X 光螢光光譜分析儀 (XRF)

用于元素成分分析的专业 XRF 光谱仪

XRF 光谱仪可以配置专用软件选项,专门用于特定类型的 X 射线荧光分析。 通过结合应用模块(应用配置、校准和标样)或作为带有制样产品的套件,可以创建完整的分析解决方案。 所有的马尔文帕纳科产品均由我们的售后服务和客户服务机构提供支持。

在我们的知识中心,您可以找到有关我们的光谱仪可以提供的许多有趣的 XRF 应用的更多信息

Zetium 系列 WDXRF 光譜儀

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Epsilon 1

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2830 ZT

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Axios FAST  高通量同時式WDXRF 光譜儀

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高样品处理量

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量測類型
薄膜测量
元素分析
污染物检测与分析
元素量化
化学鉴定
技術類型
X 射线荧光 (XRF)
波长色散式 X 射线荧光 (WDXRF)
能量色散式 X 射线荧光 (EDXRF)
元素范围 Be-Am F-Am F-Am Na-Am B-Am B-Am
LLD 0.1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100%
分辨率 (Mg-Ka) 35eV 135eV 135eV 135eV 35eV 35eV
通量 160per 8h day - 240per 8h day Up to - 80per 8h day Up to - 160per 8h day on-line up to 25 wafers per hour 240per 8h day - 480per 8h day