粒子径、粒子形状およびゼータ電位の測定は、電子工学産業、特にコンピュータ、携帯電話、デジタル家電など、ほとんどの電子機器で使用されている集積回路の原材料の製造過程において重要です。 オーバーサイズの粒子が 1 つあるだけで、ウェハーの損傷や LCD の不良の原因となります。

研究と設計のプロセス全体、また電子部品の製造と品質管理において、マルバーンの分析装置は、マルバーンが持つアプリケーションの知識と組み合わせて、以下のような材料の特性評価をサポートします。

  • 太陽電池製造のためのシリコンとその他のウェハーの研磨に使用される CMP スラリー
  • プリント回路基板に使用されるはんだ粒子およびスクリーン印刷インク
  • PCB および各種ディスプレイ(EL、LCD、LED)に使用される銀、導電性カーボンおよびペースト
  • カラー液晶ディスプレイの色素材料に使用されるナノ粒子

マスターサイザー製品

ゼータサイザーシリーズ

モフォロギシリーズ

Epsilon 1 for Small Spot Analysis

Epsilon 4

マスターサイザー製品

世界で最もよく利用される粒度測定装置

ゼータサイザーシリーズ

ナノ粒子、コロイド、タンパク質のサイズ、電荷の測定に世界で最も広く用いられているシステム

モフォロギシリーズ

自動画像解析による高度な粒子特性評価

Epsilon 1 for Small Spot Analysis

細部に焦点を当て、大局的に判断する

Epsilon 4

高速で正確なアットラインの元素分析

詳細 詳細 詳細 詳細 詳細
測定タイプ Particle size Molecular size, Particle size, Molecular weight, Zeta potential Particle shape, Particle size, Chemical identification Contaminant detection and analysis, Elemental analysis, Elemental quantification Elemental analysis, Elemental quantification, Contaminant detection and analysis
測定範囲 0.01µm - 3500µm 0.3nm - 10µm 0.5µm - 1000µm
測定温度範囲 0°C - 120°C
元素範囲 Na-Am C-Am
サンプル処理 40per 8h day - 80per 8h day 80per 8h day - 160per 8h day
分解能(Mg-Ka) 145eV 135eV
技術 Laser Diffraction Dynamic Light Scattering, Static Light Scattering, Size Exclusion Chromatography (SEC), Electrophoretic Light Scattering Image analysis X-ray Fluorescence (XRF) Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)
LLD 1 ppm - 100% 1 ppm - 100%
分散タイプ Dry, Wet, Wet and Dry Wet
サンプル セルタイプ Cuvette