DDCOM Pre-installation Manual
版本号: 1
使用我們有效率且準確的方法在幾秒內精確判斷完整晶體方向。DDCOM 具備低耗能與低作業成本的特性,使其成為研究與工業應用領域的最佳選擇。
輕鬆用幾個按鍵就能判斷超高速、精確 (最高達到 (1/100)o 的晶體方向。使用從下往上的測量幾何,DDCOM 取得可靠結果的速度可達傳統方法的 100 倍以上,節省了更多的時間。
高度多功能性儀器使用氣冷 X 光管與可攜式設計,確保更低的運轉成本及最大的便利性。
快速精確
此方法只需要一次掃描旋轉即可收集判斷晶體方向所需的所有資料。與旋轉軸相關的測量可提高處理量,並在幾秒內提供精確結果。
輕巧、容易使用的形式
輕巧設計的 DDCOM 可讓系統融入任何設備。軟體既強大又具有直覺性,可方便各種使用者輕鬆操作。
多功能且符合成本效益
對於需要分析的各種研究與生產環境樣品類型,DDCOM 都提供完整的配備。由於低耗能及使用氣冷 X 光管而不需要水冷,DDCOM 的作業成本極低。
精確、高效的控制
使用最高可達 1/100o 的高精確度保持對切割、磨削與研磨製程的控制。DDCOM 可提供單一晶體的完整晶格方向。它還能透過預先程式設定的晶體參數判斷各種結構的任意未知方向。方位角設定功能與晶體方向的標記相結合,有助於強化工作流程使其達到更高效率。
儀器可以測量各種不同結構的不同材料,為任何實驗室提供靈活性。可測量材料的一些範例包括:
| X-ray generator | 30 W 氣冷 X 光管,銅陽極
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|---|---|
| 偵測器 | 兩個閃爍計數器
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| Sample holders | 精確轉台,設定精確度 0.01°,定義樣品定位與標記的工具
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| 尺寸: | 600 mm × 600 mm × 850 mm |
|---|---|
| 重量 | 80 kg |
| 電功率 | 100-230 V,500 W,單相
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| 环境温度范围 | ≤ 30° C |
| 选项 | 晶圓定位分析裝置 (最大直徑 225 mm)
從晶圓盒自動裝載的裝置
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| 物质 | 立方晶系 / 任意未知方向: 矽、鍺、砷化鎵、磷化鎵、砷化鋁、磷化鋁、磷化銦、氯化鈉、氯化銀、氟化鈣
立方晶系 / 特殊方向: 銀、金、鎳、鉑、銻化鎵、砷化銦、銻化銦、硫酸銨鋁、碲化鋅、碲化鎘、碳化矽 3C、磷酸鹽緩衝生理鹽水、碲化鉛、碲化亞錫、氧化鎂、氟化鋰、偏鋁酸鎂 、鈦酸鍶 、鈦酸鑭
四方晶系: 氟化鎂 、二氧化鈦 、鋁酸鍶鑭 4
六方晶系 / 三方晶系: 碳化矽 2H、4H、6H、15R、氮化鎵、氧化鋅、鈮酸鋰 、二氧化矽 (石英)、氧化鋁 (藍寶石)、磷酸鎵 、矽酸鎵鑭
正交晶系: 矽酸鎂 、鎵酸釹
更多材料可依客戶要求提供
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選購的附加程式可供探索及定位分析晶體方向或表面失真。
額外的工具可以從晶圓盒自動裝載樣品,改善通量時間與工作流程效率。
版本号: 1
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