Omega/Theta XRD

概述

Omega/Theta XRD 是在可變半導體領域中判斷晶體方向最可靠且最具有前瞻性的工作夥伴。領導市場的精確度、超快測量速度及高階建構品質結合了自動化的力量，可確保您的製程對任何任務做好萬全準備。Omega/Theta XRD 為晶體方向與校準提供無與倫比的效率與精確度，是生產與研究應用方面的最佳選擇。

特點與優勢

超高速精確度與專屬掃描技術

我們的方法只需要一個測量週期就能夠收集完全判斷方向的所有必要資料，可在幾秒的極短測量時間內達到高精確度。

易用連接介面可達成進階連接性與自動化測量

在 Omega/Theta XRD 上進行的所有測量都以自動化方式完成，並且可在容易操作的 XRD 軟體中管理。透過各種 MES、SECS/GEM 與類似介面，儀器可以輕鬆整合到生產環境中的現有製程。

分析各種材料的特性

Omega/Theta XRD 可用於分析所有單一結晶材料的特性。常用材料有：

矽
鍺
碳化矽
氮化鋁
氮化鎵
砷化鎵
石英
鈮酸鋰
碲化鎘
偏硼酸鋇

便利、彈性的樣品處理

我們廣泛的配件提升了 Omega/Theta XRD 在各種應用的生產力，包括種子培養、研磨、切片到晶圓幾何端控制，即使這些需求隨著時間而改變，您也能隨時保持彈性。附加工具包括：

自動 X-Y 定位分析台，可在使用者定義的網格上定位分析晶體方向或表面失真
堆疊台，可在切割之前校準晶棒
搖擺曲線工具，適用於品質測量
額外的樣品旋轉軸
攝影相機與影像處理
雷射掃描器，適用於樣品形狀測量
樣品調整設備
另外還有許多自訂工程解決方案！

Omega/Theta XRD 的自訂樣品載台可符合從大晶棒到小圓筒的任何需求，並可容納各種樣品尺寸，確保生產工作流程能夠像研究時一樣。

主要應用

生產: Omega/Theta XRD 專為製造商設計。它非常適合在生產中判斷各種晶體類型的超高速方向與校準、標記平面內方向，或檢查平邊或凹口的方向。由於其高通量速度與自動化能力，它也非常適合生產品質控制。; 額外選購項目，例如在切割之前校準晶棒的堆疊台以及適用於品質測量的搖擺曲線工具，使 Omega/Theta XRD 成為生產應用方面的多功能工作夥伴。

材料研究: Omega/Theta XRD 的高精確度與彈性表示它非常適合材料研究，因為它可以容納各種樣品，最重達到 30 kg，最長達到 450 mm，並有額外工作台可用於更大或更複雜的樣品。; 它能夠分析各種材料的特性，使它對您的研發製程呈現出高價值，具有彈性的 Theta 掃描功能還開啟了各種測量的可能性。

規格

技術規格
X 光源	標準 X 光管，銅陽極
偵測器	閃爍計數器 (單或雙)
樣品載台	用於樣品調整的精確轉台、安裝板與工具
晶體準直器	可用
定位分析	堅固耐用的定位分析台可用
軟體	XRDStudio
水冷	流量 – 4l/min，最大壓力 8 bar，T ≤ 30°C
PC 工作站	Windows 7 或最新版本、.NET Framework 更新
尺寸	高 1950 mm × 厚 820 mm × 寬 1200 mm
重量	ca，650 kg
電源要求	208-240 V，16 A 單相，50-60 Hz
認證	在 ISO 9001 指南之下製造，符合 CE 標準

配件

透過專門設計來容納較小或較大晶體的額外樣品載台，可以測量不同製程階段中的各種尺寸樣品。

額外的樣品載台

透過專用樣品調整工具輕鬆處理各種類型的樣品。

樣品調整設備

使用轉台上的額外 X-Y 定位台，將晶體方向或表面失真輕鬆定位分析到使用者定義的網格上。定位分析台可透過可自訂的表面掃描綜合探索完整樣品表面。

自動 X-Y 定位分析台

在使用切割與強化工具之前精確校準晶棒。高效堆疊台可在方位角掃描期間，於將完整堆疊傳輸去進行線切割之前校準晶棒。此平行切割方法具有極高的效率。

堆疊台

適用於生產製程的快速而精確的品質控制測量工具。搖擺曲線指示了晶格品質，可快速逐點評估，或搭配定位分析工具評估，以進行品質定位分析。光學方面也會進行自動化處理以便輕鬆進行開/關切換。

搖擺曲線工具

由於高品質的攝影相機與額外的影像處理功能，能夠更輕鬆地進行平邊與凹口偵測。

攝影相機與影像處理

選購雷射掃描器可測量精確的樣品形狀，讓您更深入地瞭解您的材料。

雷射掃描器，適用於樣品形狀測量

支援

支援服務

電話與線上支援
設備保養與定期檢查
彈性的客戶維護合約
效能認證證書
硬體和軟體相關升級
台灣當地與全球支援

專業技術

元素與結構半導體精密測量的統包解決方案
自動化與諮詢
教育訓練

完全自動化的垂直三軸 X 光繞射儀適用於判斷超高速晶體方向

概述