Análise de filmes finos por raios X
As técnicas de metrologia de raios X têm acompanhado o progresso do setor por meio do desenvolvimento de novas aplicações e tecnologias baseadas em camada e continuam a servir como ferramentas essenciais desde a fase de P&D até a produção piloto e a fabricação automatizada em larga escala de dispositivos semicondutores.
![]() ZetiumExcelência elementar |
![]() Axios FASTAlta produtividade de amostras |
![]() 2830 ZTSolução de metrologia de filme fino de semicondutores avançados |
![]() Epsilon 4Rapidez e precisão na análise elementar em linha |
![]() X'Pert³ MRDVersátil sistema XRD de pesquisa e desenvolvimento |
![]() X'Pert³ MRD XLVersátil sistema XRD de pesquisa, desenvolvimento e controle de qualidade |
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Tipo de medição | ||||||
Metrologia de filme fino | ||||||
Tecnologia | ||||||
Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF) | ||||||
X-ray Diffraction (XRD) | ||||||
Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF) |