追加のサンプルステージ
平均より小さいあるいは大きい結晶に対応するように設計された追加のサンプルステージを使用して、さまざまなプロセスステージで幅広いサンプルサイズを測定します。
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Watch nowX線結晶方位測定装置 Omega/Theta XRDは、結晶方位を決定するために、精度と速度の究極の組み合わせを提供します。わずか10秒で結果が返されるOmega/Theta XRDは、バーコードリーダから結晶スタッキングフレームまで多くのプロセスアクセサリを備えており、重量30 kg、長さ450 mmまでの幅広いサンプルに対応できます。測定された方位を加工ツールに転送するための信頼できるパートナーです。
カタログダウンロードOmega/Theta XRDは、変化しやすい半導体様相において結晶方位を決定するための信頼でき将来も使い続けることのできるパートナーです。市場をリードする精度、超高速測定速度、ハイエンドの製造品質が自動化機能と組み合わされて、プロセスがあらゆる状況に対応できるようになります。Omega/Theta XRDは、結晶方位と配列に対して比類のない効率と精度を提供し、生産用途と研究用途の両方に最適です。
当社の方法では、試料の一回転だけ方位を完全に決定するために必要なデータをすべて収集できます。これにより、数秒という非常に短い測定時間で高精度を実現できます。
Omega/Theta XRDのすべての測定は自動化されており、使いやすいXRDソフトウェアで管理されます。この装置は、さまざまなMES、SECS/GEM、および同様のインターフェースを使用して、生産環境の既存のプロセスに簡単に統合できます。
Omega/Theta XRDは、すべての単結晶材料の特性評価に使用できます。一般的に使用される材料は次のとおりです。
当社の幅広いアクセサリは、シードボーリングから研磨、スライス、ウェハ形状の端部制御に至るまで、幅広い用途でOmega/Theta XRDの生産性を向上させ、時間の経過とともにニーズが変化しても柔軟に対応します。次のような拡張機能があります。
技術仕様 | |
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X線源 | 標準X線管、Cuアノード |
検出器 | シンチレーションカウンター(シングルまたはダブル) |
試料ホルダ | サンプル調整用の精密ターンテーブル、取り付けプレート、ツール |
結晶コリメータ | オプションにて選択 |
マッピング | 強固なマッピングステージが利用可能 |
ソフトウェア | XRDStudio |
水冷 | 流量 – 4L/分、最大圧力8 bar、T≤30 °C |
PCワークステーション | Windows 7以降、.NET Frameworkの更新 |
寸法 | H 1950 mm × D 820 mm × W 1200 mm |
重量 | ca、650 kg |
電源要件 | 208~240 V、16 A単相、50~60 Hz |
認証 | ISO 9001ガイドラインに基づいて製造、CE準拠 |
平均より小さいあるいは大きい結晶に対応するように設計された追加のサンプルステージを使用して、さまざまなプロセスステージで幅広いサンプルサイズを測定します。
専用のサンプル調整ツールを使用して、さまざまなタイプのサンプルを簡単に処理できます。
ターンテーブルの上に追加のX-Y位置決めステージを使用すると、結晶方位や表面の歪みをユーザー定義のグリッドに簡単にマッピングできます。マッピングステージでは、カスタマイズ可能な表面スキャンを使用して、サンプル表面全体を包括的に調査できます。
ソーイング前にインゴットを正確に位置合わせし、ツールの利用効率を向上させます。効率的なスタッキングステージは、スタック全体をワイヤーソーに転送する前に、方位角スキャン中にインゴットの位置を調整します。このパラレルソーイング方式は非常に効率的です。
生産プロセスの迅速かつ正確な品質管理測定。格子の完全性の度合いを示すロッキングカーブは、点ごとに、または品質マップのマッピングツールと組み合わせて迅速に評価できます。光学系は自動化されており、オン/オフを簡単に切り替えることができます。
高品質の写真用カメラと追加の画像処理機能により、フラットとノッチの検出が容易になります。
オプションのレーザースキャナを使用すると、正確なサンプル形状を測定できるため、材料についてより深い考察を得ることができます。