반도체 계측
정밀도와 품질은 오늘날 전 세계 거의 모든 부문에서 활용되는 산업인 반도체에서 중요한 키워드입니다. 반도체 계측은 반도체 장치와 재료의 물리적, 전기적 특성을 측정하고, 그 특성을 분석하기 위해 수행하는 단계와 관행을 말합니다. 지금까지 공차가 낮은 고성능 생산 공정에서는 측정 결과 따른 정확한 치수와 계측이 핵심 요소였습니다.
Malvern Panalytical은 재료 특성 분석에서 웨이퍼 검사에 이르기까지 다양한 반도체 제조 단계를 비파괴 측정으로 지원한다는 목표로 개발된 다양한 고급 X선 계측 솔루션, 도구, 기술을 제공합니다.
이전에 확립된 바와 같이 계측은 필수적인 물질 특성 분석, 측정 및 분석을 제공함으로써 반도체 산업에서 중요한 역할을 합니다.
이 산업이 빠른 속도로 진화함에 따라, 여러 핵심 영역에서 구조적, 화학적 특성을 제공하는 것이 점점 더 중요해지고 있습니다.
웨이퍼 검사는 반도체 웨이퍼의 결함, 불규칙성 및 불균일성을 구조적 및 화학적으로 검사하는 공정을 말합니다. 이러한 방식으로 최종 장치에서 기능 테스트를 하기 전에 문제를 탐지할 수 있습니다. X선 계측을 사용한 웨이퍼 검사는 다음과 같은 특성을 측정하는 데 자주 사용됩니다.
이러한 특성을 제어하는 것은 설계 사양 내에서 제대로 기능하는 장치를 제작하는 데 매우 중요합니다. 조기 검출은 수율을 높이고 장기적인 관점에서 시간과 자원을 절약합니다.
Malvern Panalytical은 지난 몇 년 동안 고객에게 반도체 산업에서 끊임없이 변화하고 엄격해지는 공정 요구 사항을 지원하는 높은 처리량과 동급 최고의 솔루션을 지속적으로 제공하고 있습니다.
Malvern Panalytical은 전체 가치 사슬에 걸쳐 다양한 솔루션을 제공하면서 전자 산업과 밀접한 연관이 있습니다.