X'Pert³ MRD

Semi-conducteurs et plaquettes monocristallines

Qu'il s'agisse d'études de croissance ou de conception de dispositifs, la mesure de la qualité, de l'épaisseur, de la déformation et de la composition des alliages des couches par DRX haute résolution a été au cœur de la recherche et du développement dans le domaine des dispositifs semi-conducteurs multicouches électroniques et optoélectroniques. Avec un choix de miroirs à rayons X, de monochromateurs et de détecteurs, les X'Pert3 MRD et MRD XL offrent des configurations haute résolution pour s'adapter à différents systèmes de matériaux allant des semi-conducteurs adaptés au réseau, en passant par des couches tampons détendues, jusqu'à de nouvelles couches exotiques sur des substrats non standard.

Solides polycristallins et couches minces

Les couches et revêtements polycristallins constituent un composant important de nombreux films minces et dispositifs multicouches. L'évolution de la morphologie des couches polycristallines au cours du dépôt est un domaine d'étude clé dans la recherche et le développement de matériaux fonctionnels. X'Pert3 MRD et X'Pert3 MRD XL peuvent être entièrement équipés d'une gamme de fentes, d'un miroir à rayons X à faisceau parallèle, d'une lentille polycapillaire, de fentes croisées et de monocapillaires pour offrir un choix complet d'optiques à faisceau incident pour la réflectométrie, la contrainte, la texture et l'identification de phase.

Films ultra-minces, nanomatériaux et couches amorphes

Les dispositifs fonctionnels peuvent contenir des films minces désordonnés, amorphes ou nanocomposites. La flexibilité des systèmes X’Pert3 MRD et MRD XL permet l’incorporation de plusieurs méthodes analytiques. Une gamme d'optiques haute résolution, de collimateurs à fentes et à plaques parallèles est disponible pour offrir des performances optimales pour les méthodes d'incidence rasante, de diffraction dans le plan et de réflectométrie.

Mesure dans des conditions non ambiantes

L'étude du comportement des matériaux dans diverses conditions constitue une partie essentielle de la recherche sur les matériaux et du développement de procédés. Les X'Pert3 MRD et MRD XL sont conçus pour l'intégration facile de la platine d'échantillonnage non ambiante DHS1100 d'Anton Paar, permettant des mesures automatisées dans une plage de températures et sous atmosphère inerte.

Instrument gives excellent accuracy and is of good quality.Good intensity and rapid performance. It is easy to operate.

Yifan Zheng — Zhejiang University of Technology