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X'Pert³ MRD XL

Versátil sistema XRD de investigación, desarrollo y control de calidad

  • Mapeo completo de obleas de hasta 200 mm
  • Plataforma versátil de dispersión de rayos X
  • Rendimiento y confiabilidad mejorados

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Descripción general

La larga y exitosa historia de los difractómetros de investigación de materiales (MRD) de Malvern Panalytical continúa ahora con la generación de X’Pert³ MRD XL. 

El rendimiento y la confiabilidad mejorados de la nueva plataforma han sumado más capacidad analítica y potencia para estudios de dispersión de rayos X en las siguientes aplicaciones: 

  • ciencia avanzada de materiales 
  • tecnología de película fina científica e industrial 
  • caracterización metrológica en el desarrollo de procesos de semiconductores

El X’Pert³ MRD XL ofrece una amplia gama de aplicaciones con mapas de oblea completa de hasta 200 mm.

Flexibilidad del sistema adaptable a los cambios futuros

Los sistemas MRD X'Pert³ ofrecen soluciones avanzadas e innovadoras de difracción de rayos X en la investigación, el desarrollo, el control de procesos y más. 

Las tecnologías utilizadas hacen que todos los sistemas se puedan actualizar en terreno a todas las opciones existentes y a los nuevos desarrollos en hardware y software futuros.

Extended MRD (XL)

El X'Pert³ Extended MRD (XL) aporta mayor versatilidad a la gama de los sistemas MRD X'Pert³. Una plataforma de montaje PreFIX adicional permite montar un espejo de rayos X y un monocromador de alta resolución en línea, lo que aumenta considerablemente la intensidad del haz incidente.

Entre sus beneficios están los siguientes: mayor versatilidad de aplicación sin perjudicar la calidad de los datos, difracción de rayos X de alta resolución con altas intensidades, tiempos de medición más cortos para mediciones como mapas de espacio recíproco y reconstrucción desde la configuración estándar hasta la ampliada en cuestión de minutos gracias al concepto de PreFIX. Gracias a PreFIX de 2.ª generación, la reconfiguración es fácil, y el posicionamiento de la óptica es más exacto que nunca.

MRD (XL) difracción en plano

Con el sistema X'Pert³ MRD (XL) para difracción en plano, es posible medir la difracción desde planos de red perpendiculares a la superficie de la muestra.

Algunos de sus muchos beneficios son que dispone de geometrías estándares y en plano en un solo sistema y ofrece una amplia gama de experimentos de difracción en películas finas policristalinas y altamente perfectas. 

Aplicaciones clave

Los X’Pert³ MRD y MRD XL de Malvern Panalytical son sistemas de soluciones de rayos X integrales que se pueden utilizar en muchas aplicaciones de industriales, incluidas las siguientes:

Semiconductores y obleas de cristales individuales

Ya sea para estudios de crecimiento o diseño de dispositivos, la medición de la calidad, el espesor, la tensión y la composición de la aleación de la capa, el uso de XRD de alta resolución ha estado en el centro de la investigación y el desarrollo de los dispositivos electrónicos y optoelectrónicos de semiconductores de capas múltiples. Gracias a su variedad de espejos de rayos X, monocromadores y detectores, el X’Pert3 MRD y el MRD XL ofrecen configuraciones de alta resolución para adaptarse a los diferentes sistemas de materiales, desde semiconductores correspondientes a la red, pasando por capas de amortiguadores relajados, hasta capas exóticas nuevas en sustratos no estándares

Sólidos policristalinos y películas finas

Las capas y los revestimientos policristalinos son un componente importante de muchos dispositivos de películas finas y capas múltiples. La evolución de la morfología de las capas policristalinas durante la deposición es un área de estudio clave en la investigación y el desarrollo de los materiales funcionales. El X’Pert3 MRD y el X’Pert3 MRD XL se pueden equipar plenamente con una variedad de hendiduras, espejos de rayos X de haz paralelo, lentes policapilares y hendiduras cruzadas y monocapilares con el fin de ofrecer toda la gama de óptica de haces incidentes para reflectometría, estrés, textura e identificación de fase.

Películas ultrafinas, nanomateriales y capas amorfas

Los dispositivos funcionales pueden contener películas finas desordenadas, amorfas o nanocompuestas. La flexibilidad de los sistemas X’Pert3 MRD y MRD XL permite incorporar múltiples métodos analíticos. Se dispone de una gama de óptica de alta resolución, hendiduras y colimadores de láminas paralelas, con el fin de proporcionar un rendimiento óptimo para métodos de incidencia rasante, difracción en plano y reflectometría.

Medición en condiciones no ambientales

El estudio del comportamiento de los materiales en una variedad de condiciones es una parte esencial de la investigación de materiales y el desarrollo de procesos. El X’Pert3 MRD y el MRD XL están diseñados para incorporar fácilmente la plataforma de muestras no ambientales DHS1100 de Anton Paar, lo que permite mediciones automatizadas en una gama de temperaturas y atmósfera inerte

Instrument gives excellent accuracy and is of good quality.Good intensity and rapid performance. It is easy to operate.

Yifan Zheng — Zhejiang University of Technology

Especificación

Dimensiones
1370 (w) x 1131 (d) x 1972 (h) mm
The system is on wheels for easy installation and relocation
Peso
1150 kg

Accesorios

Detectores

PIXcel3D

El primer detector en llevar datos 0D, 1D, 2D y 3D a su difractómetro

El PIXcel3D es un exclusivo detector de píxeles híbridos en estado sólido en 2D. Cada píxel es de 55 micrones x 55 micrones y la matriz del detector es de 256 x 256 píxeles. El detector, ahora basado en la tecnología Medipix3, aporta una señal al ruido sin igual, con su función de dispersión de punto de un píxel y varios niveles de discriminación energética.

General

X’Pert³ MRD XL Automation

Una solución totalmente automatizada para metrología por pilas de capas complejas

Como solución de software adicional para nuestra herramienta X’Pert3 MRD XL, la automatización se puede integrar en su instrumento existente y proporcionar un control de huésped compatible con SECS/GEM.

Con estas nuevas capacidades, el sistema MRD XL ahora puede demostrar su modularidad y flexibilidad en un entorno de fábrica controlado por el huésped. Esto permite garantizar un entorno de investigación o producción libre de contaminación. 

X’Pert³ MRD XL Paquete para salas limpias

Más entornos de medición, mínima inversión adicional

El paquete X’Pert3 MRD XL para salas limpias incluye soluciones inteligentes, incluida una unidad de filtro de ventilador, para el MRD XL que se puede adaptar a su instrumento existente o se puede suministrar con uno nuevo.

Al filtrar el aire alrededor de la muestra de obleas de semiconductores, el paquete MRD XL Cleanroom le ayuda a evitar la contaminación al analizarlas. A su vez, esto le permite medir en una gama más amplia de entornos sin tener que invertir en un nuevo instrumento.

Smart Manager

Libere el potencial de sus datos

Hasta ahora, los datos de instrumentos con demasiada frecuencia quedan atrapados en registros manuales, hojas de cálculo o servidores para sitios específicos. Si conecta su X'Pert3 a nuestro Smart Manager y analiza continuamente los datos del instrumento en la nube, podrá liberar todo su potencial. 

Esta es solo una de nuestras soluciones digitales que forman parte de Smart Manager de Malvern Panalytical.

Manuales de usuario

Descargas de software

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Soporte

Servicios

Soluciones para maximizar la rentabilidad de su inversión

Para garantizar que su instrumento se mantenga en condiciones óptimas y funcione al más alto nivel, Malvern Panalytical ofrece una amplia gama de servicios. Nuestra experiencia y nuestros servicios de asistencia garantizan el óptimo funcionamiento de su instrumento.

Soporte

Servicio durante toda la vida útil

  • Asistencia telefónica y remota
  • Mantenimiento preventivo y revisiones
  • Acuerdos flexibles de atención al cliente
  • Certificados de rendimiento
  • Actualizaciones de hardware y software
  • Asistencia local y global

Experiencia

Agregamos valor a sus procesos 

  • Desarrollo y optimización de preparación de muestras
  • Metodologías analíticas 
  • Soluciones listas para usar para XRD 
  • Operaciones a través de IQ/OQ/PQ, aseguramiento de la calidad (GLP, ISO17025) o estudios interlaboratorios o cooperativos
  • Servicios de asesoría

Capacitación y educación

  • Capacitación in situ o en nuestros centros de competencia
  • Amplia gama de cursos básicos y avanzados sobre productos, aplicaciones y software
El futuro del análisis de películas delgadas.

El futuro del análisis de películas delgadas.

Investigación y desarrollo versátiles de XRD. Altas intensidades para tiempos de medición más cortos. Una nueva generación de herramientas para su análisis de obleas.

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