SuperQ Thin Film

薄膜のXRF分析

SuperQ Thin Filmは、パナリティカルのXRFベースの測定システムで使用されるソフトウェアプラットフォームです。SuperQ Thin Filmソフトウェアプラットフォームでは、正確なプロセス管理とウェハ分析をかつてないほど容易に実行できます。ソフトウェアは、ウェハ全体の層およびスタック情報を迅速かつ自動的に検証し、さまざまな種類の層およびスタックの厚さ、組成、化学量論、ドーパント値、均一性を計算します。
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機能

操作性の向上

日常的に実施するXRF分析は、経験の浅い作業者でも最小限のトレーニングのみで簡単に実行できるルーチンタスクです。


結果を簡単に表示

測定が実施されると、結果がオンラインでさまざまな形式で表示されます。また、独自の色分けにより、一目で実行の可否を決定できます。さらに、結果はネットワークドライブまたはプリンタに自動的に送信され、レポート、出版物、またはプレゼンテーションとして生成できます。


操作性の向上

SuperQ Thin Filmは、Malvern PanalyticalのSuperQがベースになっています。SuperQは、XRF分析ソフトウェアプラットフォームで、Malvern Panalytical XRF (波長分散型)分光計で使用され、分光計の設定と操作に必要なすべての機能を備えています。分析プログラムの構築は、Malvern Panalyticalの半世紀にわたるXRF分析の専門知識に基づいてソフトウェアに組み込まれたインテリジェンスによって簡単に実行できます。日常的に実施するXRF分析は、経験の浅い作業者でも最小限のトレーニングで簡単に実行できるルーチンタスクです。ソフトウェアを簡単に使用できるようにする、多くの機能が用意されています。

仕様

測定が実施されると、結果がオンラインでさまざまな形式で表示されます。また、独自の色分けにより、一目で実行の可否を決定できます。さらに、結果はネットワークドライブまたはプリンタに自動的に送信され、レポート、出版物、またはプレゼンテーションとして生成できます。