XRF(蛍光X線)技術の概要

蛍光X線(XRF)は、測定サンプルにX線を照射して発生する固有の蛍光X線(波長:λやエネルギー:KeV)を測定することで構成されている元素を同定(組成分析)し、その構成される元素の含有量を分析(定量分析)可能な分析技術です。

分析可能なサンプル形態は、固体、粉末、液体、スラリー、フィルムなどほぼ全ての形態を前処理なし(非破壊)に測定可能で、測定元素範囲もベリリウム(Be)からアメリシウム(Am)と広範囲で、定量分析(含有量分析)もppmレベルから100%です。

XRF(蛍光X線)の主な用途

蛍光X線(XRF)技術の特長として、サンプルの前処理が不要なこと以外に、人為的な誤差がなく、装置も長期に安定していることから、あらゆる業界(石油、石油化学、鉱業、地質学、セメント、ガラス、食品や医薬品など)のお客様の工程管理や品質管理に使用されています。

また、蛍光X線(XRF)は非常に成熟した分析手法ですので、国際的な試験法(ASTM、ISO、EPA、JIS、ICH-Q3D、UPSなど)に準拠可能です。最近では蛍光X線(XRF)分析装置の測定迅速性から、スクリーニングツールとして、研究開発やRoHS/RoHSⅡ/ELV指令対応のための受け入れや出荷検査などにも応用されています。

XRF(蛍光X線)分析で得られるスペクトル例

EDXRFで測定したニッケル鉱石のスペクトルを示します。分かりやすいピークプロファイルが測定されました。ピークの位置をもとに試料中に構成する元素を同定し、ピークの強度でその濃度を決定します。

jp-technology-xrf-1.jpg
EDXRF Epsilon4(イプシロン4)で測定したニッケル鉱石のスペクトル

XRF(蛍光X線)分析装置の動作原理

XRF装置の基本的な構成要素は励起源、サンプル、および検出器です。励起源は、試料サンプルにX線を照射し、検出器からのX線を測定します。

励起源には一般的にX線管球が使用されます。装置は、エネルギー分散型蛍光X線分析装置(EDXRF)波長分散型蛍光X線分析装置(WDXRF)の2 種類に分けられます。2 つのシステムの違いは、検出方法の違いにあります。

jp-technology-xrf-2.jpg
EDXRF(左)およびWDXRF(右)装置の基本構成


マルバーン・パナリティカルのXRF(蛍光X線)


XRF(蛍光X線)の測定事例【アプリケーションノート】

マルバーン・パナリティカルのXRF(蛍光X線)分析装置による測定事例をご紹介します。リンクをクリックして、資料をダウンロードしてご覧ください。

* Axios mAX(アクシオス・マックス)は販売終了しました。WDXRFをお探しのお客様は、Zetium(ゼティウム)をご覧ください。

XRF(蛍光X線)主要分析装置一覧 

マルバーン・パナリティカルが提供するXRF(蛍光X線)分析装置は以下の通りです。

WDXRF:波長分散型

jp-technology-xrf-zetium.jpg

Zetium(ゼティウム) 2.4KW, 3KW, 4KW

  • オールインワン設計・波長分散型XRF
  • 高感度・高分解能モデル
  • 波長分散機能以外にEDXRFやXRD、マッピング機能選択可能
  • AIを使用した分析条件作成サポート
jp-technology-xrf-zetium.jpg

Zetium(ゼティウム) 1KW

  • 外部冷却水装置不要・波長分散型XRF 
  • 1KW・RhターゲットX線管球付属 
  • 2.4KW,3KWへバージョンアップ可能 
  • AIを使用した分析条件作成サポート 

EDXRF:エネルギー分散型

jp-technology-xrf-epsilon4.jpg

Epsilon4(イプシロン4)

  • 高感度エネルギー分散型XRF 
  • 高感度SDD搭載 
  • C-AmとF-Amの2機種から選択 
  • 真空雰囲気下に向かないサンプルも測定可能 
jp-technology-xrf-epsilon1.jpg

Epsilon1(イプシロン1)

  • コンパトエネルギー分散型XRF 
  • PC内蔵でオールインワン設計 
  • 1サンプルあたり100円未満の分析コスト 
  • 現場に持ち込むなど高いモバイル性 
jp-technology-xrf-epsilon1ss.jpg

Epsilon1(イプシロン1) スモールスポット

  • RoHS/RoHSⅡ/ELV分析用エネルギー分散型XRF 
  • 1mmφの空間分解能で微小分析可能 
  • CCDカメラ搭載、測定サンプル観察可能 
  • ファンダメンタルパラメータ法標準搭載 

サンプルプレパレーション

jp-technology-xrf-leneo.jpg

試料調製各種(Claisse他)

  • ガラスビード作製機 
  • ICP用アルカリ分解溶融装置 
  • プレスマシン(半自動プレス/手動プレス) 
  • 試料粉砕機

Zetium

Epsilonシリーズ

Axios FAST

2830 ZT

Zetium Epsilonシリーズ Axios FAST 2830 ZT

卓越した機能

高速で正確なアットラインおよびオンラインの元素分析

優れたサンプルスループット

先進の半導体薄膜測定ソリューション

詳細 詳細 詳細 詳細
測定タイプ
薄膜測定
Elemental analysis
Contaminant detection and analysis
Elemental quantification
化合的同定
技術
Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)
Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)
元素範囲 Be-U Na-Am Be-U Be-U
LLD 0.1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100%
分解能(Mg-Ka) 35eV 145eV 35eV 35eV
サンプル処理 160per 8h day - 240per 8h day Up to - 160per 8h day 240per 8h day - 480per 8h day up to 25 wafers per hour