X'Pert³ is now a Smart Instrument!. Find out more

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Gamme X'Pert³

La nouvelle plateforme améliorée X’Pert³

La nouvelle plateforme X'Pert³ succède à la gamme éprouvée X'Pert. Avec sa nouvelle électronique de contrôle embarquée, sa conformité aux normes de sécurité les plus strictes en terme de rayons X et de mécanique, ses améliorations dans l'éco-convivialité et sa fiabilité, la plateforme X'Pert³ est prête pour l'avenir.

X'Pert³ MRD

The X'Pert³ MRD systems offer advanced and innovative X-ray diffraction solutions from research to process development and process control.

Features include

  • Wafer max. diameter: 100 mm
  • SECS/GEM
  • Cleanroom ISO 4
X'Pert³ MRD

X'Pert3 MRD (XL)

An extra PreFIX mounting platform allows mounting of an X-ray mirror and a high-resolution monochromator in-line, increasing significantly the intensity of the incident beam.

Features include

  • Wafer max. diameter: 300 mm
  • SECS/GEM
  • Cleanroom ISO 4
X'Pert3 MRD (XL)
X'Pert³ MRD

X'Pert³ MRD

La nouvelle génération de diffractomètres polyvalents pour la recherche en matériaux

X'Pert3 MRD (XL)

X'Pert3 MRD (XL)

La nouvelle génération de diffractomètres polyvalents pour la recherche en matériaux

Technologie
Diffraction des rayons X (XRD)
Type de mesure
Identification de phase
Quantification de la phase
Métrologie des couches minces
Contraintes résiduelles
Rugosité de l'interface
Analyse de l'épitaxie
Analyse de texture
Analyse de réseau réciproque
Wafer max. diameter 100 mm 300 mm
SECS/GEM
Cleanroom ISO 4