X'Pert³ MRD
X'Pert³ MRD 系統提供從研究到製程開發和製程控制的先進和創新的 X 射線衍射解決方案。
特點包括
- 晶圓最大直徑：100毫米
- 證券交易委員會/創業板
- 無塵室 ISO 4
新一代的 X’Pert 平台
X'Pert³ MRD 系統提供從研究到製程開發和製程控制的先進和創新的 X 射線衍射解決方案。
特點包括
額外的 PreFIX 安裝平台允許串聯安裝 X 射線鏡和高分辨率單色儀，從而顯著增加入射光束的強度。
特點包括
X'Pert³ MRD新一代高分辨X射线衍射仪 |
X'Pert³ MRD XL能滿足研發與品管的自動化 XRD 系統 |
|
|---|---|---|
| 技術類型 | ||
| X光繞射(XRD) | ||
| 量測類型 | ||
| 相鑑定 | ||
| 相定量 | ||
| 薄膜測量 | ||
| 殘餘應力 | ||
| 界面粗糙度 | ||
| 磊晶分析 | ||
| 紋理分析 | ||
| 倒置空間分析 | ||
| Wafer max. diameter | 100 mm | 300 mm |
| SECS/GEM | ||
| Cleanroom ISO 4 | ||