X'Pert³

Vielseitiges Forschungs- und Entwicklungs-XRD-System

Die erfolgreiche X'Pert-Plattform wird mit den Röntgendiffraktometern der X'Pert³-Serie von Malvern Panalytical fortgesetzt. Dank der neuen integrierten Steuerelektronik, der Einhaltung der neuesten und strengsten Röntgen- und Bewegungssicherheitsnormen und Fortschritten in Sachen Umweltfreundlichkeit und Zuverlässigkeit ist die X'Pert³-Plattform bereit für die Zukunft.

  • Längste Lebensdauer der Einfallstrahlkomponenten durch CRISP  
  • Maximale Verfügbarkeit durch pneumatische Shutter und Strahlabschwächer  
  • Einfache Erweiterung auf neue Anwendungen dank PreFIX-Technologie der 2. Generation  
  • Schneller und zuverlässiger werkzeugloser Austausch der Fokusposition der Röhre  
  • Neue integrierte Steuerelektronik mit direkter Internetverbindung  
  • Einhaltung der strengsten Sicherheitsbestimmungen

X'Pert³ MRD

Die X'Pert³ MRD-Systeme bieten fortschrittliche und innovative Röntgenbeugungslösungen von der Forschung bis zur Prozessentwicklung und Prozesskontrolle.

Zu den Funktionen gehören

  • Wafer max. Durchmesser: 100 mm
  • SECS/GEM
  • Reinraum ISO 4
X'Pert³ MRD

X'Pert³ MRD XL

Eine zusätzliche PreFIX-Montageplattform ermöglicht die Inline-Montage eines Röntgenspiegels und eines hochauflösenden Monochromators, wodurch die Intensität des einfallenden Strahls deutlich erhöht wird.

Zu den Funktionen gehören

  • Wafer max. Durchmesser: 300 mm
  • SECS/GEM
  • Reinraum ISO 4
X'Pert³ MRD XL

So vergleichen Sie unsere Produkte

  • X'Pert³ MRD

    Vielseitiges Röntgendiffraktometer für Forschung und Entwicklung

    X'Pert³ MRD

    Technologie

    • Röntgendiffraktometrie (XRD)

    Typ der Messung

    • Phasenidentifizierung
    • Phasenquantifizierung
    • Dünnschicht-Messtechnik
    • Eigenspannung
    • Grenzflächenrauheit
    • Epitaxieanalyse
    • Texturanalyse
    • Reciprocal-Space-Analyse

    Wafer max. diameter

    • 100 mm
    • SECS/GEM
    • Cleanroom ISO 4
  • X'Pert³ MRD XL

    Vielseitiges Röntgendiffraktometer für Forschung, Entwicklung und Qualitätskontrolle

    X'Pert³ MRD XL

    Technologie

    • Röntgendiffraktometrie (XRD)

    Typ der Messung

    • Phasenidentifizierung
    • Phasenquantifizierung
    • Dünnschicht-Messtechnik
    • Eigenspannung
    • Grenzflächenrauheit
    • Epitaxieanalyse
    • Texturanalyse
    • Reciprocal-Space-Analyse

    Wafer max. diameter

    • 300 mm
    • SECS/GEM
    • Cleanroom ISO 4