Metrología de semiconductores
“Precisión” y “calidad” son palabras clave en la industria de los semiconductores, un campo que se utiliza en todos los entornos del mundo actual. La metrología de semiconductores se refiere a los pasos y las prácticas que se están aplicando en el área para la medición y caracterización de las propiedades físicas y eléctricas de los dispositivos y materiales semiconductores. La precisión de las dimensiones y la metrología determinadas por los resultados de las mediciones han sido hasta ahora los factores clave de los procesos de producción con bajas tolerancias y altos rendimientos.
Malvern Panalytical ofrece una gama de soluciones, herramientas y tecnologías avanzadas de metrología de rayos X desarrolladas con el objetivo de respaldar diversas etapas de fabricación de semiconductores con mediciones no destructivas, desde la caracterización de materiales hasta la inspección de obleas.
Como se estableció anteriormente, la metrología desempeña un papel fundamental en la industria de los semiconductores, ya que proporciona caracterización, mediciones y análisis esenciales de los materiales.
A medida que esta industria sigue evolucionando a pasos agigantados, ofrecer propiedades estructurales y químicas resulta cada vez más fundamental en varias áreas clave:
La inspección de obleas es el proceso mediante el cual se comprueba estructural y químicamente la presencia de defectos, irregularidades e inhomogeneidades en las obleas semiconductoras. De esta manera, se pueden detectar problemas mucho antes de las pruebas funcionales en el dispositivo final. La inspección de obleas con metrología de rayos X a menudo se utiliza para medir las siguientes propiedades:
El control de estas propiedades es esencial para fabricar dispositivos funcionales dentro de las especificaciones de diseño. La detección precoz mejora el rendimiento y ahorra tiempo y recursos a largo plazo.
Con el paso de los años, Malvern Panalytical ha seguido proporcionando a sus clientes un alto rendimiento y las mejores soluciones de su clase para satisfacer los requisitos de los procesos de la industria de semiconductores, siempre cambiantes y cada vez más estrictos.
Malvern Panalytical se asocia estrechamente con la industria de los componentes electrónicos con una amplia gama de soluciones en toda la cadena de valor:
