Die verbesserte X'Pert-Plattform
Die erfolgreiche X'Pert-Plattform wird mit den Röntgendiffraktometern der X'Pert³-Serie von Malvern Panalytical fortgesetzt. Dank der neuen integrierten Steuerelektronik, der Einhaltung der neuesten und strengsten Röntgen- und Bewegungssicherheitsnormen und Fortschritten in Sachen Umweltfreundlichkeit und Zuverlässigkeit ist die X'Pert³-Plattform bereit für die Zukunft.
Die X'Pert³ MRD-Systeme bieten fortschrittliche und innovative Röntgenbeugungslösungen von der Forschung bis zur Prozessentwicklung und Prozesskontrolle.
Zu den Funktionen gehören
Eine zusätzliche PreFIX-Montageplattform ermöglicht die Inline-Montage eines Röntgenspiegels und eines hochauflösenden Monochromators, wodurch die Intensität des einfallenden Strahls deutlich erhöht wird.
Zu den Funktionen gehören
X'Pert³ MRDVielseitiges Röntgendiffraktometer für Forschung und Entwicklung |
X'Pert³ MRD XLVielseitiges Röntgendiffraktometer für Forschung, Entwicklung und Qualitätskontrolle |
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| Technologie | ||
| Röntgendiffraktometrie (XRD) | ||
| Typ der Messung | ||
| Phasenidentifizierung | ||
| Phasenquantifizierung | ||
| Dünnschicht-Messtechnik | ||
| Eigenspannung | ||
| Grenzflächenrauheit | ||
| Epitaxieanalyse | ||
| Texturanalyse | ||
| Reciprocal-Space-Analyse | ||
| Wafer max. diameter | 100 mm | 300 mm |
| SECS/GEM | ||
| Cleanroom ISO 4 | ||