X'Pert³ MRD XL

Les Malvern Panalytical X'Pert³ MRD et MRD XL sont des systèmes de solution à rayons X tout-en-un qui peuvent être utilisés dans de nombreuses applications industrielles, notamment :

Plaquettes semi-conductrices et monocristallines

Qu'il s'agisse d'études de croissance ou de conception de dispositifs, la mesure de la qualité des couches, leur épaisseur, la déformation et la composition des alliages à l'aide de la XRD haute résolution a été au cœur de la recherche et du développement dans les dispositifs électroniques et optoélectroniques à semi-conducteurs multicouches. Avec un choix de miroirs à rayons X, de monochromateurs et de détecteurs, les modèles X'Pert3 MRD et MRD XL offrent des configurations haute résolution pour s'adapter à différents systèmes de matériaux allant des semi-conducteurs de réseau, aux couches de tampons souples, en passant par les nouvelles couches exotiques sur des substrats non standard.

Solides polycristallins et couches minces

Les couches et revêtements polycristallins sont un composant important de nombreux films minces et dispositifs multicouches. L'évolution de la morphologie de la couche polycristalline pendant le dépôt est un domaine d'étude clé dans la recherche et le développement de matériaux fonctionnels. Les modèles X'Pert3 MRD et X'Pert3 MRD XL peuvent être équipés d'une gamme complète de fentes, d'un miroir à rayons X à faisceau parallèle, d'une lentille polycapillaire, de fentes croisées et de monocapillaires pour offrir un choix complet d'optiques à faisceau incident pour la réflectométrie, la contrainte, la texture et l'identification de phase.

Films ultra-minces, nanomatériaux et couches amorphes

Les dispositifs fonctionnels peuvent contenir des films minces désordonnés, amorphes ou nanocomposites. La flexibilité des systèmes X'Pert3 MRD et MRD XL permet l'incorporation de plusieurs méthodes d'analyse. Une gamme d'optiques, de fentes et de collimateurs plan haute résolution est disponible pour offrir des performances optimales pour les méthodes d'incidence rasante, la diffraction dans le plan et la réflectométrie.

Mesure effectuée dans des conditions non ambiantes

L'étude du comportement des matériaux dans diverses conditions est un élément essentiel de la recherche de matériaux et du développement de processus. Les modèles X'Pert3 MRD et MRD XL sont conçus pour l'incorporation facile du support d'échantillon non ambiant DHS1100 d'Anton Paar, permettant des mesures automatisées sous une plage de températures et une atmosphère inerte.

Instrument gives excellent accuracy and is of good quality.Good intensity and rapid performance. It is easy to operate.

Yifan Zheng — Zhejiang University of Technology