X'Pert³ is now a Smart Instrument!. Find out more
Find out more马尔文帕纳科新一代 X'Pert³ MRD 高分辨X射线衍射仪其可靠性的增强及性能的改进提高了分析能力，提供一体化解决方案来满足不同需求和应用：
X'Pert3MRD 经过专门设计，符合现代材料研发实验室的要求。X'Pert3MRD 的开发重点考虑了薄膜应用的需要，因此提供了多种样品架，可容纳直径达 200 mm 的晶圆，亦能用于晶圆表面的多点扫描。其大型样品台可以装载多个样品。
X'Pert3 MRD 将新技术融入到了测角仪轴承设计和位置编码中，从而提高了整体性能。在测角仪轴承上应用的创新成果改进了黏滑行为，即使是在高负载条件下，也能够极其流畅地作旋转移动。在 omega 和 2theta 轴上使用了一流的 Heidenhain 光学编码器，因而改进了短距离和长距离准确性，并且同时提高了位置报告和测角仪定位的速度。
X'Pert3 MRD 的欧拉环样品台可实现高精度、可重复且无障碍的移动，方便进行样品旋转、倾斜以及 x 轴、y 轴和 z 轴平移，确保为要求严格的 XRD 应用实现用途广泛且准确的样品定位。
马尔文帕纳科的探测器产品组合在不断发展。PIXcel3D 探测器具有在半导体和薄膜应用中的特殊优势，该探测器具备完整的多功能性，允许实现高动态范围的测量，而无需进行光束衰减。PIXcel 探测器可用于各类应用需求，可以轻松地将它从 0D 接收狭缝模式切换为 1D 和 2D 静态及扫描模式。
專為研究和開發而定制
適用於薄膜樣品、晶圓和固體材料
完整的晶圓測繪可達 100 毫米
多功能、靈活的樣品定位
用於光學元件的可選延長臂
使用 Heidenhain 編碼器的新型高解析度測角儀具有出色的精度
Malvern Panalytical X’Pert³ MRD 和 MRD XL 是一體化 X 光解決方案系統，可用於許多行業應用，包括：
不論是磊晶成長研究或元件設計，使用高解析度 XRD 分析各層的品質、厚度、應變與合金成分已成為電子和光電子多層半導體元件的研發重心，X’Pert3 MRD 和 MRD XL 具有各種 X 光光學模組、單光器和偵測器選擇，可提供高解析度配置，以符合不同材料系統的應用，像是從磊晶成長半導體到新穎基材上的鬆弛緩衝層。
多晶形材料層和塗層是許多薄膜和多層元件的重要元素，沉積期間，多晶形材料層的形態演化是功能性材料研發的關鍵研究領域，X’Pert3 MRD 和 X’Pert3 MRD XL 可以完整配備各種狹縫、平行射束 X 光反射鏡、多毛細管透鏡、交叉狹縫和單一毛細管，讓您充分選擇適用於反射儀、應力、織構和晶相鑑定的入射光束光學元件。
功能性元件中可能含有無序、非晶形或奈米複合薄膜，彈性的 X’Pert3 MRD 和 MRD XL 系統能讓您納入多種分析方法。有各種高解析度光學元件、狹縫和平行板準直器可供使用，提供最佳化效能的低掠角入射方法、In-plane 繞射和反射式量測。
研究材料在各種條件下的行為是材料研究和製程開發的必要部分，X’Pert3 MRD 和 MRD XL 的設計目的是為了輕鬆納入 Anton Paar 的 DHS1100 可控環境樣品載台，以實現在不同溫度範圍和惰性氣氛下的自動化測量。
Instrument gives excellent accuracy and is of good quality.Good intensity and rapid performance. It is easy to operate.
Yifan Zheng — Zhejiang University of Technology
| 尺寸： | 1972 x 1370 x 1131 mm |
|---|---|
| 重量 | 1150公斤（僅儀器） |
| Safety | 距外殼外表面 10 cm 處小於 1 µSv.h |
| 认证 | 機器指令 2006/42/EC
EMC 指令 2004/108/EC
聲明符合每項文書 |
| Compressed air supply | 室內管線、壓縮機或氣瓶； 2-5巴（0.2-0.5兆帕） |
| Anode material | Cu、Co、Cr，其他依要求提供 |
| 焦点 | 0.4 毫米 x 12 毫米（長） |
| Tube housing | 陶瓷絕緣
無鉛
採用 CRISP 技術的專利設計
X射線誘發電離空氣 |
| X-ray generator | 3千瓦 |
| 偵測器 | 比例，Xe 填充 |
第一部為X光繞射儀提供 0D-1D-2D 和 3D 數據的偵測器
釋放資料的潛力
即使是現在，儀器資料也常常四散於手寫記錄、試算表或各作業地點的伺服器中而難以取用。藉由將 X'Pert3 連線至我們的 Smart Manager 並持續於雲端分析儀器資料，您就能釋放資料的所有潛力。
更別提這還只是 Malvern Panalytical Smart Manager 所提供的其中一種數位解決方案而已。
Malvern Panalytical 提供多項產品服務，以確保您的儀器保持在最佳狀態，發揮一流的性能。我們的應用專家和技術支援服務能確保您的儀器在最佳狀態下運作。
完整維修
為您的作業流程增加更多價值
