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La longue et prospère histoire des diffractomètres MRD continue avec une nouvelle génération – X’Pert³ MRD and X’Pert³ MRD XL. Les performances et la fiabilité accrues de la nouvelle plateforme ont augmenté les capacités d'analyse et la puissance dans les études des:
Les deux systèmes traitent la même gamme d'applications avec la cartographie complètes de wafers jusqu'à 100 mm (X’Pert³ MRD) ou 200 mm (X’Pert³ MRD XL).
Version standard pour la recherche et le développement des échantillons de couches minces, wafers (cartographie complète jusqu'à 100 mm) et matériaux solides.
Les capacités d'analyses haute-résolution sont améliorées avec la précision inégalée du nouveau goniomètre haute résolution utilisant des encodeurs Heidenhain
Le X'Pert³ étendu MRD (XL) augmente la polyvalence de la gamme des systèmes X'Pert³ MRD. Un PreFIX supplémentaire permet de monter à la fois un miroir et un monochromateur haute-résolution, augmentant de manière significative l'intensité du faisceau incident.
On bénéficie ainsi d'une polyvalence d'application sans compromis sur la qualité des données à haute résolution diffraction des rayons X avec des intensités élevées et de réduction des temps de mesure telles que la cartographie de l'espace réciproque, et la reconfiguration de standard à étendu se fait en quelques minutes grâce au concept des PreFIX. Avec la deuxième génération de PreFIX, le passage d'une configuration à une autre est simple et le positionnement optique est encore plus précis que jamais.
Avec le X'Pert³ MRD (XL) pour la diffraction in-plane ou dans le plan, il devient possible de mesurer la diffraction à partir des plans du réseau qui sont perpendiculaires à la surface de l'échantillon.
Géométrie standard et dans le plan sur un même système et un large éventail d'expériences de diffraction sur polycristallin et couches minces parfaites, ne sont que deux des nombreux avantages.
Qu'il s'agisse d'études de croissance ou de conception de dispositifs, la mesure de la qualité, de l'épaisseur, de la déformation et de la composition des alliages des couches par DRX haute résolution a été au cœur de la recherche et du développement dans le domaine des dispositifs semi-conducteurs multicouches électroniques et optoélectroniques. Avec un choix de miroirs à rayons X, de monochromateurs et de détecteurs, les X'Pert3 MRD et MRD XL offrent des configurations haute résolution pour s'adapter à différents systèmes de matériaux allant des semi-conducteurs adaptés au réseau, en passant par des couches tampons détendues, jusqu'à de nouvelles couches exotiques sur des substrats non standard.
Les couches et revêtements polycristallins constituent un composant important de nombreux films minces et dispositifs multicouches. L'évolution de la morphologie des couches polycristallines au cours du dépôt est un domaine d'étude clé dans la recherche et le développement de matériaux fonctionnels. X'Pert3 MRD et X'Pert3 MRD XL peuvent être entièrement équipés d'une gamme de fentes, d'un miroir à rayons X à faisceau parallèle, d'une lentille polycapillaire, de fentes croisées et de monocapillaires pour offrir un choix complet d'optiques à faisceau incident pour la réflectométrie, la contrainte, la texture et l'identification de phase.
Les dispositifs fonctionnels peuvent contenir des films minces désordonnés, amorphes ou nanocomposites. La flexibilité des systèmes X’Pert3 MRD et MRD XL permet l’incorporation de plusieurs méthodes analytiques. Une gamme d'optiques haute résolution, de collimateurs à fentes et à plaques parallèles est disponible pour offrir des performances optimales pour les méthodes d'incidence rasante, de diffraction dans le plan et de réflectométrie.
L'étude du comportement des matériaux dans diverses conditions constitue une partie essentielle de la recherche sur les matériaux et du développement de procédés. Les X'Pert3 MRD et MRD XL sont conçus pour l'intégration facile de la platine d'échantillonnage non ambiante DHS1100 d'Anton Paar, permettant des mesures automatisées dans une plage de températures et sous atmosphère inerte.
Instrument gives excellent accuracy and is of good quality.Good intensity and rapid performance. It is easy to operate.
Yifan Zheng — Zhejiang University of Technology
| Dimensions | 1370 (w) x 1131 (d) x 1972 (h) mm
Le système est sur roues pour une installation et un déplacement faciles
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|---|---|
| Poids | 1150 kg |
| Type | Goniomètre horizontal
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|---|---|
| Radius | 420 mm |
| Range | -40°< 2θ <160° (selon accessoires)
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| Exactitude | Précision longue portée ±0,0025°
Précision à courte portée (0,5°) ±0,0004°
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| Reproductibilité | < 0.0002°
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| Features | Tubes à rayons X entièrement en céramique fabriqués par l'usine spécialisée de Malvern Panalytical dans des conditions de salle blanche
Échange de ligne à point sans outil
Générateur de 3 kW compatible avec tous les tubes à rayons X actuels et futurs
Détecteurs de pixels hybrides avec la plus petite taille de pixel (55 x 55 µm2) disponible sur le marché
Berceau 5 axes avec translation 200 x 200 mm2 x, y
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|---|---|
| Rotation | Rotation du Chi ±92°
Rotation Phi 2 x 360°
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| Smallest addressable increment | 0.0001° |
Le PIXcel3D est un détecteur à pixels 2D hybride à semi-conducteurs unique. Chaque pixel mesure 55 microns x 55 microns et l'ensemble de détection est de 256 x 256 pixels. Le détecteur, désormais basé sur la technologie Medipix3, apporte un rapport signal/bruit inégalé grâce à sa fonction de diffusion d'un seul pixel et à ses multiples niveaux de discrimination énergétique.
En tant que solution logicielle supplémentaire pour notre outil X'Pert3 MRD XL, l'automatisation peut être intégrée à votre instrument existant pour fournir un contrôle hôte conforme à la norme SECS/GEM.
Grâce à ces nouvelles fonctionnalités, le système MRD XL peut désormais jouer de sa modularité et de sa flexibilité dans un environnement de fabrication contrôlé par l'hôte. Cela permet de garantir un environnement de recherche ou de production sans contamination.
Le pack X'Pert3 MRD XL pour salle blanche comprend des solutions intelligentes, dont une unité de filtration pour ventilation, pour le système MRD XL, pouvant être installées sur votre instrument actuel ou fournies avec un nouvel instrument.
En filtrant l'air autour de vos échantillons de wafers semi-conducteurs, le pack MRD XL pour salle blanche vous permet d'éviter toute contamination lors de leur analyse. Vous pouvez ainsi effectuer des mesures dans un plus grand nombre d'environnements sans avoir à investir dans un nouvel instrument.
Libérez le potentiel de vos données
Jusqu’à présent, les données des instruments étaient souvent bloquées dans des enregistrements manuels, des feuilles de calcul ou des serveurs locaux. En connectant le X'Pert3 à notre Smart Manager et en analysant continuellement les données dans le cloud, vous pouvez libérer tout leur potentiel. Il s’agit de l’une de nos solutions numériques, faisant partie du Connected World de Malvern Panalytical.
Numéro de version: 6
Numéro de version: 7
Numéro de version: 2
Numéro de version: 4
Numéro de version: 4
Numéro de version: 3
Numéro de version: 10
Numéro de version: 9
Numéro de version: 4
Numéro de version: 7
Numéro de version: 4
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Pour garantir que votre instrument reste en parfait état et qu'il fonctionne au plus haut niveau, Malvern Panalytical offre toute une gamme de services. Notre expertise et nos services d'assistance assurent un fonctionnement optimal de votre instrument.
Service à vie
Ajout de valeur à vos procédés
Recherche et développement XRD polyvalents. Des intensités élevées pour des temps de mesure plus courts. Une nouvelle génération d'outils pour votre analyse de wafers.