連続分析能力と速度

4 kW SST-mAX X線管球には、管球の経年劣化による影響を排除する先進のZETAテクノロジが採用されています。 ZETAテクノロジにより、「新品の管球」と同じ性能が管球の耐用期間全体にわたって維持されます。また、耐用期間中は、高い感度に加え迅速な分析と非常に短い測定時間も維持されます。 ZETAテクノロジでは、ドリフト補正と再校正の必要性が大幅に低減されるため、装置の生産性と稼働率が向上します。

最高の稼動率

従来のX線管球では、フィラメント材のタングステンが気化して管球のベリリウムウィンドウの内側に蒸着するという問題が発生します。 そのようなX線管球を使用する装置では、特に軽元素の場合に、定期的にドリフト補正を行って強度の低下を補正する必要があります。 

このようなドリフトに関する問題は、2830 ZTに装備されたSST-mAX管球によって解消されているため、最高の稼働率を実現し、装置の精度を長期間維持することができます。

容易な操作性

2830 ZTには、先進のSuperQソフトウェアが付属します。このソフトウェアには、マルチレイヤー解析用に特別に開発されたソフトウェアパッケージであるFP Multiも含まれます。 このソフトウェアのユーザーインターフェースは、経験の浅いオペレータでもマルチレイヤーの完全に自動化されたファンダメンタルパラメータ解析を実行できます。
この装置のSuperQソフトウェアには、研究者やオペレータによる柔軟なオペレーションを可能にするよう設計されているさまざまな使いやすいモジュールが含まれています。 測定手順は簡単に切り替えることができます。また、必要に応じて装置のパラメータも簡単に調整することができます。

FALMO-2G

FALMO-2Gは、あらゆるラボラトリや製造工場に簡単に統合でき、単純な手動式キャリア装填装置から完全自動化装置に至るまで、どのような装置でも使用できます。 その柔軟性の高い設計により、ロードポートの種類(FOUP、SMIF、オープンカセット)とロードポートの構成(シングルまたはデュアル)を任意に組み合わせることができます。 FALMO-2Gをどのような構成にした場合でも、GEM300準拠ソフトウェアによってサポートされます。 また、柔軟性と機能を犠牲にすることなく、FALMO-2Gの設置面積は最小限に抑えられています。 

柔軟なオペレーション

この装置のSuperQソフトウェアには、研究者やエンジニアが柔軟に操作できるように開発されたさまざまな使いやすいモジュールが用意されています。 測定手順は簡単に切り替えることができます。また、必要に応じて装置のパラメータも簡単に調整することができます。

サンプルハンドリングX線管球チャネル数設置要件
直接装填による100~300 mm厚のウェーハ。より小さなサイズは特別なアダプタで対処できます。SST-mAX75、テーパーノーズ、エンドウィンドウ管、SST-mAX50  (オプション)最大24本の固定チャネルSEMI S2/S8準拠
FOUP、SMIF、オープンカセットおよび手動装填オプションが利用可能測定スポットサイズ40 mm、10 mm。その他のスポットサイズも測定可能最大 2つのゴニオメータSECS/GEM完全準拠
スループット: 最大25ウェハー/時ZETAテクノロジ超高パフォーマンスのBoronチャネルで、最高の感度とスループットを実現
B、C、N、O、F、Mg、Wsix、TiSix、CoSixの場合に利用可能な特殊な高パフォーマンスチャネルで、高い感度と高いスループットを実現
不燃性アルゴン/メタン
フロー検出器


シールド検出器



スキャナ10 º~100 º 2θ



シンチレーション300μm Beウィンドウ

設備

投資利益率を最大限にするソリューション

お客様の装置が最高の状態を保ち、最高レベルで機能するために、Malvern Panalyticalではさまざまなサービスを提供しています。 当社の専門知識とサポートサービスは、装置が最適に機能するよう保証します。

サポート

寿命終了までのサービス

  • 電話とリモートサポート
  • 予防メンテナンスと点検
  • 柔軟なカスタマーケア契約
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  • ローカルおよびグローバルサポート

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