サンプルにX線を照射して発生する固有の蛍光X線を測定することで構成されている元素を分析することです。
WDXRF:波長分散型蛍光X線分析装置 |
![]() | Zetium(ゼティウム) 2.4KW, 3KW, 4KW
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EDXRF:エネルギー分散型蛍光X線分析装置 |
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蛍光X線分析(XRF)とは、測定サンプルにX線を照射して発生する固有の蛍光X線(波長:λやエネルギー:KeV)を測定することで構成されている元素を同定(組成分析)し、その構成される元素の含有量を分析(定量分析)可能な分析技術です。
分析可能なサンプル形態は、固体、粉末、液体、スラリー、フィルムなどほぼ全ての形態を前処理なし(非破壊)に測定可能で、測定元素範囲もベリリウム(Be)からアメリシウム(Am)と広範囲で、定量分析(含有量分析)もppmレベルから100%です。
蛍光X線分析(XRF)の特長として、サンプルの前処理が不要なこと以外に、人為的な誤差がなく、装置も長期に安定していることから、あらゆる業界(石油、石油化学、鉱業、地質学、セメント、ガラス、食品や医薬品など)のお客様の工程管理や品質管理に使用されています。
また、蛍光X線分析(XRF)は長い歴史を持った分析手法ですので、国際的な試験法(ASTM、ISO、EPA、JIS、ICH-Q3D、UPSなど)に準拠しています。最近では蛍光X線(XRF)分析装置の測定迅速性から、スクリーニングツールとして、研究開発やRoHS/RoHSⅡ/ELV指令対応のための受け入れや出荷検査などにも応用されています。
以下は、エネルギー分散型蛍光X線分析装置(EDXRF)で測定したニッケル鉱石のスペクトルを示します。分かりやすいピークプロファイルが測定されました。ピークの位置をもとに試料中に構成する元素を同定し、ピークの強度でその濃度を決定します。
蛍光X線分析装置の基本的な構成要素は励起源、サンプル、および検出器です。励起源は、試料サンプルにX線を照射し、検出器からのX線を測定します。
励起源には一般的にX線管球が使用されます。装置は、エネルギー分散型蛍光X線分析装置(EDXRF)と波長分散型蛍光X線分析装置(WDXRF)の2 種類に分けられます。2 つのシステムの違いは、検出方法の違いにあります。
マルバーン・パナリティカルのXRF(蛍光X線)分析装置による測定事例をご紹介します。リンクをクリックして、資料をダウンロードしてご覧ください。
* Axios mAX(アクシオス・マックス)は販売終了しました。WDXRFをお探しのお客様は、Zetium(ゼティウム)をご覧ください。
マルバーン・パナリティカルが提供するXRF(蛍光X線)分析装置は以下の通りです。
WDXRF:波長分散型 |
![]() | Zetium(ゼティウム) 2.4KW, 3KW, 4KW
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![]() | Zetium(ゼティウム) 1KW
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EDXRF:エネルギー分散型 |
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サンプルプレパレーション |
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![]() Zetiumハイエンド波長分散蛍光X線分析装置 |
![]() 高性能卓上XRF分析装置 Epsilonシリーズ次世代を見据えた「元素分析の新時代」を切り開く、高機能・高感度の卓上型エネルギー分散型蛍光X線(EDXRF)装置です。 |
![]() Axios FAST優れたサンプルスループット |
![]() 2830 ZT先進の半導体薄膜測定ソリューション |
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測定タイプ | ||||
薄膜測定 | ||||
元素分析 | ||||
汚染物質の検出と分析 | ||||
元素定量 | ||||
化合的同定 | ||||
技術 | ||||
波長分散型蛍光X線 | ||||
エネルギー分散型X線分析 | ||||
元素範囲 | Be-Am | F-Am | B-Am | B-Am |
最小検出下限 | 0.1 ppm - 100% | 1 ppm - 100% | 0.1 ppm - 100% | 0.1 ppm - 100% |
分解能(Mg-Ka) | 35eV | 145eV | 35eV | 35eV |
サンプル処理 | 160per 8h day - 240per 8h day | Up to - 160per 8h day | 240per 8h day - 480per 8h day | up to 25 wafers per hour |