분석 유형별 전용 소프트웨어 옵션으로 장치를 구성할 수 있습니다. 애플리케이션 모듈(애플리케이션 구성, 교정 및 표준)과 결합하거나 패키지를 샘플 준비 장치와 함께 사용하면 종합적인 분석 솔루션이 완성됩니다. 사후 및 고객 서비스 조직에서 모든 Malvern Panalytical 제품을 지원합니다.

장치를 적용할 수 있는 XRF 응용 분야에 대한 자세한 내용을 당시 지식 센터에서 확인할 수 있습니다.

Zetium

Zetium

구성요소의 탁월함

자세한 내용은
측정 박막 계측학, Elemental analysis, Contaminant detection and analysis, Elemental quantification
원소 범위 Be-U
해상도(Mg-Ka) 35eV
LLD 0.1 ppm - 100%
샘플 처리량 160per 8h day - 240per 8h day
기술 유형 Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF), Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)

Axios FAST

Axios FAST

고속 샘플 처리

자세한 내용은
측정 박막 계측학, Elemental analysis, Elemental quantification
원소 범위 Be-U
해상도(Mg-Ka) 35eV
LLD 0.1 ppm - 100%
샘플 처리량 240per 8h day - 480per 8h day
기술 유형 Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)

Epsilon 1

Epsilon 1

작지만 강력한 성능

자세한 내용은
측정 Elemental analysis, Contaminant detection and analysis, Elemental quantification
원소 범위 Na-Am
해상도(Mg-Ka) 135eV
LLD 1 ppm - 100%
샘플 처리량 40per 8h day - 80per 8h day
기술 유형 Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)

Epsilon Xflow

Epsilon Xflow

생산 공정에 대한 직접적인 통찰력

자세한 내용은
측정 Elemental analysis
원소 범위 Na-Am
해상도(Mg-Ka) 135eV
LLD 1 ppm - 100%
샘플 처리량 on-line
기술 유형 Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)

2830 ZT

2830 ZT

고급 반도체 박막 계측학 솔루션

자세한 내용은
측정 입자의 화학적 성분, 박막 계측학, Elemental analysis, Contaminant detection and analysis, Elemental quantification
원소 범위 Be-U
해상도(Mg-Ka) 35eV
샘플 처리량 up to 25 wafers per hour
LLD 0.1 ppm - 100%
기술 유형 Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)

Epsilon 4

Epsilon 4

신속하고 정확한 앳라인 원소 분석

자세한 내용은
측정 Elemental analysis, Contaminant detection and analysis, Elemental quantification
원소 범위 C-Am
해상도(Mg-Ka) 135eV
LLD 1 ppm - 100%
샘플 처리량 80per 8h day - 160per 8h day
기술 유형 Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)

Zetium

Zetium

구성요소의 탁월함

Axios FAST

Axios FAST

고속 샘플 처리

Epsilon 1

Epsilon 1

작지만 강력한 성능

Epsilon Xflow

Epsilon Xflow

생산 공정에 대한 직접적인 통찰력

2830 ZT

2830 ZT

고급 반도체 박막 계측학 솔루션

Epsilon 4

Epsilon 4

신속하고 정확한 앳라인 원소 분석

자세한 내용은 자세한 내용은 자세한 내용은 자세한 내용은 자세한 내용은 자세한 내용은
측정 박막 계측학, Elemental analysis, Contaminant detection and analysis, Elemental quantification 박막 계측학, Elemental analysis, Elemental quantification Elemental analysis, Contaminant detection and analysis, Elemental quantification Elemental analysis 입자의 화학적 성분, 박막 계측학, Elemental analysis, Contaminant detection and analysis, Elemental quantification Elemental analysis, Contaminant detection and analysis, Elemental quantification
원소 범위 Be-U Be-U Na-Am Na-Am Be-U C-Am
해상도(Mg-Ka) 35eV 35eV 135eV 135eV 35eV 135eV
LLD 0.1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100% 1 ppm - 100%
샘플 처리량 160per 8h day - 240per 8h day 240per 8h day - 480per 8h day 40per 8h day - 80per 8h day on-line up to 25 wafers per hour 80per 8h day - 160per 8h day
기술 유형 Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF), Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF) Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF) Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF) Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF) Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF) Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)

Zetium

Epsilon 1

Epsilon 4

Epsilon Xflow

2830 ZT

Axios FAST

Zetium Epsilon 1 Epsilon 4 Epsilon Xflow 2830 ZT Axios FAST

구성요소의 탁월함

작지만 강력한 성능

신속하고 정확한 앳라인 원소 분석

생산 공정에 대한 직접적인 통찰력

고급 반도체 박막 계측학 솔루션

고속 샘플 처리

자세한 내용은 자세한 내용은 자세한 내용은 자세한 내용은 자세한 내용은 자세한 내용은
측정 유형
박막 계측학
Elemental analysis
Contaminant detection and analysis
Elemental quantification
입자의 화학적 성분
기술 유형
Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)
Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)
원소 범위 Be-U Na-Am C-Am Na-Am Be-U Be-U
LLD 0.1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100%
해상도(Mg-Ka) 35eV 135eV 135eV 135eV 35eV 35eV
샘플 처리량 160per 8h day - 240per 8h day 40per 8h day - 80per 8h day 80per 8h day - 160per 8h day on-line up to 25 wafers per hour 240per 8h day - 480per 8h day