Análisis de epitaxia

A partir de los patrones de difracción se puede obtener mucha información importante, incluida la siguiente: 

• composición de aleación de capas epitaxiales
• uniformidad de las capas epitaxiales
• espesores de capa epitaxial
• deformación y relajación de deformaciones, 
• perfección cristalina relacionada con la densidad de dislocación

Incluso se puede investigar la formación de interdifusión e intermezcla de interfaces en determinadas circunstancias.

A fin de lograr una rápida inspección, se pueden utilizar para el análisis las posiciones pico del sustrato y las capas. 

No obstante, en general se aplican simulaciones de patrón completo basadas en la teoría de dispersión dinámica para la determinación cuantitativa de parámetros relevantes.