X’Pert³ MRD XL Automation

Una solución totalmente automatizada para metrología por pilas de capas complejas

Como solución de software adicional para nuestra herramienta X’Pert3 MRD XL, la automatización se puede integrar en su instrumento existente y proporcionar un control de huésped compatible con SECS/GEM.

Con estas nuevas capacidades, el sistema MRD XL ahora puede demostrar su modularidad y flexibilidad en un entorno de fábrica controlado por el huésped. Esto permite garantizar un entorno de investigación o producción libre de contaminación. 

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Información general

MRD XL Automation aporta la funcionalidad de SECS/GEM a nuestro instrumento de análisis de obleas más avanzado, lo que permite realizar un procesamiento de semiconductores más rápido, limpio y eficiente que nunca. Con la comunicación bilateral habitual entre el equipo y la computadora host con los protocolos SECS/GEM ampliamente utilizados, este software permite automatizar todo el proceso de análisis de obleas, desde la selección hasta la medición de la oblea, incluso hasta la distribución de los resultados.

Además de un análisis más rápido y eficiente, un proceso totalmente automatizado también significa que no hay necesidad de intervención humana práctica. Ya que los seres humanos son el principal contaminador en el análisis de obleas, esta capacidad es una gran ventaja para garantizar un entorno de investigación o producción más limpio.

Características y beneficios

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Capacidades automotrices avanzadas

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Opciones totalmente personalizables

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Funcionalidad adaptable a los cambios futuros

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Enfoque modular

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Larga vida útil

  • Capacidades automotrices avanzadas
    El software MRD XL Automation permite que el proceso de análisis de obleas sea completamente automatizado, lo que elimina la necesidad de la participación humana

  • Opciones totalmente personalizables
    El software MRD XL Automation tiene un marco totalmente personalizable, lo que significa que la configuración se puede adaptar para satisfacer sus necesidades individuales

  • Funcionalidad adaptable a los cambios futuros
    Ya que la automatización se encuentra en la vanguardia de la innovación de los semiconductores, MRD XL Automation permite que sus operaciones se mantengan al ritmo del rápido desarrollo industrial

  • Enfoque modular
    X’Pert3 MRD XL es un sistema modular. Con múltiples herramientas y funciones disponibles, se puede configurar fácilmente para satisfacer las necesidades de su empresa. Este enfoque todo en uno significa que no necesita invertir tanto en nuevos instrumentos

  • Larga vida útil
    Gracias al servicio y soporte de alta calidad para el instrumento MRD XL, esta herramienta se desarrollará junto con sus operaciones

Servicios

Para garantizar que sus instrumentos se mantengan siempre en condiciones óptimas y funcionen al más alto nivel, ofrecemos una amplia gama de servicios. Desde nuestros ingenieros de servicio hasta nuestra red global de soporte al cliente, siempre estamos disponibles para ofrecer ayuda, asesoramiento y soporte técnico. Así que, ¡no dude en comunicarse con nosotros!

  • Sustitución y alineación de piezas en terreno
  • Red global de atención al cliente