X'Pert³ MRD XL

多功能材料研究衍射系统

Malvern Panalytical 的材料研究衍射仪 (MRD) 悠久而成功的历史在新一代 X’Pert³ MRD XL 上得以延续。 新平台的改进性能和可靠性为以下 X 射线散射研究增加了更多分析功能和能力:

• 高级材料科学
• 科学和工业薄膜技术
• 半导体过程开发中的计量表征

X’Pert³ MRD XL 可用于广泛的应用,其全面晶片成像高达 200 mm。

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特点

X'Pert³ Extended MRD (XL)

X'Pert³ Extended MRD (XL) 为 X'Pert³ MRD 系统系列提供了更高的多用性。 额外的 PreFIX 安装平台允许并行安装一个 X 射线反射镜和一个高分辨率单色器,从而大幅提高了入射光束的强度。

借助 PreFIX 概念,用户可以在不牺牲数据质量的前提下享受到更高的应用多用性、具备高强度的高分辨率 X 射线衍射、更短的测量(比如倒易空间映射)时间以及在数分钟内完成从标准到扩展配置的重建。 使用第二代 PreFIX,重新配置更加便捷,光学器件位置比以往更加精确。

面内 X'Pert³ MRD (XL)

通过用于面内衍射的 X'Pert³ MRD (XL) 系统,可以测量垂直于样品表面的晶格平面的衍射。

单个系统上的标准和面内几何以及针对多晶和高度完美薄膜的多种衍射试验只是其具备的大量优势中的两个而已。 

规格

面向未来的系统灵活性

X'Pert³ MRD 系统提供了从研究到工艺开发和过程控制的前沿创新的 X 射线衍射解决方案。 采用的技术使所有系统都可以现场升级,以满足所有现有选项以及硬件和软件的新发展。

附件

检测器

PIXcel3D

第一款为您的衍射仪提供 0D-1D-2D 和 3D 数据的探测器

PIXcel3D 是一款独特的 2D 固态混合像素式探测器。 每个像素为 55 微米 x 55 微米,探测器阵列为 256 x 256 像素。 该探测器现在基于 Medipix3 技术,通过单个像素的点扩散函数和多水平能量甄别提供优异的信噪比。

一般的

X’Pert³ MRD XL 無塵室套件

以最經濟有效的投資,因應更多樣的量測環境

X’Pert3 MRD XL 無塵室套件是由多種智慧解決方案所組成,其中包括 MRD XL 專用的循環過濾裝置,可升級您現有的設備,或直接安裝於全新的 X’Pert3 MRD XL。

MRD XL 無塵室套件可過濾半導體晶圓樣品周圍環境的空氣,協助您避免在樣品分析時所造成的汙染。如此一來,您便可以在更多樣的環境中進行測量,無須添購全新的儀器設備。

服务

可实现投资回报
最大化的解决方案

为确保您的仪器保持最佳状态并发挥
最高性能,Malvern Panalytical 提供了广泛的服务。 我们的专业知识
和支持服务可确保您的仪器发挥最佳功能。

支持

生命周期服务
• 电话与远程支持
• 预防性维护和检查
• 灵活的客户服务协议
• 性能认证
• 硬件和软件升级
• 本地和全球支持

专业知识

帮助您提升工艺价值 
• 样品制备开发/优化
• 分析方法
• XRD 一体化解决方案
• 通过 IQ/OQ/PQ 操作,质量保证(GLP、ISO17025)或循环/实验室间研究
• 实验室流程自动化
• 咨询服务

培训和教育

• 在现场或我们的能力中心开展培训
广泛的基础和高级课程,涵盖产品、应用和软件

分析服务和校准材料

• 专家 (XRF) 分析服务
• 氧化物和痕量分析
• 定制的校准材料