微区 X 射线衍射

在非常小的范围内

微区衍射(也称为 X 射线微区衍射、微区 X 射线衍射或 μXRD)分析使用非常窄的光束来进行极小区域内的高度局部化 XRD 测量。 这可以使用能减少射出 X 射线的专用入射光束准直器来实现。 使用单毛细管可以产生直径约为 50 μm 的入射 X 射线束。 微区衍射技术通常用于具有不同组成、晶格应变或优选取向微晶的小样品或非均质样品。

从微结构检查中洞察表征

微区衍射可以应用于许多衍射研究,包括以下表征:样品上具有巨大梯度成份的小斑点,例如,污染物、夹杂物、矿物样品、法医样品、古代绘画的微小横截面、考古样本、冶金工件、工具嵌件和图案化晶片。

用于微区衍射的马尔文帕纳科解决方案

使用 Empyrean 平台可以进行微区衍射应用测量该平台配备的 PreFIX 模块能够在入射光束路径上产生笔形光束(例如单毛细管或双交叉狭缝),而且高放大倍数的摄像机可使样品在 X 射线束中显影和定位。 
使用我们的混合像素检测器,可以收集二维衍射图案,直接洞悉非均质样品中的相组成。