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X'Pert³ MRD

Versátil sistema XRD de investigación y desarrollo

  • Potente sistema de dispersión de rayos X
  • Rendimiento y confiabilidad mejorados
  • Mapeo completo de obleas de hasta 100 mm

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Descripción general

La larga y exitosa historia de los difractómetros de investigación de materiales (MRD) de Malvern Panalytical continúa ahora con una nueva generación: X’Pert³ MRD y X’Pert³ MRD XL. El rendimiento y la confiabilidad mejorados de la nueva plataforma han agregado más capacidad analítica y potencia para estudios de dispersión de rayos X en: 

  • ciencia avanzada de materiales
  • tecnología de película fina científica e industrial
  • caracterización metrológica en el desarrollo de procesos de semiconductores

Ambos sistemas ofrecen la misma amplia gama de aplicaciones con mapas de oblea completa de hasta 100 mm (X’Pert³ MRD) o 200 mm (X’Pert³ MRD XL).

Flexibilidad del sistema adaptable a los cambios futuros

Los sistemas MRD X'Pert³ ofrecen soluciones avanzadas e innovadoras de difracción de rayos X en la investigación, el desarrollo, el control de procesos y más. 

Las tecnologías utilizadas hacen que todos los sistemas se puedan actualizar en terreno a todas las opciones existentes y a los nuevos desarrollos en hardware y software futuros.

Características

  • Diseñado para la investigación y el desarrollo

  • Para uso con muestras de películas delgadas, obleas y materiales sólidos

  • Mapeo completo de obleas de hasta 100 mm

  • Posicionamiento de muestras versátil y flexible

  • Brazo extendido opcional para componentes ópticos

  • Precisión excepcional con el nuevo goniómetro de alta resolución que utiliza codificadores Heidenhain

Aplicaciones clave

Los X’Pert³ MRD y MRD XL de Malvern Panalytical son sistemas de soluciones de rayos X integrales que se pueden utilizar en muchas aplicaciones de industriales, incluidas las siguientes:

Semiconductores y obleas de cristales individuales

Ya sea para estudios de crecimiento o diseño de dispositivos, la medición de la calidad, el espesor, la tensión y la composición de la aleación de la capa, el uso de XRD de alta resolución ha estado en el centro de la investigación y el desarrollo de los dispositivos electrónicos y optoelectrónicos de semiconductores de capas múltiples. Gracias a su variedad de espejos de rayos X, monocromadores y detectores, el X’Pert3 MRD y el MRD XL ofrecen configuraciones de alta resolución para adaptarse a los diferentes sistemas de materiales, desde semiconductores correspondientes a la red, pasando por capas de amortiguadores relajados, hasta capas exóticas nuevas en sustratos no estándares

Sólidos policristalinos y películas finas

Las capas y los revestimientos policristalinos son un componente importante de muchos dispositivos de películas finas y capas múltiples. La evolución de la morfología de las capas policristalinas durante la deposición es un área de estudio clave en la investigación y el desarrollo de los materiales funcionales. El X’Pert3 MRD y el X’Pert3 MRD XL se pueden equipar plenamente con una variedad de hendiduras, espejos de rayos X de haz paralelo, lentes policapilares y hendiduras cruzadas y monocapilares con el fin de ofrecer toda la gama de óptica de haces incidentes para reflectometría, estrés, textura e identificación de fase.

Películas ultrafinas, nanomateriales y capas amorfas

Los dispositivos funcionales pueden contener películas finas desordenadas, amorfas o nanocompuestas. La flexibilidad de los sistemas X’Pert3 MRD y MRD XL permite incorporar múltiples métodos analíticos. Se dispone de una gama de óptica de alta resolución, hendiduras y colimadores de láminas paralelas, con el fin de proporcionar un rendimiento óptimo para métodos de incidencia rasante, difracción en plano y reflectometría.

Medición en condiciones no ambientales

El estudio del comportamiento de los materiales en una variedad de condiciones es una parte esencial de la investigación de materiales y el desarrollo de procesos. El X’Pert3 MRD y el MRD XL están diseñados para incorporar fácilmente la plataforma de muestras no ambientales DHS1100 de Anton Paar, lo que permite mediciones automatizadas en una gama de temperaturas y atmósfera inerte

Instrument gives excellent accuracy and is of good quality.Good intensity and rapid performance. It is easy to operate.

Yifan Zheng — Zhejiang University of Technology

Especificación

Dimensiones 1972 x 1370 x 1131 mm
Peso
1150 kg (solo instrumento)
Safety
Menos de 1 µSv.h a 10 cm de distancia de la superficie exterior del recinto
Certificación
Directiva de máquinas 2006/42/CE
Directiva EMC 2004/108/CE
Declaración de conformidad con cada instrumento
Compressed air supply
Línea doméstica, compresor o botella de aire; 2-5 bares (0,2 - 0,5 MPa)
Anode material
Cu, Co, Cr, otros bajo pedido
Foco 0.4 mm x 12 mm (LFF)
Tube housing
Aislamiento cerámico
libre de plomo
Diseño patentado con tecnología CRISP
Aire ionizado inducido por rayos X
X-ray generator 3 kW
Detector
Proporcional, lleno de Xe

Accesorios

Detectores

PIXcel3D

El primer detector en llevar datos 0D, 1D, 2D y 3D a su difractómetro

El PIXcel3D es un exclusivo detector de píxeles híbridos en estado sólido en 2D. Cada píxel es de 55 micrones x 55 micrones y la matriz del detector es de 256 x 256 píxeles. El detector, ahora basado en la tecnología Medipix3, aporta una señal al ruido sin igual, con su función de dispersión de punto de un píxel y varios niveles de discriminación energética.

Smart Manager

Libere el potencial de sus datos

Hasta ahora, los datos de instrumentos con demasiada frecuencia quedan atrapados en registros manuales, hojas de cálculo o servidores para sitios específicos. Si conecta su X'Pert3 a nuestro Smart Manager y analiza continuamente los datos del instrumento en la nube, podrá liberar todo su potencial. 

Esta es solo una de nuestras soluciones digitales que forman parte de Smart Manager de Malvern Panalytical.

Manuales de usuario

Descargas de software

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Soporte

Servicios

Soluciones para maximizar la rentabilidad de su inversión

Para garantizar que su instrumento se mantenga en condiciones óptimas y funcione al más alto nivel, Malvern Panalytical ofrece una amplia gama de servicios. Nuestra experiencia y nuestros servicios de asistencia garantizan el óptimo funcionamiento de su instrumento.

Soporte

Servicio durante toda la vida útil

  • Asistencia telefónica y remota
  • Mantenimiento preventivo y revisiones
  • Acuerdos flexibles de atención al cliente
  • Certificados de rendimiento
  • Actualizaciones de hardware y software
  • Asistencia local y global

Experiencia

Agregamos valor a sus procesos 

  • Desarrollo y optimización de preparación de muestras
  • Metodologías analíticas 
  • Soluciones listas para usar para XRD 
  • Operaciones a través de IQ/OQ/PQ, aseguramiento de la calidad (GLP, ISO17025) o estudios interlaboratorios o cooperativos
  • Servicios de asesoría

Capacitación y educación

  • Capacitación in situ o en nuestros centros de competencia
  • Amplia gama de cursos básicos y avanzados sobre productos, aplicaciones y software
El futuro del análisis de películas delgadas.

El futuro del análisis de películas delgadas.

Sistema XRD versátil para investigación y desarrollo. Una nueva generación de herramientas para su análisis de obleas.

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