Dispositif de cartographie des wafers
Complément optionnel pour l'exploration et la cartographie de l'orientation des cristaux ou des distorsions de surface.
Présentation
Orientation des cristaux ultra-rapide et précise (jusqu'à (1/100)o) au bout des doigts. Le DDCOM acquiert des résultats fiables plus de 100 fois plus rapidement que les méthodes traditionnelles avec des gains de temps supplémentaires grâce à la géométrie de mesure descendante. Cet instrument hautement polyvalent utilise un tube à rayons X refroidi par air et une conception mobile pour garantir des coûts de fonctionnement réduits et un maximum de commodité, idéal pour le contrôle qualité, le marquage et les applications de recherche.
Fonctionnalités et avantages
Précision ultra-rapide
Notre méthode d'acquisition propriétaire ne nécessite qu'une seule rotation d'acquisition pour recueillir toutes les données nécessaires à la détermination de l'orientation des cristaux, fournissant des résultats précis en seulement quelques secondes (rotation unique).
La géométrie de l'instrument spécifique au matériau permet de mesurer l'orientation du réseau cristallin par rapport à l'axe de rotation de manière ultra-rapide. La précision augmente avec chaque rotation d'acquisition.
Format compact et convivial
La conception compacte du DDCOM permet au système de s'adapter à n'importe quel environnement. Le logiciel est à la fois puissant et intuitif, ce qui le rend pratique et facile à utiliser pour un large éventail d'utilisateurs.
Contrôle précis et efficace
Assurez le contrôle des processus de coupe, de broyage et de rodage avec une précision élevée jusqu'à 1/100o. Le DDCOM fournit une orientation de réseau complète des monocristaux et est conçu pour le réglage azimutal et le marquage de l'orientation des cristaux.
Des paramètres de cristal préprogrammés permettent de déterminer l'orientation arbitraire inconnue de diverses structures et aident à affiner le flux de travail pour une plus grande efficacité. Divers accessoires de platine permettent la métrologie à différentes étapes du processus.
Polyvalent et économique
Le DDCOM est bien équipé pour les environnements de recherche et de production dans lesquels divers types d'échantillons doivent être analysés. Les coûts d'exploitation du DDCOM sont faibles, grâce à sa faible consommation d'énergie et à son tube à rayons X refroidi par air. Aucun refroidissement par eau n'est nécessaire.
L'instrument peut mesurer une gamme de matériaux différents de structures variables, ce qui en fait un complément polyvalent pour tous les laboratoires. Voici quelques exemples de matériaux mesurables :
- Cubique, orientation inconnue arbitraire : Si, Ge, GaAs, GaP, InP
- Cubique, orientation spéciale : Ag, Au, Ni, Pt, GaSb, InAs, InSb, AlSb, ZnTe, CdTe, SiC3C, PbS, PbTe, SnTe, MgO, LiF, MgAl2O4, SrTiO3, LaTiO3
- Tétragonal : MgF2, TiO2, SrLaAlO4
- Hexagonal et trigonal : SiC 2H, 4H, 6H, 15R, GaN, ZnO, LiNbO3, SiO2 (quartz), Al2O3 (saphir), GaPO4, La3Ga5SiO14
- Orthorhombique : Mg2SiO4, NdGaO3
Applications clés
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- Contrôle de l'orientation des cristaux pour la coupe, le broyage et le rodage
- En raison de son faible encombrement, de ses capacités d'automatisation et de sa vitesse de mesure rapide, le DDCOM XRD vous offre un moyen pratique et convivial de mesurer l'orientation des cristaux permettant un contrôle précis et efficace des processus de coupe, de broyage et de rodage.
- Réglage et marquage de l'orientation des cristaux
- Le DDCOM est équipé pour le réglage azimutal et le marquage de l'orientation des cristaux. Le marquage des wafers repose sur une excellente précision et une surveillance rapide. Le DDCOM fournit la vitesse et la précision dont votre processus a besoin. Léger et mobile, il s'intègre facilement à votre installation existante ou dans le cadre d'un nouveau processus.
- Contrôle qualité
- La vitesse de mesure et le temps de production sont cruciaux pour le contrôle qualité de la production, mais pour les mesures de routine, il est également important de maintenir des coûts d'exploitation bas. Le DDCOM est efficace non seulement en termes de débit et de productivité grâce à la géométrie de mesure descendante, mais également en termes de consommation d'énergie, ce qui permet de réduire vos coûts et de garantir un fonctionnement optimal de vos processus, sans compromettre la qualité.
- Étude de matériaux
- Capable de mesurer une gamme polyvalente de types de cristaux dans un faible encombrement de laboratoire, le DDCOM est idéal pour les flux de travail de recherche standard. Les coûts de fonctionnement sont réduits grâce à une consommation d'énergie minimisée et à un tube à rayons X refroidi par air ne nécessitant pas de refroidissement par eau. Le DDCOM est également accessible et facile à utiliser à divers niveaux d'expérience, ce qui en fait une solution pratique pour les laboratoires de recherche.
Caractéristiques
| Spécification technique | |
|---|---|
| Source de rayons X | Tube à rayons X refroidi par air 30 W, anode en Cu |
| Détecteurs | Deux compteurs à scintillation |
| Porte-échantillon | Plateau tournant précis, précision de réglage de 0,01°, outils pour le positionnement et le marquage définis des échantillons |
| Spécifications physiques | |
| Dimensions | 600 mm × 600 mm × 850 mm |
| Poids | 80 kg |
| Alimentation électrique | 100-230 V, 500 W, monophasé |
| Température ambiante | ≤ 30 °C |
| Options de configuration | |
| Dispositif de cartographie des wafers (diamètre maximal 225 mm) | |
| Dispositif de chargement automatique à partir de cassettes | |
| Exemples de matériaux mesurables | |
| Cubique, orientation inconnue arbitraire : Si, Ge, GaAs, GaP, AlAs, AlP, InP, NaCl, AgCl, CaF2 | |
| Cubique, orientation spéciale : Ag, Au, Ni, Pt, GaSb, InAs, InSb, AlSb, ZnTe, CdTe, SiC 3C, PbS, PbTe, SnTe, MgO, LiF, MgAl2O4, SrTiO3, LaTiO3 | |
| Tétragonal : MgF2, TiO2, SrLaAlO4 | |
| Hexagonal / trigonal : SiC 2H, 4H, 6H, 15R, GaN, ZnO, LiNbO3, SiO2 (quartz), Al2O3 (saphir), GaPO4, La3Ga5SiO14 | |
| Orthorhombique : Mg2SiO4, NdGaO3 | |
| Autres matériaux en fonction des demandes des clients | |
Accessoires
Chargement automatique à partir de la cassette
Un outil supplémentaire permettant le chargement automatisé des échantillons à partir d'une cassette, améliorant ainsi le temps de production et l'efficacité du flux de travail.
Assistance
Services d'assistance
- Assistance téléphonique et à distance
- Maintenance préventive et contrôles
- Contrats de service client flexibles
- Certificat de performances
- Mises à niveau matérielles et logicielles
- Assistance locale et mondiale
Expertise
- Solutions clés en main pour la métrologie élémentaire et structurelle des semi-conducteurs
- Automatisation et conseil
- Formation et éducation
