Dünnschicht-Messtechnik

Verbesserung der Schichtqualität durch Dünnschicht-Messtechnik

Dünnschicht-Messtechnik

Unsere Röntgenmessinstrumente

Malvern Panalytical bietet Ihnen die optimale Messtechnik für die Entwicklung und Produktionskontrolle von schichtbasierten Mikro- und optoelektronischen Bauteile an.

2830 ZT

X-ray Fluorescence (XRF)

Fortgeschrittene Lösung für die Halbleiter-Dünnschicht-Messtechnik

2830 ZT

X'Pert³ MRD

X-ray Diffraction (XRD)

Vielseitiges Röntgendiffraktometer für Forschung und Entwicklung

X'Pert³ MRD

X'Pert³ MRD XL

X-ray Diffraction (XRD)

Vielseitiges Röntgendiffraktometer für Forschung, Entwicklung und Qualitätskontrolle

X'Pert³ MRD XL

Die auf Röntgentechnologie basierenden Dünnschicht-Messtechniken wie XRD, XRR und RFA sind schnelle und zerstörungsfreie Verfahren. Sie haben sich als besonders leistungsfähig erwiesen für die Ex-Situ-Untersuchung kritischer Materialparameter von Dünnschichten, Heterostrukturen und Übergittersystemen bis in den Nanometer-Bereich. 

Die Ergebnisse sind für die Optimierung der Schichtqualität essenziell, denn sie erhöhen die Produktionseffizienz und reduzieren Kosten. 

So vergleichen Sie unsere Produkte

  • 2830 ZT

    Fortgeschrittene Lösung für die Halbleiter-Dünnschicht-Messtechnik

    2830 ZT

    Technologie

    • Wellenlängendispersive Röntgenfluoreszenzanalyse (WDRFA)

    Typ der Messung

    • Dünnschicht-Messtechnik
    • Chemische Identifikation
    • Elementaranalyse
    • Erkennung und Analyse von Verunreinigungen
    • Quantifizierung von Elementen
  • X'Pert³ MRD

    Vielseitiges Röntgendiffraktometer für Forschung und Entwicklung

    X'Pert³ MRD

    Technologie

    • Wellenlängendispersive Röntgenfluoreszenzanalyse (WDRFA)

    Typ der Messung

    • Dünnschicht-Messtechnik
    • Chemische Identifikation
    • Elementaranalyse
    • Erkennung und Analyse von Verunreinigungen
    • Quantifizierung von Elementen
  • X'Pert³ MRD XL

    Vielseitiges Röntgendiffraktometer für Forschung, Entwicklung und Qualitätskontrolle

    X'Pert³ MRD XL

    Technologie

    • Wellenlängendispersive Röntgenfluoreszenzanalyse (WDRFA)

    Typ der Messung

    • Dünnschicht-Messtechnik
    • Chemische Identifikation
    • Elementaranalyse
    • Erkennung und Analyse von Verunreinigungen
    • Quantifizierung von Elementen