高精度・高速X線結晶方位測定装置 Omega-Theta
あらゆる単結晶に対応 Flagship X-ray Orientation
マルバーン・パナリティカルは新たにX線結晶方位測定装置を取り扱いを始めました。
高精度・高速X線結晶方位測定装置 Omega-Theta
特長
- わずか10秒の高速測定
- 高精度測定<0.003°/<0.03°(1 σ)
- 試料水平型ゴニオメーター搭載
- 結晶方位・Θスキャン・ロッキングカーブ測定
- モノクロメーター等の拡張光学系オプション
- ウェハー方位チェックおよびマッピング
φ285 mmの自動制御ステージ
傾き補正用レーザ搭載
最大12個のインゴットスタッキング機能
φ:50-200 mm 高さ：6-50 mm
小型試料から最大φ590 mm インゴット
真空チャックステージなど
タービンブレード、レーザ結晶などあらゆるバルク単結晶に対応