電子機器と半導体

物質研究と半導体技術の進歩は、私たちの生活に大きな変化をもたらしました。 スマートフォン、スマートウェアラブルやおもちゃ、ノートパソコン、ワイヤレスネットワーク、ホーム内情報システム、車、スマートメーターなど日常生活のほぼすべての場面に新たな技術を提供しています。 

電子ディスプレイ、データストレージ、RFフィルタ技術産業は急速に発展し、その変化率は、ムーアの法則どおりに推移しています。 トルツメ技術により、ミクロンから単分子層までの膜厚を示す個別の層を持つ多層構造の堆積が可能になりました。 

高度な薄膜トルツメには、一般的に半導体、金属合金、誘電体、酸化物、ポリマーが使用されています。 これらの物質は、複数の検査技術を使用して装置のパラメータを正確に監視したり制御したりするために不可欠です。 同様に、薄膜形成に不可欠なトルツメCMPスラリーのなどのプロセス物質を微調整することが重要です。 

半導体薄膜トルツメは、複雑な多段階生成プロセスを使用して製造されます。 蛍光X線(XRF)およびX線回折(XRD)は、このような製造プロセスのあらゆる段階において、重要な薄膜パラメータを監視、制御するために不可欠なトルツメです。  電子ディスプレイは、液晶、色素の分散、量子ドット、OLEDなど、さまざまな技術を採用しています。 これら技術では、粒子径と粒子形状が重要な役割を担っており、信頼できる特性評価が必要です。 OLEDでは、サイズなどのポリマーの特性評価が厳密に制御され、分子量がディスプレイの品質に重大な影響を与えます。