X'Pert³ is now a Smart Instrument!. Find out more
Find out moreX’Pert³ MRD XL 世代延續了 Malvern Panalytical MRD 悠久的成功歷史，在效能和可靠性上均有所提升，為以下領域的 X 光繞射研究增添了更多分析功能和應用：
X’Pert³ MRD XL 可處理各種應用，且可在最高達 200 mm 的完整晶圓上做定位分析。
X'Pert³ MRD 系統提供先進和創新的 X 光繞射技術，可解決您在研究到製程開發以至於製程控制上所遇到的挑戰，所採用的這些技術兼容現有系統且可輕易升級轉移，包含了硬體和軟體等各方面。
X'Pert3 MRD 将新技术融入到了测角仪轴承设计和位置编码中，从而提高了整体性能。在测角仪轴承上应用的创新成果改进了黏滑行为，即使是在高负载条件下，也能够极其流畅地作旋转移动。在 omega 和 2theta 轴上使用了一流的 Heidenhain 光学编码器，因而改进了短距离和长距离准确性，并且同时提高了位置报告和测角仪定位的速度。
X'Pert3 MRD 的欧拉环样品台可实现高精度、可重复且无障碍的移动，方便进行样品旋转、倾斜以及 x 轴、y 轴和 z 轴平移，确保为要求严格的 XRD 应用实现用途广泛且准确的样品定位。
马尔文帕纳科的探测器产品组合在不断发展。PIXcel3D 探测器具有在半导体和薄膜应用中的特殊优势，该探测器具备完整的多功能性，允许实现高动态范围的测量，而无需进行光束衰减。PIXcel 探测器可用于各类应用需求，可以轻松地将它从 0D 接收狭缝模式切换为 1D 和 2D 静态及扫描模式。
X'Pert³ Extended MRD (XL) 為 X'Pert³ MRD 系列提供了更高的相容性，額外的 PreFIX 平台可同時安裝平行光反射鏡模組和高解析度單色儀，大幅提高入射光束強度。
由於 PreFIX 的概念，我們得以大幅提高量測的應用彈性，且無須犧牲其他方面的效能，包括數據品質，具高強度的高解析 X 光繞射、較短的量測時間 (例如倒易空間圖譜) 等，也可以在數分鐘內將原本的標準儀器配置變更到進階配置，有了第 2 代的 PreFIX，不僅可輕鬆調配機台配置，光學定位也比以往來得更為精準。
有了適用於 In-plane 繞射的 X'Pert³ MRD (XL) 系統，我們可以量測與樣品表面垂直之晶格面的繞射訊號。
其在單一系統即具備標準和平面內幾何配置，且可對多晶形材料和高度完美的薄膜進行各種繞射實驗分析。
Malvern Panalytical X’Pert³ MRD 和 MRD XL 是一體化 X 光解決方案系統，可用於許多行業應用，包括：
不論是磊晶成長研究或元件設計，使用高解析度 XRD 分析各層的品質、厚度、應變與合金成分已成為電子和光電子多層半導體元件的研發重心，X’Pert3 MRD 和 MRD XL 具有各種 X 光光學模組、單光器和偵測器選擇，可提供高解析度配置，以符合不同材料系統的應用，像是從磊晶成長半導體到新穎基材上的鬆弛緩衝層。
多晶形材料層和塗層是許多薄膜和多層元件的重要元素，沉積期間，多晶形材料層的形態演化是功能性材料研發的關鍵研究領域，X’Pert3 MRD 和 X’Pert3 MRD XL 可以完整配備各種狹縫、平行射束 X 光反射鏡、多毛細管透鏡、交叉狹縫和單一毛細管，讓您充分選擇適用於反射儀、應力、織構和晶相鑑定的入射光束光學元件。
功能性元件中可能含有無序、非晶形或奈米複合薄膜，彈性的 X’Pert3 MRD 和 MRD XL 系統能讓您納入多種分析方法。有各種高解析度光學元件、狹縫和平行板準直器可供使用，提供最佳化效能的低掠角入射方法、In-plane 繞射和反射式量測。
研究材料在各種條件下的行為是材料研究和製程開發的必要部分，X’Pert3 MRD 和 MRD XL 的設計目的是為了輕鬆納入 Anton Paar 的 DHS1100 可控環境樣品載台，以實現在不同溫度範圍和惰性氣氛下的自動化測量。
Instrument gives excellent accuracy and is of good quality.Good intensity and rapid performance. It is easy to operate.
Yifan Zheng — Zhejiang University of Technology
| 尺寸： | 1370 (w) x 1131 (d) x 1972 (h) mm
系統內建移動滑輪，便於安裝和搬移位置 |
|---|---|
| 重量 | 1150 kg |
| Type | 水平測角儀 |
|---|---|
| Radius | 420 mm |
| Range | 最大可動範圍 (取決於配件) -40°< 2θ <160° |
| 精確度 | 長範圍精準度： ±0.0025°
短範圍 (0.5°) 精準度：±0.0004° |
| 再現性 | < 0.0002°
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| Features | 由 Malvern Panalytical 專門工廠在無塵室條件下製造的全陶瓷 X 光管
可自由切換線光源和點光源模式，不需特殊工具。
3 kW 高壓產生器可支援所有現行以及未來的 X 光管規格
Hybrid pixel 偵測器具有市場上最小的像素尺寸 (55 x 55 µm2)
5 軸可動樣品載台，具備 200 x 200 mm2 x、y 移動功能
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|---|---|
| Rotation | Chi 旋轉：±92°
Phi 角旋轉： 2 x 360°
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| Smallest addressable increment | 0.0001° |
第一部為X光繞射儀提供 0D-1D-2D 和 3D 數據的偵測器
複雜層次堆疊量測的全自動解決方案
以最經濟有效的投資，因應更多樣的量測環境
釋放資料的潛力
即使是現在，儀器資料也常常四散於手寫記錄、試算表或各作業地點的伺服器中而難以取用。藉由將 X'Pert3 連線至我們的 Smart Manager 並持續於雲端分析儀器資料，您就能釋放資料的所有潛力。
更別提這還只是 Malvern Panalytical Smart Manager 所提供的其中一種數位解決方案而已。
Malvern Panalytical 提供多項產品服務，以確保您的儀器保持在最佳狀態，發揮一流的性能。我們的應用專家和技術支援服務能確保您的儀器在最佳狀態下運作。
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