Características

Flexibilidad del sistema adaptable a los cambios futuros

Los sistemas MRD X'Pert³ ofrecen soluciones avanzadas e innovadoras de difracción de rayos X en la investigación, el desarrollo, el control de procesos y más. Las tecnologías utilizadas hacen que todos los sistemas se puedan actualizar en terreno a todas las opciones existentes y a los nuevos desarrollos en hardware y software futuros.

X’Pert³ MRD

La versión estándar de investigación y desarrollo para uso con muestras de película fina, obleas (mapas completos de hasta 100 mm) y materiales sólidos. La capacidad de análisis de alta resolución se mejora mediante la extraordinaria exactitud de un nuevo goniómetro de alta resolución que utiliza codificadores Heidenhain. 

X'Pert³ MRD XL

El X'Pert³ MRD XL cumple con todos los requisitos de análisis XRD de alta resolución de las industrias de los semiconductores, las películas finas y los materiales avanzados. Es posible obtener mapas de oblea completa de hasta 200 mm. La versión X’Pert3 viene con los componentes de haz incidente (CRISP) de más larga duración y el máximo tiempo de actividad con obturadores neumáticos y atenuadores de haz. 

El X'Pert³ MRD XL facilita el análisis de las obleas de hasta 300 mm de diámetro y cuenta con una sofisticada opción de cargador automático de oblea, lo que lo convierte en una avanzada herramienta para el control de calidad de estructuras industriales de capa fina.

X'Pert³ Extended MRD (XL)

El X'Pert³ Extended MRD (XL) aporta mayor versatilidad a la gama de los sistemas MRD X'Pert³. Una plataforma de montaje PreFIX adicional permite montar un espejo de rayos X y un monocromador de alta resolución en línea, lo que aumenta considerablemente la intensidad del haz incidente. 

Es posible aprovechar la mayor versatilidad de la aplicación sin sacrificar la calidad de los datos; la difracción de rayos X de alta resolución con altas intensidades; tiempos de medición más cortos para mediciones como mapas de espacio recíproco; y reconstruir desde la configuración estándar hasta la ampliada en cuestión de minutos gracias al concepto de PreFIX. Gracias a PreFIX de 2.ª generación, la reconfiguración es fácil, y el posicionamiento de la óptica es más exacto que nunca.

X'Pert³ MRD (XL) difracción en plano

Con el sistema X'Pert³ MRD (XL) para difracción en plano, es posible medir la difracción desde planos de red perpendiculares a la superficie de la muestra. 

Algunos de sus muchos beneficios son que dispone de geometrías estándares y en plano en un solo sistema y ofrece una amplia gama de experimentos de difracción en películas finas policristalinas y altamente perfectas. 

Especificación

CompartimientoCabezal de

Fuente de rayos X

Detectores/Estaciones

Dimensiones: 1370 (A) x 1131 (P) x 1947 mm (Alt)Goniómetro horizontalTubos de rayos X completamente de cerámica, elaborados por la fábrica especializada de Malvern Panalytical bajo estrictas condiciones higiénicas
Peso: 1150 kgRadio: 320 mmCambio de enfoque lineal a puntual libre de herramientas

Rango máximo utilizable (según accesorios) -40° <2θ <160°Generador de 3 kW que alimenta todos los tubos, actuales y futuros, de rayos X
Cumple con todas las normativas internacionales aplicables a la seguridad eléctrica, mecánica y de rayos X, con todo tipo de ánodos.Sistema de codificación óptica directa para exactitud de goniómetro de por vida, con codificadores Heidenhain alineados con precisiónDetectores de píxeles híbridos con el tamaño de píxel más pequeño (55 x 55 µm2) del mercado
El sistema incorpora ruedas para facilitar la instalación y reubicaciónExactitud de largo alcance: ±0,0025°Cuna de 5 ejes con desplazamiento x, y de 100 x 100 mm2

Exactitud de rango corto (0,5°): ±0,0004° 
Rotación Chi: ±92°

Reproducibilidad angular: <0,0002°
Rotación Phi: 2 x 360°

Incremento más pequeño: 0,0001°

Accesorios

X'Pert³ MRD

Detectores

PIXcel3D

Image

The first detector to bring 0D-1D-2D and 3D data to your diffractometer

The PIXcel3D is a unique 2D solid-state hybrid pixel detector. Each pixel is 55 microns x 55 microns and the detector array is 256 x 256 pixels. The detector, now based on Medipix3 technology, brings unrivalled signal to noise with its point spread function of one pixel and multiple energy discrimination levels.

Más información Solicitar cotización

Servicios

Soluciones para maximizar la rentabilidad
de su inversión

Para garantizar que su instrumento se mantenga en condiciones óptimas y funcione al 
más alto nivel, Malvern Panalytical ofrece una amplia gama de servicios. Nuestra experiencia
y nuestros servicios de asistencia garantizan el óptimo funcionamiento de su instrumento.

Asistencia

Servicio de por vida
• Asistencia telefónica y remota
• Mantenimiento y revisiones preventivos
• Contratos de atención al cliente flexibles
• Certificados de rendimiento
• Actualizaciones de hardware y software
• Asistencia local y global

Experiencia

Agregue valor a sus procesos
• Desarrollo y optimización de preparación de muestras
• Metodologías analíticas
• Soluciones llave en mano para XRD
• Operaciones a través de IQ/OQ/PQ, control de calidad (GLP, ISO17025) o estudios interlaboratorios o cooperativos
• Automatización de los procesos del laboratorio
• Servicios de asesoría

Capacitación y educación

• Capacitación in situ o en nuestros centros de competencia
• Amplia gama de cursos básicos y avanzados sobre productos, aplicaciones y software

Aplicaciones clave

Los X’Pert³ MRD y MRD XL de Malvern Panalytical son sistemas de soluciones de rayos X integrales que se pueden utilizar en muchas aplicaciones de industriales, incluidas las siguientes:


Semiconductores y obleas de cristales individuales

Ya sea para estudios de crecimiento o diseño de dispositivos, la medición de la calidad, el espesor, la tensión y la composición de la aleación de la capa, el uso de XRD de alta resolución ha estado en el centro de la investigación y el desarrollo de los dispositivos electrónicos y optoelectrónicos de semiconductores de capas múltiples.  Gracias a su variedad de espejos de rayos X, monocromadores y detectores, el X’Pert3 MRD y el MRD XL ofrecen configuraciones de alta resolución para adaptarse a los diferentes sistemas de materiales, desde semiconductores correspondientes a la red, pasando por capas de amortiguadores relajados, hasta capas exóticas nuevas en sustratos no estándares


Sólidos policristalinos y películas finas

Las capas y los revestimientos policristalinos son un componente importante de muchos dispositivos de películas finas y capas múltiples. La evolución de la morfología de las capas policristalinas durante la deposición es un área de estudio clave en la investigación y el desarrollo de los materiales funcionales.  El X’Pert3 MRD y el X’Pert3 MRD XL se pueden equipar plenamente con una variedad de hendiduras, espejos de rayos X de haz paralelo, lentes policapilares y hendiduras cruzadas y monocapilares con el fin de ofrecer toda la gama de óptica de haces incidentes para reflectometría, estrés, textura e identificación de fase.


Películas ultrafinas, nanomateriales y capas amorfas

Los dispositivos funcionales pueden contener películas finas desordenadas, amorfas o nanocompuestas. La flexibilidad de los sistemas X’Pert3 MRD y MRD XL permite incorporar múltiples métodos analíticos. Se dispone de una gama de óptica de alta resolución, hendiduras y colimadores de láminas paralelas, con el fin de proporcionar un rendimiento óptimo para métodos de incidencia rasante, difracción en plano y reflectometría.


Medición en condiciones no ambientales

El estudio del comportamiento de los materiales en una variedad de condiciones es una parte esencial de la investigación de materiales y el desarrollo de procesos.  El X’Pert3 MRD y el MRD XL están diseñados para incorporar fácilmente la plataforma de muestras no ambientales DHS1100 de Anton Paar, lo que permite mediciones automatizadas en una gama de temperaturas y atmósfera inerte