概覽
XRD-OEM 是完全可整合的晶體方向量測頭，在最嚴苛的環境中也能確保可靠運作和精準測量。
XRD-OEM 將晶體方向精密測量提升到全新境界。此 X 光繞射系統針對研磨與鋸切等嚴峻環境條件需求而設計，可無縫整合至任何產線，同時確保最高的精準度與速度。
精巧設計，輕鬆連接
XRD-OEM 專為輕鬆整合至任何產線而設計，可實現精簡、有效率、穩定不斷的定向測量，而不須在儀器間轉移樣品。
穩固
XRD-OEM 專為耐用性和靈活彈性而設計，可在研磨與鋸切流程等嚴苛環境中進行部署，還能可靠運作並同時確保高生產力及處理量。
快速又精準
XRD-OEM 僅需短短 10 秒便能完成每個樣品的測量，可確保高生產率同時又不犧牲準確度，並利用方位角掃描方法，達到小於 0.003° 的標準偏離。
便利
XRD-OEM 能夠偵測平邊或缺口等幾何參考，此功能在鋸切或研磨流程前預先對齊大型晶錠時極為重要。
還可在平邊與圓周上測定晶體方向，提供額外靈活度。
主要應用
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- 生產與加工
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XRD-OEM 專為繁忙的生產環境而設計。作為線上儀器，它能與您的高處理量自動化設備整合，用以高效測量和處理晶錠、晶棒與面板。它能測量矽、碳化矽、砷化鎵等各種化合物半導體材料，並且具備氣冷功能，輕巧尺寸，功能強大又符合成本效益，是您製程的可靠夥伴。
- 鋸切或研磨前預先對齊晶錠
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XRD-OEM 擁有準確的預先對齊功能，可先精準控制定位與定向，再執行後續處理步驟。
- 品質控制
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快速的定向測量在生產中不可或缺，而 XRD-OEM 能有效因應此需求，提供快速且優質的資料。XRD-OEM 可無縫整合至現有或新的自動化流程，協助您邁向自動製造的未來。
