Présentation
Le Wafer XRD 200 est la plate-forme de diffraction des rayons X haute vitesse entièrement automatisée pour la production et la recherche de wafers inégalée.
Le Wafer XRD 200 fournit des données clés sur une variété de paramètres essentiels tels que l'orientation et la résistivité des cristaux, les caractéristiques géométriques comme les encoches et les méplats, les mesures de distance, et bien plus encore, en quelques secondes seulement. Conçu pour s'intégrer parfaitement à votre ligne de production.
Fonctionnalités et avantages
Précision ultra-rapide grâce à la technologie d'acquisition propriétaire
La méthode ne nécessite qu'une seule rotation des wafers pour recueillir toutes les données nécessaires à la détermination complète de l'orientation, ce qui offre une grande précision en un temps de mesure très faible, de l'ordre de quelques secondes.
Manipulation et tri entièrement automatisés
Le Wafer XRD 200 est conçu pour optimiser votre rendement et votre productivité. L'automatisation complète de la manipulation et du tri et les outils de transmission de données détaillés en font un élément puissant et efficace de votre processus de CQ.
Connectivité simple
La puissante automatisation du Wafer XRD 200 est compatible avec les interfaces MES et SECS/GEM. Il s'intègre facilement à votre processus nouveau ou existant.
Haute précision, données plus poussées
Comprenez vos matériaux comme jamais auparavant avec les mesures clés du Wafer XRD 200. Mesures du Wafer XRD 200 :
- Orientation des cristaux
- Position, profondeur et angle d'ouverture de l'encoche
- Diamètre
- Position et longueur du méplat
- Résistivité
L'écart-type d'inclinaison (exemple : Si 100) pour l'acquisition azimutale est < 0,003o, minimum < 0,001o.
Puissant et polyvalent
Le Wafer XRD 200 permet une large gamme de mesures très rapidement, ce qui ajoutera une réelle valeur à vos processus, que ce soit pour la recherche ou la production. Mais ce n'est pas la seule façon dont le Wafer XRD 200 est polyvalent et flexible.
Le Wafer XRD 200 facilite et accélère l'analyse de centaines d'échantillons potentiels, notamment :
- Si
- SiC
- AlN
- Al2O3 (saphir)
- GaAs
- Quartz
- LiNbO3
- BBO
Applications clés
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- Production et transformation
- L'automatisation est une nécessité dans cette industrie en plein essor, et le Wafer XRD 200 est à la pointe de la technologie en tant que solution pratique et puissante pour gérer la manipulation, le tri et les mesures approfondies de l'orientation des cristaux, la détermination optique d'encoches et de méplats, les mesures de résistivité et d'autres paramètres importants. Découvrez la productivité accrue par vous-même !
- Contrôle qualité
- Comprendre vos matériaux avec précision et rapidité est la clé d'un excellent contrôle qualité, et le Wafer XRD 200 est la solution idéale. En utilisant la méthode ultra-rapide Omega-Scan, il détermine l'orientation des cristaux en une seule mesure, vous donnant vos résultats en cinq secondes. Avec des fonctionnalités supplémentaires comprenant la mesure de résistivité et la détermination des caractéristiques géométriques, le Wafer XRD 200 offre une efficacité et une polyvalence inégalées pour le contrôle qualité de la production.
- Étude de matériaux
- Tous les environnements occupés ne sont pas des environnements de production. Le Wafer XRD 200 est également équipé pour fournir des analyses à haut débit dans les environnements de R&D. Capable de caractériser des centaines de matériaux différents, du Si, SiC et GaAs au quartz, LiNbO3 et BBO, le Wafer XRD 200 dispose de la polyvalence nécessaire pour soutenir votre recherche et innovation en matière de matériaux et vous aider à façonner l'avenir de la technologie des semi-conducteurs.
Spécifications
| Débit | 10 000+ wafers par mois |
| Géométrie des wafers | Sur demande |
| Précision de l'inclinaison | 0,003 |
| Axe XRD vs encoche / position du méplat | 0,03° |
Assistance
Services d'assistance
- Assistance téléphonique et à distance
- Maintenance préventive et contrôles
- Contrats de service client flexibles
- Certificat de performances
- Mises à niveau matérielles et logicielles
- Assistance locale et mondiale
Expertise
- Solutions clés en main pour la métrologie élémentaire et structurelle des semi-conducteurs
- Automatisation et conseil
- Formation et éducation
