Einführung 

Die Röntgenfluoreszenzanalyse (RFA) ist ein zerstörungsfreies Analyseverfahren zur Datengewinnung über die elementare Zusammensetzung verschiedener Materialien. Sie wird in vielen Branchen und Anwendungsbereichen eingesetzt: Zementproduktion, Glasherstellung, Bergbau, Mineralgewinnung, Eisen-, Stahl- und Nichteisenmetalle, Erdöl und Erdölchemikalien, Pharmazeutika, Gesundheits- und Umweltprodukte, Polymere u.ä. Spektrometersysteme sind in der Regel in zwei Hauptgruppen unterteilt: wellenlängendispersive Systeme (WDRFA) und energiedispersive Systeme (EDRFA). Der Unterschied zwischen diesen beiden liegt im Detektionssystem. 

Was ist die WDRFA, und wie funktioniert sie?

Das Grundkonzept aller Spektrometer umfasst eine Strahlungsquelle, eine Probe und ein Detektionssystem. Bei WDRFA-Spektrometern bestrahlt eine Röntgenröhre (Strahlungsquelle) direkt eine Probe und die Fluoreszenz aus der Probe wird mit einem wellenlängendispersiven Detektionssystem gemessen. Die charakteristische Strahlung eines jeden einzelnen Elements kann anhand von Analysekristallen bestimmt werden, welche die Röntgenstrahlen nach ihrer Wellenlänge trennen (oder aber nach ihren Energien (EDRFA)). Eine solche WDRFA kann entweder durch die Messung der Röntgenstrahlungsintensität nacheinander bei unterschiedlichen Wellenlängen (sequentiell) erfolgen, oder mit fixen Positionen, wobei Röntgenstrahlungsintensitäten gleichzeitig bei unterschiedlichen Wellenlängen (simultan) gemessen werden. ​

Vorteile der WDRFA-Spektrometrie

  • Hohe Auflösung, speziell auch bei leichteren Elementen
  • Niedrige Nachweisgrenzen, speziell auch bei leichteren Elementen
  • Robuste Analyse
  • Hoher Durchsatz

Axios FAST

Axios FAST

Hoher Probendurchsatz

Mehr Details
Messung Dünnschicht-Messtechnik, Elementaranalyse, Quantifizierung von Elementkonzentrationen
Elementbereich Be-U
Auflösung (Mg-Ka) 35eV
LLD 0.1 ppm - 100%
Probendurchsatz 240per 8h day - 480per 8h day
Technologie Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)

Zetium

Zetium

Elementare Leistung

Mehr Details
Messung Dünnschicht-Messtechnik, Elementaranalyse, Detektion und Analyse von Kontaminationen, Quantifizierung von Elementkonzentrationen
Elementbereich Be-U
Auflösung (Mg-Ka) 35eV
LLD 0.1 ppm - 100%
Probendurchsatz 160per 8h day - 240per 8h day
Technologie Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF), Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)

2830 ZT

2830 ZT

Fortgeschrittene Lösung für die Halbleiter-Dünnschicht-Messtechnik

Mehr Details
Messung Chemische Identifikation, Dünnschicht-Messtechnik, Elementaranalyse, Detektion und Analyse von Kontaminationen, Quantifizierung von Elementkonzentrationen
Elementbereich Be-U
Auflösung (Mg-Ka) 35eV
Probendurchsatz up to 25 wafers per hour
LLD 0.1 ppm - 100%
Technologie Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)

Axios FAST

Axios FAST

Hoher Probendurchsatz

Zetium

Zetium

Elementare Leistung

2830 ZT

2830 ZT

Fortgeschrittene Lösung für die Halbleiter-Dünnschicht-Messtechnik

Mehr Details Mehr Details Mehr Details
Messung Dünnschicht-Messtechnik, Elementaranalyse, Quantifizierung von Elementkonzentrationen Dünnschicht-Messtechnik, Elementaranalyse, Detektion und Analyse von Kontaminationen, Quantifizierung von Elementkonzentrationen Chemische Identifikation, Dünnschicht-Messtechnik, Elementaranalyse, Detektion und Analyse von Kontaminationen, Quantifizierung von Elementkonzentrationen
Elementbereich Be-U Be-U Be-U
Auflösung (Mg-Ka) 35eV 35eV 35eV
LLD 0.1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100%
Probendurchsatz 240per 8h day - 480per 8h day 160per 8h day - 240per 8h day up to 25 wafers per hour
Technologie Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF) Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF), Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF) Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)