontrados muito antes dos testes funcionais no dispositivo final. A inspeção de wafers com metrologia de raios X é frequentemente usada para medir as seguintes propriedades:

• Mapeamento de wafers quanto a espessura e composição do filme 
• Mapeamento de wafers quanto a qualidade do cristal usando curvas de oscilação
• Medições de compensação de alta precisão

Controlar essas propriedades é fundamental para fabricar dispositivos funcionais dentro de suas especificações de design. A detecção precoce aumenta o rendimento e economiza tempo e recursos na perspectiva de longo prazo.

Ao longo dos anos, a Malvern Panalytical continuou a fornecer aos seus clientes soluções de alto rendimento e as melhores da categoria para dar suporte aos requisitos de processo em constante mudança e cada vez mais rigorosos na indústria de semicondutores.

A Malvern Panalytical está intimamente associada ao setor de eletrônicos com uma ampla gama de soluções em toda a cadeia de valor:

• A XRF (2830 ZT) fornece informações de espessura e composição de uma ampla gama de filmes finos, com níveis de contaminação e dopantes e uniformidade da superfície em wafers de até 300 mm de tamanho
• A XRD (X'Pert3 MRD e X'Pert3 MRD XL) fornece informações absolutas, sem calibração e precisas sobre o crescimento do cristal, incluindo composição do material, espessura do filme, perfil de classificação e qualidade de fase e de cristal
• Orientação de cristal (Crystal Orientation Range) rápida e precisa para aplicações de boule, lingote, disco e wafer