Rugosidad de interfaz

La dispersión de rayos X ofrece un método no destructivo de adquisición de información de interfaces cubiertas. La reflectometría de rayos X es sensible al espesor de películas, la densidad de materiales y la rugosidad interfacial. Sin embargo, ya no es posible distinguir los gradientes de densidad a partir de la rugosidad física a partir de la reflexión especular solamente. La parte incoherente difusa de una superficie o interfaz rugosa se puede medir mejor por medio de la dispersión difusa de rayos X. En una de las detecciones posibles, la muestra gira en un ángulo detector fijo.

Los datos de la dispersión difusa revelan las características típicas de la rugosidad. Estas alas (conocidas como picos Yoneda) en el lado superior e inferior de la parte especular indican la presencia de rugosidad. El rango desde las alas hasta la parte especular es afectado por la densidad de la longitud de dispersión. El análisis se realiza mediante la adaptación de un modelo de muestra que describe las interfaces rugosas en la aproximación de Born de onda distorsionada.