X'Pert³ MRD
X'Pert³ MRD 系統提供從研究到製程開發和製程控制的先進和創新的 X 射線衍射解決方案。
特點包括
- 晶圓最大直徑：100毫米
- 證券交易委員會/創業板
- 無塵室 ISO 4
X'Pert³
多功能研發用 XRD 系統
多功能研發用 XRD 系統
Malvern Panalytical 的 X'Pert³ 系列 XRD 繞射系統將延續發揚 X'Pert 平台的輝煌成果。具備嶄新的嵌入式電子控制平台，加上符合最新、最嚴謹的 X 光安全規範，以及在環境友善和可靠性方面的進展，X'Pert³ 平台已為未來發展做好準備。
• 具備 CRISP，入射光模組可達到最長壽命
• 具備氣動快門和光強衰減器，可達最長正常運行時間
• 歸功於第 2 代 PreFIX 技術，可輕鬆擴充新應用
• 無需工具即可進行快速可靠的X光管焦點位置變換
• 新的嵌入式電子控制系統，可直接連線至網際網路
• 符合最嚴謹的安全法規
X'Pert³ MRD 系統提供從研究到製程開發和製程控制的先進和創新的 X 射線衍射解決方案。
特點包括
額外的 PreFIX 安裝平台允許串聯安裝 X 射線鏡和高分辨率單色儀，從而顯著增加入射光束的強度。
特點包括
X'Pert³ MRD新一代高分辨X射线衍射仪 |
X'Pert³ MRD XL能滿足研發與品管的自動化 XRD 系統 |
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|---|---|---|
| 技術類型 | ||
| X光繞射(XRD) | ||
| 量測類型 | ||
| 相鑑定 | ||
| 相定量 | ||
| 薄膜測量 | ||
| 殘餘應力 | ||
| 界面粗糙度 | ||
| 磊晶分析 | ||
| 紋理分析 | ||
| 倒置空間分析 | ||
| Wafer max. diameter | 100 mm | 300 mm |
| SECS/GEM | ||
| Cleanroom ISO 4 | ||