AMASS

La boîte à outils d'analyse pour les données de diffusion des rayons X provenant de structures en couches

Le logiciel Advanced Material Analysis and Simulation Software (AMASS) fournit une fonctionnalité complète pour l'affichage, l'analyse, la simulation et l'ajustement de la diffusion des rayons X à partir de structures en couches. Il prend en charge les rocking curves, les acquisitions sur 2 axes, les cartographies de réseau réciproques des couches hétéroépitaxiales minces, en particulier les échantillons monocristiques et à couche mince hautement texturés, ainsi que les données de réflectométrie à rayons X et les données de diffusion hors spéculaire (diffuse) des structures multicouches arbitraires. Le logiciel offre une mine d'informations clés, telles que l'inadéquation et la relaxation, la composition et l'épaisseur de couche, la densité et la rugosité, et plus encore. Ces paramètres essentiels de couche mince sont facilement et rapidement quantifiés également par les utilisateurs de routine. 

La fonctionnalité est proposée dans AMASS Basic, qui peut être étendue par l'option de simulation et d'ajustement HR (haute résolution) et XRR(réflectivité des rayons X).

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Fonctionnalités

Principales caractéristiques d'AMASS


AMASS Basic comprend toutes les fonctions à l'exception de la simulation et de l'ajustement automatique.

  • Nouvelle interface utilisateur graphique intuitive.
  • Format de document orienté projet pour le stockage, la récupération et la gestion de toutes les informations d'une session de travail, y compris les acquisitions ouvertes, les données simulées, tous les paramètres définis et les paramètres de matériau utilisé.
  • Graphiques pour les acquisitions uniques, les cartes de surface et les cartes « wafer ».
  • Possibilité de fusionner des ensembles de données à 1 axe et 2 axes.
  • Projection et extraction à partir d'acquisitions à 2 axes pour générer des acquisitions à 1 axe pour une analyse plus approfondie.
  • Recherche automatique de pics dans les données à 1 axe (telles que les rocking curves) et 2 axes (telles que les cartographies de réseau réciproques).
  • Marquage automatique des pics du substrat, de plusieurs couches et franges.
  • Extractions automatiques de lignes horizontales et verticales au niveau des positions du pic marquées des données à 2 axes.
  • Les matériaux de n'importe quel groupe d'espace sont pris en charge.
  • Les exemples de structures incluent les gradients, les réseaux superposés et les paramètres liés.
  • Le logiciel extrait la déformation et la relaxation, la discordance et la composition, l'orientation et la courbure de la mauvaise coupe du substrat, la propagation de la mosaïque de couches et la longueur de corrélation latérale, l'épaisseur et la période de superposition des positions de pic marquées.
  • Détermination de l'épaisseur à partir des données de réflectivité spéculaire au moyen d'une méthode Fourier et directe.
  • Une carte wafer peut être créée par l'analyse de n'importe quel ensemble de types d'acquisitions. Cela inclut l'analyse directe des paramètres de pic et des positions de pic ainsi que l'ajustement automatique (si l'option est disponible).
  • AMASS prend en charge les données au format XRDML, au format ASCII simple (*.asc) ainsi que les anciens formats Philips (*.dnn, *.xnn, *.ann et *ynn).
  • Création de rapports de résultats personnalisables. Rapports PDF, RTF, XML et HTML pris en charge.
  • Toutes les analyses peuvent être entièrement automatisées à l'aide d'une interface de ligne de commande. Lorsqu'il est contrôlé par APP (programme de traitement automatique), le processus peut être entièrement automatisé, de la mesure au rapport des résultats.
  • Interface COM (Component Object Model) pour l'utilisation des fonctions AMASS à partir d'applications telles que PhytonTM ou Matlab®.
  • Choix de deux algorithmes d'ajustement : permet aux utilisateurs d'adapter le logiciel aux exigences d'ajustement uniques. (uniquement pour les options)
  • Analyse de confiance pour chaque paramètre d'un modèle d'échantillon donné. Le résultat de cette analyse est une mesure de la plage de fiabilité du paramètre affiné. (uniquement pour les options).
  • Option HR :
    • Ajuste les rocking curves simulées aux données mesurées
    • Les couches peuvent être partiellement détendues par rapport à la couche en-dessous.
    • Les orientations de surface non polaires des plans a et m des structures wurtzites sont entièrement supportées.
  • Option XRR :
    • Ajuste les courbes de réflectivité simulées aux données mesurées.
    • Les matériaux du modèle peuvent inclure ceux avec un paramètre de réseau ou des gradients de densité avec cinq choix pour le type de gradient.
    • Trois choix sont disponibles pour le modèle de rugosité d'interface pour l'analyse hors spéculaire : fractale, escalier et crénelage.
    • Les données de diffusion hors spéculaire (diffuse) (acquisitions oméga, 2theta et décalage oméga/2theta) peuvent être affichées et simulées. Le logiciel simule des cartographies de réseau réciproques Qx, Qz coplanaires ainsi que des cartographies de réseau réciproques Qx, QY non coplanaires.

Base de données de matériaux 

La vaste base de données de matériaux contient toutes les données nécessaires sur les matériaux pour l'analyse de rocking curve, la cartographie wafer, la simulation et l'ajustement : paramètres de maille élémentaire, coefficients de Poisson et coefficients de rigidité monocristique pour certains oxydes sélectionnés et tous les matériaux semi-conducteurs composés cubiques communs, ainsi que GaN, AlN et InN en phase hexagonale. En outre, elle contient les masses et les nombres atomiques élémentaires, ainsi que leurs coefficients d'absorption de masse et de dispersion anormale pour différentes longueurs d'onde de rayons X fixes. La base de données est extensible par l'ajout de nouvelles structures de tout groupe spatial, de matériaux et de valeurs pour d'autres longueurs d'onde. Les informations sur la structure des cristaux et les matériaux peuvent être importées à partir de fichiers d'informations cristallographiques (CIF).

Documentation utilisateur

Le guide d'application vous permet d'utiliser rapidement AMASS de manière efficace. Chacune des 12 rubriques fournit des exemples concrets. Ces exemples ont été choisis pour démontrer la fonctionnalité la plus importante de d'AMASS. 

Téléchargez le guide d'application

Téléchargez la dernière version du logiciel AMASS ici :

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Spécifications

Configuration système recommandée :

Conçu pour les systèmes d'exploitation Windows 10 (64 bits) et Windows 11 (64 bits) option Current Branch for Business.

Une configuration PC correspondant à la configuration matérielle minimale requise pour le système d'exploitation Windows souhaité sera suffisante.

Version actuelle 2,0