Malvern Panalytical에서는 원소 및 박막 두께 측정용 XRF 분광기와 관련 제품을 다양하게 제공합니다. 이러한 제품은 다양한 분석 및 처리량 요구 사항 및 운영 환경에 적합합니다. 에너지 분산형 탁상용 XRF 시스템부터 고성능 파장 분산형 XRF 시스템과 반도체 측정 제품까지 다양한 분광계가 있습니다.
분석 유형별 전용 소프트웨어 옵션으로 장치를 구성할 수 있습니다. 애플리케이션 모듈(애플리케이션 구성, 교정 및 표준)과 결합하거나 패키지를 샘플 준비 장치와 함께 사용하면 종합적인 분석 솔루션이 완성됩니다. 사후 및 고객 서비스 조직에서 모든 Malvern Panalytical 제품을 지원합니다.
장치를 적용할 수 있는 XRF 응용 분야에 대한 자세한 내용을 당시 지식 센터에서 확인할 수 있습니다.
Zetium구성요소의 탁월함 |
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| 자세한 내용은 | |
| 측정 | 박막 계측학, Elemental analysis, Contaminant detection and analysis, Elemental quantification |
| 원소 범위 | Be-U |
| 해상도(Mg-Ka) | 35eV |
| LLD | 0.1 ppm - 100% |
| 샘플 처리량 | 160per 8h day - 240per 8h day |
| 기술 유형 | Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF), Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF) |
Axios FAST고속 샘플 처리 |
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| 자세한 내용은 | |
| 측정 | 박막 계측학, Elemental analysis, Elemental quantification |
| 원소 범위 | Be-U |
| 해상도(Mg-Ka) | 35eV |
| LLD | 0.1 ppm - 100% |
| 샘플 처리량 | 240per 8h day - 480per 8h day |
| 기술 유형 | Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF) |
Epsilon 1작지만 강력한 성능 |
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| 자세한 내용은 | |
| 측정 | Elemental analysis, Contaminant detection and analysis, Elemental quantification |
| 원소 범위 | Na-Am |
| 해상도(Mg-Ka) | 135eV |
| LLD | 1 ppm - 100% |
| 샘플 처리량 | 40per 8h day - 80per 8h day |
| 기술 유형 | Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF) |
Epsilon Xflow생산 공정에 대한 직접적인 통찰력 |
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| 자세한 내용은 | |
| 측정 | Elemental analysis |
| 원소 범위 | Na-Am |
| 해상도(Mg-Ka) | 135eV |
| LLD | 1 ppm - 100% |
| 샘플 처리량 | on-line |
| 기술 유형 | Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF) |
2830 ZT고급 반도체 박막 계측학 솔루션 |
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| 자세한 내용은 | |
| 측정 | 입자의 화학적 성분, 박막 계측학, Elemental analysis, Contaminant detection and analysis, Elemental quantification |
| 원소 범위 | Be-U |
| 해상도(Mg-Ka) | 35eV |
| 샘플 처리량 | up to 25 wafers per hour |
| LLD | 0.1 ppm - 100% |
| 기술 유형 | Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF) |
Epsilon 4신속하고 정확한 앳라인 원소 분석 |
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| 자세한 내용은 | |
| 측정 | Elemental analysis, Contaminant detection and analysis, Elemental quantification |
| 원소 범위 | C-Am |
| 해상도(Mg-Ka) | 135eV |
| LLD | 1 ppm - 100% |
| 샘플 처리량 | 80per 8h day - 160per 8h day |
| 기술 유형 | Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF) |
Zetium구성요소의 탁월함 |
Axios FAST고속 샘플 처리 |
Epsilon 1작지만 강력한 성능 |
Epsilon Xflow생산 공정에 대한 직접적인 통찰력 |
2830 ZT고급 반도체 박막 계측학 솔루션 |
Epsilon 4신속하고 정확한 앳라인 원소 분석 |
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| 자세한 내용은 | 자세한 내용은 | 자세한 내용은 | 자세한 내용은 | 자세한 내용은 | 자세한 내용은 | |
| 측정 | 박막 계측학, Elemental analysis, Contaminant detection and analysis, Elemental quantification | 박막 계측학, Elemental analysis, Elemental quantification | Elemental analysis, Contaminant detection and analysis, Elemental quantification | Elemental analysis | 입자의 화학적 성분, 박막 계측학, Elemental analysis, Contaminant detection and analysis, Elemental quantification | Elemental analysis, Contaminant detection and analysis, Elemental quantification |
| 원소 범위 | Be-U | Be-U | Na-Am | Na-Am | Be-U | C-Am |
| 해상도(Mg-Ka) | 35eV | 35eV | 135eV | 135eV | 35eV | 135eV |
| LLD | 0.1 ppm - 100% | 0.1 ppm - 100% | 1 ppm - 100% | 1 ppm - 100% | 0.1 ppm - 100% | 1 ppm - 100% |
| 샘플 처리량 | 160per 8h day - 240per 8h day | 240per 8h day - 480per 8h day | 40per 8h day - 80per 8h day | on-line | up to 25 wafers per hour | 80per 8h day - 160per 8h day |
| 기술 유형 | Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF), Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF) | Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF) | Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF) | Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF) | Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF) | Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF) |
Zetium |
Epsilon 1 |
Epsilon 4 |
Epsilon Xflow |
2830 ZT |
Axios FAST |
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구성요소의 탁월함 |
작지만 강력한 성능 |
신속하고 정확한 앳라인 원소 분석 |
생산 공정에 대한 직접적인 통찰력 |
고급 반도체 박막 계측학 솔루션 |
고속 샘플 처리 |
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| 자세한 내용은 | 자세한 내용은 | 자세한 내용은 | 자세한 내용은 | 자세한 내용은 | 자세한 내용은 | |
| 측정 유형 | ||||||
| 박막 계측학 | ||||||
| Elemental analysis | ||||||
| Contaminant detection and analysis | ||||||
| Elemental quantification | ||||||
| 입자의 화학적 성분 | ||||||
| 기술 유형 | ||||||
| Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF) | ||||||
| Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF) | ||||||
| 원소 범위 | Be-U | Na-Am | C-Am | Na-Am | Be-U | Be-U |
| LLD | 0.1 ppm - 100% | 1 ppm - 100% | 1 ppm - 100% | 1 ppm - 100% | 0.1 ppm - 100% | 0.1 ppm - 100% |
| 해상도(Mg-Ka) | 35eV | 135eV | 135eV | 135eV | 35eV | 35eV |
| 샘플 처리량 | 160per 8h day - 240per 8h day | 40per 8h day - 80per 8h day | 80per 8h day - 160per 8h day | on-line | up to 25 wafers per hour | 240per 8h day - 480per 8h day |
| 자세한 내용은 견적 요청 | 자세한 내용은 견적 요청 | 자세한 내용은 견적 요청 | 자세한 내용은 견적 요청 | 자세한 내용은 견적 요청 | 자세한 내용은 견적 요청 | |
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