X'Pert³ MRD

La nouvelle génération de diffractomètres polyvalents pour la recherche en matériaux

La longue et prospère histoire des diffractomètres MRD continue avec une nouvelle génération – X’Pert³ MRD and X’Pert³ MRD XL. Les performances et la fiabilité accrues de la nouvelle plateforme ont augmenté les capacités d'analyse et la puissance dans les études des:

• sciences des matériaux avancés
• Technologies des couches minces scientifiques et industrielles
• Caractérisations métrologiques dans le développement des procédés des semiconducteurs

Les deux systèmes traitent la même gamme d'applications avec la cartographie complètes de wafers jusqu'à 100 mm (X’Pert³ MRD) ou 200 mm (X’Pert³ MRD XL).

Demander un devis Demander une démonstration Contact commercial

Fonctionnalités

X’Pert³ MRD

Version standard pour la recherche et le développement des échantillons de couches minces, wafers (cartographie complète jusqu'à 100 mm) et matériaux solides. Les capacités d'analyses haute-résolution sont améliorées avec la précision inégalée du nouveau goniomètre haute résolution utilisant des encodeurs Heidenhain

X'Pert³ MRD XL

Le X'Pert³ MRD XL répond à toutes les exigences des analyses XRD haute résolution des semi-conducteurs, des couches minces, et des industries des matériaux de pointe. La cartographie complète de wafers jusqu'à 200 mm est possible. La version X'Pert³ amène une durée de vie plus longue pour les composants du faisceau incident (CRISP) et une disponibilité maximale avec les obturateurs et atténuateurs pneumatiques.

En simplifiant l'analyse des wafers jusqu'à 300 mm de diamètre, avec une option automatique et sophistiquée de chargeur de wafers, X'Pert³ MRD XL devient un outil de pointe pour le contrôle qualité des structures de couches minces industriels. 

X'Pert³ étendu MRD (XL)

Le X'Pert³ étendu MRD (XL) augmente la polyvalence de la gamme des systèmes X'Pert³ MRD. Un PreFIX supplémentaire permet de monter à la fois un miroir et un monochromateur haute-résolution, augmentant de manière significative l'intensité du faisceau incident.

On bénéficie ainsi d'une polyvalence d'application sans compromis sur la qualité des données à haute résolution diffraction des rayons X avec des intensités élevées et de réduction des temps de mesure telles que la cartographie de l'espace réciproque, et la reconfiguration de standard à étendu se fait en quelques minutes grâce au concept des PreFIX. Avec la deuxième génération de PreFIX, le passage d'une configuration à une autre est simple et le positionnement optique est encore plus précis que jamais.

X'Pert³ MRD (XL) In-plane

Avec le X'Pert³ MRD (XL) pour la diffraction in-plane ou dans le plan, il devient possible de mesurer la diffraction à partir des plans du réseau qui sont perpendiculaires à la surface de l'échantillon.

Géométrie standard et dans le plan sur un même système et un large éventail d'expériences de diffraction sur polycristallin et couches minces parfaites, ne sont que deux des nombreux avantages.

Spécifications

Flexibilité d'un système paré pour l'avenir

Les systèmes X'Pert³ MRD offrent des solutions avancées et innovantes de diffraction X de la recherche au développement et contrôle de procédé.
Les technologies utilisées rendent possible la mise à jour de tout type d'options et nouveaux développements hardware et logiciel à venir. 

Accessoires

Detectors

PIXcel3D

Le premier détecteur à apporter des données 0D-1D-2D et 3D à votre diffractomètre

Le PIXcel3D est un détecteur à pixels 2D hybride à semi-conducteurs unique. Chaque pixel mesure 55 microns x 55 microns et l'ensemble de détection est de 256 x 256 pixels. Le détecteur, désormais basé sur la technologie Medipix3, apporte un rapport signal/bruit inégalé grâce à sa fonction de diffusion d'un seul pixel et à ses multiples niveaux de discrimination énergétique.

Instrument gives excellent accuracy and is of good quality.Good intensity and rapid performance. It is easy to operate.

Yifan Zheng — Zhejiang University of Technology